產品類別
SVE — 001 至 018
半導體
& 真空
設備零件
18 條專為半導體製程設備、真空系統與超純淨處理環境所設計之高精密加工產品線—涵蓋 UHV 腔體本體與晶片處理夾具到氣體分配板、陶瓷對金屬組件與靜電放電安全工具。.
💨
10⁻⁹ 毫巴·升/秒
氦氣漏率
📐
±0.003 毫米
密封面平整度
✦
Ra ≤0.25 μm
電解抛光 EP
🏭
潔淨室
包裝與交付
18
產品線
真空腔體到靜電放電夾具—完整設備建置支援
10⁻⁹ mbar·l/s 的
泄漏率
對所有真空部件進行氦質譜泄漏測試，證書包含在內
316L EP
工藝氣體等級
全不銹鋼316L經電解拋光，用於所有與腐蝕性氣體接觸的表面
24 hr
報價處理時間
在收到圖紙後24小時內提供DFM反饋與完整報價
18
產品線
10⁻⁹ mbar·l/s 的
氦泄漏率
Ra ≤0.25μm
EP 表面
±0.003mm
密封平整度
24 hr
報價處理時間
真空腔體 ✦
腔室盖板 ✦
腔室密封框架 ✦
腔室內部組件 ✦
晶圓搬運支架 ✦
晶圓對位零件 ✦
設備安裝板 ✦
隔熱支撐零件 ✦
防靜電測量／抗靜電裝置 ✦
精密導向元件 ✦
氣體分佈板 ✦
真空法蘭轉接件 ✦
高潔淨度結構 ✦
抽取閥門轉換接頭 ✦
腔室觀測視窗框架 ✦
高平面度安裝底座 ✦
陶瓷 / PEEK 金屬座組裝件 ✦
設備末端效應器零件 ✦
真空腔體 ✦
腔室盖板 ✦
腔室密封框架 ✦
腔室內部組件 ✦
晶圓搬運支架 ✦
晶圓對位零件 ✦
設備安裝板 ✦
隔熱支撐零件 ✦
防靜電測量／抗靜電裝置 ✦
精密導向元件 ✦
氣體分佈板 ✦
真空法蘭轉接件 ✦
高潔淨度結構 ✦
抽取閥門轉換接頭 ✦
腔室觀測視窗框架 ✦
高平面度安裝底座 ✦
陶瓷 / PEEK 金屬座組裝件 ✦
設備末端效應器零件 ✦
完整產品系列
18 半導體與真空設備
產品線
在左側選取分類即可查看產品 · 所有零件均可繪圖 · 最小訂購量 1 件 · 含氣密性測試
產品分類
真空腔體與封口
4
晶片處理與對位
2
設備安裝與支撐
3
氣體、法蘭與流體介面
4
專業與複合零件
5
🏛
真空腔體與封口
UHV 相容腔體本體、封口框、覆板與內部結構元件。所有與介面接觸的表面皆電解拋光至 Ra ≤0.4 μm 或更佳。Conflat、ISO-K、ISO-KF 法蘭標準。每個腔體於出貨前皆以氦氣漏測，至 10⁻⁹ mbar·l/s。.
材料： SS316L EP · Al6061 · OFHC 銅 · 鈦
SVE-001
真空腔體 / 001 — 精選
真空腔體
UHV 相容腔體本體採用 SS316L — 以整塊鋳件或捲制與焊接板材加工，再於內部電解拋光。多個 Conflat 或 ISO-K 法蘭端口經由 CNC 水平加工中心定位與鑽孔。內表面在電解拋光後 Ra ≤0.4 μm；需時 ≤0.25 μm。以氦氣漏測至 10⁻⁹ mbar·l/s。從小型分析腔到大型沉積反應器本體。.
