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產品類別
動作 ±0.01 · 40-55% 輕量化 · 1,000萬+ 週期 · 真空接口 · 最低訂購量 1
EEP / 001 — 010

拓撲銑削
設備末端效應器零件

高精度 CNC 加工半導體設備末端執行器零件 — 動作幾何公差 ±0.01 mm,基於拓撲優化的口袋銑削,減重 40–55%,設計驗證壽命超過 1,000萬週期。Al 7075 硬質陽極處理或 PEEK 接觸面,整合真空歧管接口,無塵室適用。適用於晶圓搬運機器人、取放頭及精密運動致動器。.

±0.01mm
動作幾何.
輕量
慣性優化.
1,000萬+
設計週期
零件圖 · EEP-001 晶圓 300mm · Al 7075 HA · 48 克 · 1,000萬+ ISO 9001 · 拓撲優化 · 三次元量測
格狀口袋銑削
真空接口 × 3
末端執行器 · 俯視圖 · 拓撲優化 Al 7075 HA · 300mm · 48 克 · 輕量化 52% ±0.01 動作 腕部 真空 Ø1.5 × 3 輕量化 52% · 剛性 -12% 剖面 A-A WEB 1.5 · 口袋型 300mm 晶圓假片 設計壽命 1,000萬+ 循環 · 硬質陽極氧化 HV 400+ A 材質 · 耐磨 Al 7075 HA ◀HV 400+ 陽極 POM無金屬零件。. SUS440C插銷 / 墊片 ESD PEEK靜電消散. 重量 · 等級 ≤30 克 · 200mm超輕量 ≤50 克 · 300mm ◀典型 ≤120 克 · 多規格批次轉移 拓撲 FEA載重路徑銑削 執行器 · 形式 晶圓 ◀ 多重 拾取 FOUP 真空接口 Ø0.3–3 內徑 撓度 ≤0.01 @ 最大載重 循環壽命 · 設計 超過一千萬次設計壽命 ◀經FEA驗證 拓撲口袋銑削40–55%質量減少 慣性 · 旋轉軸於DFM報告中 匹配的手指/焊盤已作為組合驗證 精密對準±0.005毫米可用 比例 1:2 · 毫米
晶圓轉移 · 拾取放置 · FOUP · 多晶圓 · 對準
應用領域
Al 7075 HA · PEEK · ESD PEEK · SUS316L · SUS440C
材料
48hr 報價 · 6天打樣 · 最小訂購量1件
服務
±0.01mm
動作幾何
精密驅動
輕量化
慣性最佳化
快速循環時間
1,000萬+
設計循環壽命
耐磨材料
6 天
最快交付
原型訂單
機加工挑戰

設備末端執行器零件挑戰

末端執行器零件必須結合低質量(以實現快速運動)、精確動作幾何(以準確放置裝置)、以及長久耐磨壽命——並且需符合無塵室要求的形式。.

⚖️
低慣性與剛性
末端執行器必須具有足夠的剛性,以抵抗設備重量和加速度力造成的偏移,同時盡可能輕量化以提升機器人速度。HXC 拓撲結構將所有末端執行器結構件進行銑削,達成 40–55% 重量減輕 同時維持所需剛性。.
🔁
高循環耐磨壽命
半導體設備的末端執行器每年執行超過一千萬次取放循環。接觸表面必須具備耐磨性——硬質陽極處理鋁或氮化鋼——以防止尺寸變化導致長期錯位。.
🧼
無塵室粒子產生
末端執行器接觸表面產生的磨損粒子會污染晶圓。HXC 規範硬質陽極處理鋁(HV 400+,無磨損粒子)或 PEEK(無金屬粒子)接觸表面,並經清洗後粒子數量驗證。.
我們的工作

我們製作過的設備末端執行器零件

REAL CNC機械加工的半導體元件 — 清潔、檢查,且潔淨室包裝.

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50 件 · 配對
能力與公差

我們可以交付的項目

典型規格 — 請在詢問時確認確切需求.

