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ISO 9001:2015 立即取得報價
產品類別
PEEK · PTFE · Vespel · ≥10¹⁰ Ω · 無塵室
ISC / 001 — 008

高精度CNC
隔熱支撐零件

自訂 CNC 加工絕緣支撐元件 — PEEK、陶瓷相鄰金屬座,以及 PTFE 結構件。組裝裝配公差 ±0.01 mm,電氣絕緣 ≥ 10¹⁰ Ω,適用無塵室。適用於高壓區域、等離子體系統與靜電敏感半導體設備。.

≥10¹⁰Ω
體積電阻率
±0.01mm
組裝適配
熱膨脹係數
補償
部件圖 DWG · ISC-000 PEEK 支撐墊 + Al 座 · 匹配套件 SEMI S2 · IEC 60664
PEEK · 10¹³ Ω·cm
CTE 補償
UV 粒子 ✓
⏚ 地端 GND · 0V Al 6061 座 POM 10¹³ Ω·cm 介電 屏障 ⚡ 高壓電極 · 5 kV 150 mm 堆疊 匹配組 · CTE補償 · M6 ×2 截面 · 高壓電極 / PEEK / GND 座 熱膨脹係數 · α 微米/米·K 材料 α 鋁合金 6061 23.6 SUS316L 16.0 PEEK ◀ 47 氧化鋁 7.2 絕緣 · ≥10¹⁰ Ω ⚡ 高壓 5kV PEEK 屏障 ≥10¹³ Ω·cm ⏚ 地端 CREEPAGE 84 毫米 IEC 60664 · 污染度 2 介電材料 · 選單 材料 T 最大 使用 PEEK ◀ 250°C 通用 Vespel PI 350°C 高-溫 聚四氟乙烯 260°C 化學耐受性 Al₂O₃ 陶瓷 1500°C 極端 BN 陶瓷 2000°C 等離子體 潔淨室協議 只限 PEEK 的工具 無交叉 冷卻液無需機加工 氣吹 超音波 + IPA 浸泡 ISO 清潔 UV 粒子檢測 365 奈米 CMM 驗證 ±0.01 配合 CTE 比對 潔淨室雙層包裝 氮氣置換 比例 1 : 2 · mm
等離子體 · CVD · ESC · 真空 · 高壓
使用案例
聚醚醚酮 · 聚四氟乙烯 · 釹鈷鋁 · 硼化氮 · 氧化鋁
材料
48hr 報價 · 7 天原型
服務
≥10¹⁰Ω
電氣絕緣
体積電阻率
±0.01mm
裝配配合公差
金屬-絕緣體界面
潔淨室
相容
零顆粒脫落
7天
最快交付
原型訂單
機加工挑戰

絕緣支撐元件挑戰

絕緣支撐元件必須同時提供機械支撐與電氣絕緣——需具備材料性質、尺寸精度與裝配保護的組合,這需要專門加工專業技術。.

金屬-絕緣體界面的材料配對
金屬(鋁:23 µm/m·K,SUS316L:16 µm/m·K)與 PEEK(47 µm/m·K)或陶瓷(6–8 µm/m·K)之熱膨脹係數(CTE)不匹配,意味著裝配間隙必須為最差溫度條件而設計。HXC 為每個金屬-絕緣體界面計算補償 CTE 的公差。.
🔩
不脆裂絕緣材料的裝配
PEEK 與陶瓷材料在點荷載下容易破裂。裝配夾具、螺紋型式與夾緊方式必須均勻分布荷載。HXC 使用 受控扭矩規範、軟鑄爪夾持, 、以及專用裝配工具以防止在加工與裝配過程中出現裂紋。.
🧼
潔淨室顆粒控制
PEEK加工產生的細屑和粉塵必須在潔淨室使用前完全清除。HXC 使用專用的 PEEK 專用工具、超音波清洗與紫外線檢測,以確保絕對零顆粒污染來自絕緣元件。.
我們的工作

我們製作的絕緣支撐元件

REAL CNC機械加工的半導體元件 — 清潔、檢查,且潔淨室包裝.

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PEEK 真空絕緣支撐
絕緣支撐 — 批次
能力與公差

我們可以交付的項目

典型規格 — 請在詢問時確認確切需求.