SS316L · Al6061 · OFHC 銅
報價
SVE-002
真空腔體 / 002
腔室盖板
帶 O 圓環槽或刀刃式金屬密封面的真空腔蓋與進出板。密封面平整度 ±0.003 毫米。通孔的進出線由 CNC 定位。內部表面電解拋光。.
SS316L · Al6061 · Ti報價/div>
🔵
晶片處理與對位
晶圓處理夾具圈、端執行器與晶圓搬運、裝載鎖定台、以及加工腔室的對準邊緣定位元件。具防靜電材料與 PEEK/陶瓷接觸面，避免靜電傷害與金屬污染。.
材料： Al6061 · PEEK · 陶瓷 · SS316L · Delrin
SVE-005
晶圓處理 / 005 — 精選
晶圓處理夾具
晶圓夾環、叉端執行器與抓取組件，用於大氣與真空環境中的200 mm與300 mm晶圓運輸。接觸面材質為PEEK或氧化鋁(Al₂O₃)以防止金屬污染。具有ESD防護的版本，採用碳負載PEEK或導電鋁以提供靜電放電保護。晶圓接觸位置公差±0.05 mm。可進行真空兼容的脫氣特性量測。.
Al6061 · PEEK · Al₂O₃ · C-PEEK報價
SVE-006
晶圓處理 / 006
晶圓對位與定位部件
精密晶圓邊緣定位銷、平面查找槽感測器，以及對位平台嵌件。定位公差±0.01 mm。硬陽極氧化鋁或陶瓷銷材料，長時間使用而不污染。.
Al7075 · Al₂O₃ · ZrO₂ · 不銹鋼報價
📐
設備安裝與支撐
半導體設備安裝板、絕緣支撐結構、ESD 安全夾具，以及用於工藝設備的結構與運動子組裝的精密直線導軌。全程高平面度、嚴格的位置公差，且材料不污染。.
材料： Al6061 · Al7075 · PEEK · Al₂O₃ · 不銹鋼316L
SVE-007
安裝與支撐 / 007 — 精選
設備安裝板
高平面度的設備安裝板與適配板，適用於半導體製程工具——將機械手臂、舞台組件與感測模組連接至設備框架。安裝面平整度 ±0.005 mm；安裝孔位公差 ±0.008 mm。標準材料採用經應力釋放處理的 Al6061-T651 板材，降低後期加工變形。表面硬質陽極化處理 Type III 以提供表面保護。附有 CMM 尺寸報告。.
Al6061-T651 · Al7075 · SS316L報價
SVE-008
安裝與支撐 / 008
隔熱支撐零件
用於電隔離的電隔離元件、支撐柱與套筒絕緣體，材料為 PEEK、Al₂O₃ 陶瓷，或 Macor 可加工玻璃陶瓷。在射頻與等離子腔室中將帶電元件與地點分離。體積電阻率 >10¹⁴ Ω·cm。.
PEEK · Al₂O₃ · Macor · PTFE報價
SVE-009
安裝與支撐 / 009
防靜電測量／抗靜電裝置
ESD 防護工具夾、元件托盤與裝配治具，材質為碳載荷 PEEK（C-PEEK）、ESD 防護鋁材，或靜電耗散尼龍。表面電阻率 10⁶–10⁹ Ω/平方，能在不放電的情況下受控地散去電荷。.
C-PEEK · ESD Al · ESD尼龍報價
💨
氣體、法蘭與流體介面
氣體分配板、真空法蘭適配件、泵至閥門的過渡接頭，以及腔體視窗框架。所有與氣體接觸的表面皆為電解拋光316L。不銹鋼法蘭加工符合Conflat、KF與ISO-K標準。進行氦氣漏率測試。潔淨室包裝。.