動作幾何公差.±0.01 毫米
重量 (300 毫米)≤ 50 g (優化)
接觸面 Ra0.4 微米
循環壽命設計>1,000 萬次循環
顆粒產生零點檢測(HA / PEEK)
剛性最大負載下撓度 <0.01 mm
材料Al 7075、PEEK、ESD PEEK、SUS316L
重量最佳化拓撲優化口袋銑削
清潔IPA 超音波 清潔室包裝
交期(樣件)6–9 天
交貨期(批次)10–16 天
匹配組手指/墊片已確認設定完成
原理

從圖樣到可在潔淨室使用的零件

上傳您的圖紙 — DFM、FEA、加工、清潔、檢驗及無塵室包裝,於約定交期內完成。.

01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。請包含載重、晶圓尺寸、循環壽命。.
02
DFM 與 FEA
載重路徑 FEA、慣性計算、質量減輕提案。48 小時內報價。.
03
加工與清潔
CNC + 拓樸口袋銑削、硬質陽極處理、IPA 超音波清洗、CMM。.
04
全球運送
隨附 CMM 與清潔紀錄。DHL/FedEx/海運。.
評價

獲半導體設備工程師信任

★★★★★
"表面清潔度與包裝立刻符合我們潔淨室進料檢驗要求。尺寸報告與我們的 CMM 檢查完全吻合。"
LW
李偉
製程設備工程師 · 台灣
★★★★★
"「HXC 的拓樸口袋銑削將執行器質量減半,且剛性未受損。機器人循環時間明顯提升。交期完全如報價所述。」"
SL
蘇菲 L.
設備設計工程師 · 韓國
★★★★★
"「我們已向 HXC 採購晶圓搬運末端執行器兩年。潔淨度、尺寸精度與成套一致性都非常優異。」"
JT
詹姆斯 T.
高階採購 · 美國
常見問題

設備末端執行器 — 常見問答

由我們的半導體元件團隊回答的工程與採購相關問題。.

HXC 使用 拓撲感知的執行腔螐型加工:識別結構載重路徑(從機器人手腕到晶圓接觸點),於這些路徑保留材料,所有非承載區域則進行口袋化。結果: 40–55% 重量減輕 僅損失 10–15% 剛性,相較於實心結構。最大載重下於晶圓接觸點的撓度,會於加工前經 FEA 計算與驗證。.
慣性降低不僅限於減輕重量: (1)將質量集中於機器人手腕附近 (降低手臂慣性)— 更積極地對遠端進行口袋化;; (2)避免懸垂結構 這類結構會增加慣性但不提升剛性;; (3)使用PEEK作為接觸功能材料 當鋁材會過度設計時。HXC會在DFM報告中計算機器人手腕軸的旋轉慣性。.
Al 7075第三類硬陽極氧化:最常見——HV 400+陽極氧化層在接觸表面提供優異的耐磨性。. POM:適用於對金屬污染敏感的應用——無磨損顆粒,良好的尺寸穩定性。. SUS440C:適用於需要最高耐磨性的接觸針或墊片。所有材料在清潔後均無可檢測顆粒。.
是的——HXC的DFM審查包括:載荷路徑分析、關鍵接觸點的撓度計算、最小壁厚評估、慣性計算及循環壽命預估。設計變更建議在任何加工承諾前提出。大多數DFM建議能降低成本並提升性能。.
標準: ±0.01 毫米 動作幾何。對於精密對位末端執行器: ±0.005 毫米 可透過額外半精加工探測及修正通道達成。幾何形狀由CMM測量所有接觸位置相對於機器人手腕安裝基準點進行驗證。.
是的——HXC直接在末端執行器結構內加工整合式真空歧管、Ø0.3–3 mm真空孔及O型環溝槽。所有真空通道均去毛邊、流量測試並驗證無漏氣後才進行無塵室包裝。.
原型: 6–9 天. 批次:10–16天。拓撲優化設計(需新FEA):8–14天。.
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每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.

24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
📐
每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程:從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次;放大規模時不需重新鑑定。.
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