產品類別
CF / KF / ISO-K · <1×10⁻⁹ · ≤0.005mm · He-測試
VFF / 001 — 008
高精度CNC
真空法蘭接頭
精密 CNC 加工真空法蘭件與轉接接頭 — CF / KF / ISO-K 接口尺寸符合標準，法蘭面平整度 ≤ 0.005 mm， 同心度 ≤ 0.005 mm， 氦氣泄漏測試 <1×10⁻⁹ mbar·l/s。SUS316L 或 Al 6061 用於半導體、研究及工業真空系統。.
<10⁻⁹
氦氣洩漏
≤0.005mm
平面平整
CF/KF/ISO
標準
部件 DWG · VFF-000 CF 刃邊法蘭 · SUS316L EP
ISO 9001 · DIN 28403
Cu O 型墊圈
刀刃角 23°
半導體 · 研究 · 光學 · 医療 · 工業
使用案例
SUS316L · 304 · 鋁6061 · 鈦 · 高純度銅
材料
48hr 報價 · 6 天原型
服務
<1×10⁻⁹
泄漏率
mbar·l/s 的
mbar·l/s 的
≤0.005毫米
法蘭端面平整度
密封面等級
密封面等級
CF/KF/ISO
所有標準
受支持
受支持
6 天
最快交付
原型訂單
原型訂單
機加工挑戰
真空法蘭法蘭接頭挑戰
真空法蘭接頭是真空系統的連接點—任何偏離標準的尺寸都會造成對中不良、法蘭面損傷與系統層面的洩漏.
⦿
孔與法蘭同心度
孔必須與法蘭面和螺栓圈同心，公差≤0.005 mm—任何同心度差都會使法蘭座在中心偏位，扭曲墊片接觸並產生洩漏路徑.
📐
刀刃幾何形狀（CF 法蘭）
CF ConFlat 法蘭具有精密刀刃，可切入銅或鋁墊片以形成氣密密封。刀刃角度、先端半徑（≤ R0.1 mm）、高度必須符合 PNEUROP 公差。透過接觸輪廓儀驗證。.
🔒
氦氣洩漏完整性
每個真空法蘭接頭在與對接法蘭組裝時必須密封小於 <1×10⁻⁹ mbar·l/s。HXC 針對所有真空等級接頭進行氦氣測試並提供洩漏測試證書。.
我們的工作
请求相似零件 →
我們自製的真空法蘭配件
REAL CNC機械加工的半導體元件 — 清潔、檢查，且潔淨室包裝.
能力與公差
我們可以交付的項目
典型規格 — 請在詢問時確認確切需求.
| 洩漏率 | <1×10⁻⁹ mbar·l/s (He 測試) |
| CF 斷面刀刃 | PNEUROP 標準，尖端 R ≤ 0.1 mm |
| 法蘭面平整度 | ≤ 0.005 毫米 |
| 孔徑/法蘭同心度 | ≤ 0.005 毫米 |
| 法蘭標準 | CF、KF、ISO-K/F、VCR |
| 清潔 | IPA 超聲波清潔 + N₂ + 洁淨室包裝 |
| 材料 | SUS316L、Al 6061、Ti Grade 5 |
| 氦氣測試 | 100% 每個接頭，證書 |
| 表面處理 | 電解拋光、鉻酸鹽鈍化、硬質陽極化 |
| 交期（樣件） | 6–9 天 |
| 交貨期（批次） | 10–16 天 |
| 非標準 | 可提供任何接頭幾何形狀 |
原理
從圖樣到可在潔淨室使用的零件
上傳您的圖樣 — DFM 审查、加工、清洗與潔淨室包裝於約定交期內。.
01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。包含材料、公差與潔淨等級。.
02
DFM 與報價
免費 DFM 評估 — 封口面可行性、薄壁、去毛刺策略。48 小時內報價。.
03
機器、清潔與檢驗
CNC 加工、超聲波清潔、CMM 檢測、潔淨室包裝。.
04
全球運送
完整尺寸報告 + 清潔紀錄附上。DHL / FedEx / 海運。.
評價
獲半導體設備工程師信任
★★★★★
"表面清潔度與包裝立刻符合我們潔淨室進料檢驗要求。尺寸報告與我們的 CMM 檢查完全吻合。"
LW
李偉
製程設備工程師 · 台灣
★★★★★
"HXC 理解我們腔室元件的真空密封需求，無需冗長解釋。交期正如報價所示。"
SL
蘇菲 L.
設備設計工程師 · 韓國
★★★★★
"我們已從 HXC 採購晶圓處理與腔室零件長達兩年。清潔度、尺寸精度與批次一致性皆出色。"
JT
詹姆斯 T.
高階採購 · 美國
常見問題
關於真空法蘭夾具加工的常見問題
由我們的半導體元件團隊回答的工程與採購相關問題。.
HXC 加工所有標準真空介面法蘭： CF ConFlat法蘭 （DIN 28403 / PNEUROP，DN16 至 DN500），, KF（ISO 2861） （Ø10–160 mm），, ISO-K / ISO-F （大直徑），, VCR 平面密封. 全部尺寸均按標準加工並經 CMM 驗證。亦提供非標準減速器、可旋轉法蘭及客製化接頭。.
每個真空法蘭配件都是 進行氦質譜泄漏測試 出貨前：與參考空白法蘭配合適當的墊片組裝，充氦氣並測試至 <1×10⁻⁹ mbar·l/s. 。測試證書包含。CF法蘭：<1×10⁻¹⁰ mbar·l/s 適用於超高真空應用。.
CF刀口邊緣的測量由 在4個角度位置用觸針輪廓儀測量：刀口角度（23° ± 0.5°）、尖端半徑（≤ R0.1 mm）、以及根據DIN 28403的高度。若偏離標準，將予以拒收。輪廓儀報告包含於品質文件中。.
孔心到法蘭面同心度： ≤ 0.005 毫米. 。孔心到螺栓孔徑同心度：≤ 0.01 mm。HXC機床在單次車削設定中加工孔、法蘭面與螺栓圓 — 確保三者皆參考於同一軸心。透過CMM驗證同心度。.
可以 — 常規加工將兩種不同法蘭標準結合的自訂適配器（例如KF40轉ISO-K160、CF35轉VCR，或非標準端口）提供加工。提供兩個配接法蘭標準，我們將設計並報價適配器幾何形狀。DFM審查確認壁厚與密封面相容性。.
SUS316L: HV 与 UHV 的标准——低逸出、可焙烧至 300°C、耐电抛光。用于 CF 和需要基压低于 10⁻⁷ mbar 的系统。. Al 6061硬质阳极氧化: 适用于中真空（< 10⁻⁵ mbar），重量较轻，仅 KF 法兰。不可在 150°C 以上焙烧。材料选择取决于您的目标基压和运行温度。.
是的——所有真空法兰配件均 超声波清洗于 IPA 中, ，并以过滤后的氮气吹干，且 在 ISO Class 5 洁净室袋中双重密封. 。颗粒计数报告（ISO 14644 标准）可应 semiconductor-grade 配件的需求提供。支持直接洁净室转运之定制包装。.
原型： 6–9 天. 批量：10–16 天。定制适配件：7–12 天。.
獲取報價
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取得報價。.
每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.
24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
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每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程：從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次；放大規模時不需重新鑑定。.
⚙
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
ISO 9001:2015
3/4/5 軸銑床
CNC 車削
座標測量儀檢驗
全球交付