材料： SS316L 端件 · Al6061 · OFHC 銅 · 硼矽玻璃
SVE-011
GAS & FLANGE / 011 — 推薦特輯
氣體分配板（淋浴花灑頭）
精密淋浴頭氣體分佈板，適用於 CVD、ALD、PECVD 及蝕刻腔室。均勻孔洞陣列，板面整體直徑公差 ±0.005 mm。電解拋光 316L 不鏽鋼，表面粗糙度 Ra ≤0.25 μm。每片經氦氣泄漏測試，測試值為 10⁻⁹ mbar·L/s。可相容於 F₂、NF₃、Cl₂、HCl 等腐蝕性工藝氣體。單區與雙區氣體輸送配置。於氮氣置換下在潔淨室包裝。.
SS316L EP · 哈氏合金 · Inconel · 鋁報價
SVE-012
氣體與法蘭 / 012
真空法蘭適配件
Conflat 與 KF、ISO-K 之間的轉接法蘭，及與非標準真空法蘭的適配，配有匹配的密封面。 knife-edge 平行度 ≤0.005 mm。內部電解拋光。組裝後做氦氣密測試。.
SS316L · OFHC 銅報價
SVE-013
氣體與法蘭 / 013
抽取閥門轉換接頭
在真空泵（ISO-K 或法蘭連接）、閘閥與腔體之間的客製過渡連接，從實心坯料加工製成的非標準螺栓孔與交叉幾何形狀。所有與液態接觸的表面均經電解拋光。.
SS316L · Al6061報價
SVE-014
氣體與法蘭 / 014
腔室觀測視窗框架
玻璃-金屬密封用視窗玻璃法蘭與框架，適用硼矽玻璃、藍寶石或燒結石英窗。以 ±0.02 mm 的裝配公差對應指定玻璃外徑加工的玻璃對金屬密封溝槽。高電解拋光 SS316L 為標準。.
SS316L · Kovar · 銅報價
⚡
專業與複合零件
高潔淨度結構元件、高平整度設備基座、精密導向件、陶瓷與金屬組件，以及設備末端執行器元件。在半導體製造廠環境中，具複雜材料組合與最高潔淨度的應用。.
材料： Al6061 · SS316L · PEEK · Al₂O₃ · SiC · Invar
SVE-010
專家 / 010
精密導向元件
直線導軌、尾錐滑動部件及設備運動級段的導軌在化學清潔與真空環境中使用。硬質陽極處理或化學鎳表面處理後，表面硬度與幾何精度仍可維持。.
Al7075 · SS440C · Ti報價
SVE-015
專家 / 015
高潔淨度結構件
設備框架構件、支撐托架與結構節點，加工與清潔符合 ISO Class 5 (Class 100) 要求。所有表面經被動化、電解拋光或陽極氧化。最終檢查後於潔淨室包裝。無裸露鋁表面。.
Al6061 · SS316L · Ti報價
SVE-017
專家 / 017 — 精選
陶瓷與 PEEK 對金屬座組件
結合陶瓷（Al₂O₃、SiC、ZrO₂）或 PEEK 絕緣元件與精密加工金屬（SS316L 或 Ti）外殼、座環與固定框的複合組件。金屬座經 H7/H6 公差配合以適配陶瓷嵌件壓入式。裝配完成後驗證電氣絕緣性。應用包括射頻電極絕緣體組件、帶金屬安裝框的等離子體圈件，以及介電窗口固定件組件。.
SS316L + Al₂O₃ · Ti + SiC · Al + PEEK報價
SVE-016
專家 / 016
高平整度設備安裝底座
大型精密設備底座與參考平板。頂表面在應力釋放與精密磨削後平整度為 ±0.003 mm。用於熱穩定性的 Invar 或應力消除的 Al6061-T651。作為設備校準與對準的參考基準。.
Al6061-T651 · Invar36 · SS報價
SVE-018
專家 / 018
設備末端效應器零件
半導體自動化設備用致動器尖端、夾持指、刀片末端效應器與感測器安裝臂。低質量、高剛性。接觸區域採用 PEEK 或陶瓷素材。提供靜電放電安全版本。定位重複性可加工到 ±0.02 mm。.