電氣絕緩 ≥ 10¹⁰ Ω 體積電阻率(PEEK)
組裝配合公差 ±0.01 mm 金屬-絕緣界面
CTE 补償 按組裝溫度範圍計算
最小壁厚(PEEK) 1.5 毫米
清潔 超聲波 + 紫外線粒子檢查
PEEK 螺紋 ISO 公制,UNC — 指定的最小扭矩
材料 PEEK、PTFE、PI(Vespel)、SUS316L、Al 6061
加工 專用 PEEK 工具,避免交叉污染
裝配套件 金屬 + 絕緣體匹配與測試
交期(樣件) 7–10 天
交貨期(批次) 12–18 天
電氣測試 體積電阻率證明可用
原理

從圖樣到可在潔淨室使用的零件

上傳您的圖樣 — DFM 审查、加工、清洗與潔淨室包裝於約定交期內。.

01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。包含材料、公差與潔淨等級。.
02
DFM 與報價
免費 DFM 評估 — 封口面可行性、薄壁、去毛刺策略。48 小時內報價。.
03
機器、清潔與檢驗
CNC 加工、超聲波清潔、CMM 檢測、潔淨室包裝。.
04
全球運送
完整尺寸報告 + 清潔紀錄附上。DHL / FedEx / 海運。.
評價

獲半導體設備工程師信任

★★★★★
"表面清潔度與包裝立刻符合我們潔淨室進料檢驗要求。尺寸報告與我們的 CMM 檢查完全吻合。"
LW
李偉
製程設備工程師 · 台灣
★★★★★
"HXC 理解我們腔室元件的真空密封需求,無需冗長解釋。交期正如報價所示。"
SL
蘇菲 L.
設備設計工程師 · 韓國
★★★★★
"我們已從 HXC 採購晶圓處理與腔室零件長達兩年。清潔度、尺寸精度與批次一致性皆出色。"
JT
詹姆斯 T.
高階採購 · 美國
常見問題

有關絕緣支撐元件機加工的常見問題

由我們的半導體元件團隊回答的工程與採購相關問題。.

可以 — HXC 機械加工 匹配的金屬 + PEEK 裝配套件 兩個元件皆為成套生產並以尺寸驗證。熱膨脹係數補償間隙在裝配工作溫度範圍內計算。裝配相容性(室溫下與工作溫度下的間隙)於裝運前由座標量測機器(CMM)驗證。.
PEEK 加工注意事項: (1) 專用 PEEK 專用工具 (與金屬碎屑不混入;); (2) 無冷卻液或僅使用氣流吹淨 (避免熱衝擊;); (3) 軟爪夾具 以避免應力集中;; (4) 每個螺紋 PEEK 部件都提供螺紋扭矩規格 —\n 超過扭矩限制會使材料破裂。對於陶瓷相鄰金屬座:我們在 DFM 期間提供安裝方法建議。 哪種材料提供最高的電氣絕緣性?.
POM清潔室相容。. Vespel PI: 更高的耐溫能力(最高至 350°C),更佳的. 聚四氟乙烯尺寸穩定性。. : 出色的耐化學性和低摩擦: 最高的熱穩定性,但需要機加工金屬座 for assembly. HXC 機械化四個。.
對於半導體工藝設備: IEC 60664 (絕緣協調), SEMI S2 (半導體設備的安全性)。等離子系統的典型絕緣元件要求:體積電阻率 ≥ 10¹⁰ Ω·cm。HXC 提供每種使用絕緣材料的材料數據表,其體積電阻率。電氣測試(體積電阻率測量)可作為額外服務提供。.
POM: 持續使用至 250°C,短期至 300°C。. Vespel PI: 持續使用至 350°C。. 聚四氟乙烯: 至 260°C。對於高於 350°C 的溫度:氮化硼或氧化鋁陶瓷 — HXC 為這些陶瓷加工精密金屬座。請指定操作溫度與化學環境,我們建議最佳絕緣材料。.
可以 — HXC 提供 完整絕緣裝配套件: 金屬機身 + PEEK/PI 絕緣插入件 + 緊固件 (附扭矩規格) + 組裝說明。所有元件 都經清潔、比對與打包成套件。組裝扭矩限制如客戶需要於 PEEK 元件上刻印或印刷。.
原型: 7–10 天. 匹配金屬+PEEK 套件:8–12 天。批次:12–18 天。.
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每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.

24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
📐
每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程:從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次;放大規模時不需重新鑑定。.
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
ISO 9001:2015 3/4/5 軸銑床 CNC 車削 座標測量儀檢驗 全球交付