鋁 · PEEK · 陶瓷 · 鈦報價
製造能力
什麼是半導體設備零件
來自加工合作夥伴的需求
💨
氦質譜漏氣測試
每個真空零件皆以氦質譜漏氣檢測儀進行測試——不僅僅是目視檢查或壓力測試。標準漏率為 10⁻⁸ mbar·l/s；對於 UHV 與過程氣體元件為 10⁻⁹。每個零件皆附具個別序號的測試證明書。這不是可選加購項——已包含在所有真空零件的基礎價格中。.
標準 10⁻⁸
10⁻⁹ 超高真空
個別證書
✦
電解拋光與過程氣體相容性
316L 不銹鋼內部表面經電解拋光至 Ra ≤0.25 μm。EP 可去除嵌入顆粒、降低逸出量，並建立耐腐蝕性極高的 Cr 富層被動層，對與腐蝕性過程氣體（F₂、NF₃、Cl₂、HCl）具耐受性。對所有不銹鋼零件之針對 ASTM A967 的鈍化處理。提供 PFA 或 PVDF 內襯以符合最高化學耐性需求。.
Ra ≤0.25 μm 電鍍
ASTM A967 钝化
F₂/NF₃/Cl₂ 兼容
🏭
潔淨室 清潔與包裝
所有半導體零件在完成加工與表面處理後於 ISO Class 5 (Class 100) 潔淨室環境中清洗。使用去離子水超音波清洗、 IPA 冲洗，並以氮氣吹乾。在氮氣脈動下雙層袋裝於抗靜電薄膜中。可提供過程氣體和真空潮濕部件的顆粒計數認證。.
ISO 5 級
DI 水 / IPA 冲洗
N₂-脫脂雙層袋裝
🔬
ESD 安全材料與處理
所有工具與處理元件使用碳載聚醚醚酮 (C-PEEK)、ESD 安全鋁材與靜電耗散尼龍。表面電阻率經測量與紀錄 — 10⁶–10⁹ Ω/sq 以控流失。加工及包裝全程必戴 ESD 手腕帶。最終組裝檢測時，處理夾具需接地。.
C-PEEK / ESD 鋁
10⁶–10⁹ Ω/平方
電阻率認證
⚙
陶瓷加工與陶瓷金屬組裝
Al₂O₃、SiC、ZrO₂ 與 Macor 可加工陶瓷用鑽石工具加工至圖樣。陶瓷嵌件以壓入式金屬外殼的精密孔配合 — H7/H6 公差。組裝件之電氣絕緣通過絕緣電阻測試驗證。提供並測試為完整單元的陶瓷-金屬組裝件。.
Al₂O₃ / SiC / ZrO₂
H7/H6 壓入式
絕緣性已驗證
📐
高平整度與貼合接觸面
密封面與設備基準面經研磨或拋光至公差 ±0.003 mm 平整。支架底板以應力釋放的 Al6061-T651 或 Invar 做為熱穩定性。表面處理後經 CMM 驗證。對晶圓平台參考精度與在熱循環中的真空密封完整性屬關鍵。.
±0.003mm 平整度
T651 / Invar 库存
治具后的量測 CMM
精密規格
公差與測試標準 — 半導體與真空部件
📐
按特徵的尺寸公差
| 密封面平整度 | ±0.003 毫米 (研磨/平整) |
| 安裝板平整度 | ±0.005 毫米 (應力釋放 + 研磨) |
| 法蘭刀口平行度 | ≤0.005 毫米 |
| 真空端口位置 | ±0.05 毫米 (多腔室) |
| 晶圓接觸位置 | ±0.05 毫米 |
| 孔徑直徑 (氣體板) | ±0.005 毫米 |
| 陶瓷-金屬壓裝 | H7 / H6 孔徑公差 |
| 通用孔徑 / 外徑 | ±0.005 毫米 標準 |
He 漏率 (標準)
10⁻⁸ mbar·l/s 的
所有真空腔體本體、覆蓋板與密封框架。質譜儀測試。.
He 漏率 (UHV / 氣體板)
10⁻⁹ mbar·l/s 的
氣體分配板、加工氣體潤濕歧管與 UHV 腔體本體。.
EP 表面光潔度
Ra ≤0.25 μm
經陽極電解拋光的 SS316L 內部潤濕表面。Ra ≤0.4 μm 標準 EP。.
ESD 表面電阻
10⁶–10⁹ Ω/平方
C-PEEK 與 ESD 鈷鎢鎂固定件。根據 IEC 61340-5-1 測量並有文件紀錄。.
絕緣電阻
>10¹⁴ Ω·cm
聚醚醚酮與 Al₂O₃ 絕緣體電阻率。已於陶瓷-金屬組件上驗證。.
潔淨室等級
ISO 5
清潔與包裝環境。ISO 14644-1 等級 5（等效於 Class 100）。.
材料選擇
半導體與真空應用之 主要材料
SS316L 電解拋光
適用於所有真空與半導體氣體濕潤表面的主力材料。316L（低碳）可在焊接接頭處減少碳化物析出。電解拋光可去除嵌入的鐵與表面粗糙度—對粒子減少及工藝氣體相容性至關重要。.
拉力強度
485 MPa
EP 表面 Ra
≤0.25 μm （≤0.4 μm 標準 EP）
氦氣泄漏測試
10⁻⁹ 毫巴·升/秒 可達成
氣體相容性
F₂、NF₃、Cl₂、HCl — 具 EP鈍化
標準
ASTM A276 · ISO 15510 · ASTM A967 鈍化
腔體本體
蓋板
氣體分佈板
法蘭盤接頭
鋁材 6061-T651
T651應力釋放的板材——精密半導體設備底座與安裝板的唯一正確鋁材規格。T6回火提供屈服強度；T651應力釋放可消除因大面積薄板加工後出現的殘留應力變形。表面硬陽極化，Type III 具防護作用。.
拉力強度
310 MPa
平整度（板材）
±0.003 毫米 應力釋放後+ 研磨
表面處理
硬質氧化層 Type III · 氧化層 Type II
主要特性
T651 = 無加工後變形 在大型板材上
安裝板
機械底座
結構框架
PEEK 與碳化 PEEK
用於半導體接觸部的電氣絕緣與化學耐受性的 PEEK。C-PEEK（碳載體）為 ESD 安全版本——具相同化學性質但表面電阻率受控以於靜電耗散。兩者均為低逸出、與真空兼容。.
拉力強度
100 MPa (PEEK) / 85 MPa (C-PEEK)
表面電阻率
PEEK：>10¹⁵ Ω/平方·C-PEEK：10⁶–10⁹ Ω/平方
最大使用溫度
250°C 持續
化學耐受性
卓越——大部分工藝化學品
絕緣定位柱
ESD 夾具（C-PEEK）
晶圓接觸端
生產工作流程
從圖樣到 泄漏测试、潔淨室包裝零件
01
繪圖審核 — 真空相容性與材料選擇
腔體幾何經審查以避免盲孔（捕獲氣體）、粗糙表面區域（釋氣）與法蘭標準。材料選擇 — 真空接觸面用 SS316L，結構用鋁，絕緣用 PEEK/陶瓷。24小時內反饋。.
02
精密 CNC 加工
腔體孔、端口位置與密封面特徵於水平加工中心加工。所有法蘭孔在單次裝夾中定位以維持同心與垂直。密封面經磨削至 ±0.005 mm 的平整度，然後再進行研磨/拋光。.
03
密封面研磨/拋光
關鍵真空密封面磨至 ±0.003 mm 的平整度。刀刃型 Conflat 面經精密車削後再研磨以達平行度。O型圈面密封表面依需求拋光。CMM 平整度驗證。.
04
表面處理 — 電解拋光 / 臆鍍 / 陽極化
SS316L 零件電解拋光至 Ra ≤ 0.25 μm。依 ASTM A967 進行鈍化。鋁件硬陽極化 Type III。所有處理均有紀錄。內部表面經電解拋光後再度測量 Ra 以驗證規格。.
05
氦氣泄漏測試與坐標測量機(CMM)檢驗
對每個單獨零件進行氦氣質譜儀泄漏測試。泄漏率以零件序列號作為對照記錄。所有端口位置與密封面特徵之CMM尺寸驗證。交付文件中包含兩者結果。.
06
潔淨室 清潔與包裝
在 DI 水中超音波清洗、IPA 清洗、氮氣吹乾，於 ISO Class 5 洁净室中完成。以氮氣置換下雙層袋裝於防ESD膜內。包含泄漏測試證明、材料證明與檢驗報告。以剛性防護包裝運送。.
品質系統
每個真空部件 經測試、紀錄與認證
💨
每個真空部件的氦泄漏測試證明
未提供完整氦質譜泄漏測試證明前，不會出貨任何真空部件。證明包含測試日期、部件序列號、測試結果（mbar·l/s）與設備校準狀態。包含在基礎價格中—非額外增購。.
✦
EP 表面粗糙度 Ra 的測量與報告
電化拋光內部表面在接觸式輪廓儀測量後。Ra 值以零件號碼作為對照記錄。非假設自 EP 工藝參數——實際測量。與交貨文件一併提供輪廓測量報告。.
🏭
ISO Class 5 無尘室包裝 — 所有半導體元件
所有半導體設備零件在 ISO Class 5 環境中清潔，並在氮氣撙氣下雙重袋裝。需要時可提供流程氣體與超高真空相關部分的粒子計數證明。.
⚙
陶瓷-金屬組件隔離已驗證
每個陶瓷-金屬組裝在組裝完成後測量絕緣電阻——不僅僅是個別元件。組裝完成後電阻小於 10¹² Ω·cm 的零件將被識別、調查並在出貨前修正。.
📋
ISO 9001:2015
所有訂單之品質管理系統
💨
氦泄漏證明
每個真空元件皆進行質譜儀測試
✦
ASTM A967
SS鈍化標準認證
🏭
ISO 5 級
潔淨室清潔與包裝
⚡
IEC 61340-5-1
靜電放電表面電阻認證
📐
CMM 報告
對所有高精度零件進行尺寸驗證
我們的優勢
為何半導體設備團隊 依賴我們的零件
He
洩漏測試標準 — 不可選擇
每個真空部件均以氦質譜洩漏測試為標準配置。非升級選項。不可按需取得。出廠前，每個腔體本體、罩板與氣板皆經測試與認證。.
EP
電解拋光與加工氣體就緒
SS316L 槽件經電解拋光至 Ra ≤0.25 μm，被動化處理，並進行氦洩漏測試 — 準備直接安裝於 CVD、蝕刻與 ALD 腔體。設備整合商不需額外化學處理。.
靜電放電
靜電放電與陶瓷專家
C-PEEK 靜電放電夾具具測量與認證電阻值。具有經驗證的絕緣電阻的陶瓷與金屬組件。具備提供這些複合部件所需的材料知識與量測能力——不只是試做。.
CR
ISO 五級潔淨室 — 內部
內部 ISO 五級潔淨室 — 非外包清潔。全面掌控清潔流程、氮氣脫包裝與顆粒數量驗證。你的零件在加工到交付期間不會離開我們的品質系統。.
獲取報價
寄出您的圖紙。.
取得報價。.
每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.
24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
📐
每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程：從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次；放大規模時不需重新鑑定。.
⚙
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
ISO 9001:2015
3/4/5 軸銑床
CNC 車削
座標測量儀檢驗
全球交付