Mahsulot Kategoriyasi
SVE — 001 dan 018 gacha
Yarim o‘tkazgich
& Bo‘shliq
Uskuna qismlari
Yarimo‘tkazgich ishlab chiqarish uskunalari, bo‘shliq tizimlari va ultra-toza jarayon muhitlari uchun 18 ta aniq ishlangan mahsulot liniyasi — UHV kameralarining korpusi va vafey bilan ishlash uchun moslamalaridan gaz taqsimlash plitalariga, keramika- metall yig‘malariga va ESD xavfsiz asbob-uskunalarga qadar.
💨
10⁻⁹ mbar·l/s
Neytral gaz chiroqlik darajasi
📐
±0,003 mm
Qopqoq yuzasining tekisligi
✦
Ra ≤0.25 μm
Elektropolished EP
🏭
Tozalash xonasi
Qadoqlash va yetkazib berish
18
Mahsulot yo‘nalishlari
Bo‘shliq kameralaridan ESD moslamalarigacha — to‘liq uskunani yig‘ish bo‘yicha yordam
10⁻⁹ mbar·l/s
Chiqib ketish tezligi
Geli yoriq testi uchun He massaspektrometri, sertifikat bilan birga
316L EP
Jarayon gazining sinfi
Hamma korroziyaga chidamli gaz bilan namlangan sirtlar uchun elektropolished SS316L
24 hr
Narxni tasdiqlash vaqti
Chizma qabul qilinganidan 24 soat ichida DFM fikr-mulohazasi va to‘liq taklif
18
Mahsulot yo‘nalishlari
10⁻⁹ mbar·l/s
He yoriq tezligi
Ra ≤0.25μm
EP Sirt
±0,003mm
Chiroqlik tekisligi
24 hr
Narxni tasdiqlash vaqti
Vakuum Kamerasi Tanasi ✦
Kamera Qopqog‘i Plitalari ✦
Kamera Yopish Ramkalari ✦
Kamera Ichki Komponentlari ✦
Vafer bilan ishlash uchun moslamalar ✦
Vaferni tekislash qismlari ✦
Uskuna o'rnatish plitalari ✦
Izolyatsiya qo'llab-quvvatlash qismlari ✦
ESD Statikdan Himoyalovchi Qurilmalar ✦
Aniq yo'riqnoma komponentlari ✦
Gaz taqsimlash plitalari ✦
Havo bo'shliq flanjli adapterlar ✦
Yuqori tozalikka ega tuzilmalar ✦
Pompali-valf o'tkazgichlari ✦
Kamera Ko‘rishmaydigan Ramkalar ✦
Yuqori tekislikdagi o'rnatish bazalari ✦
Keramika / PEEK metall o'rindiq yig'ilmalari ✦
Qurilma Yakuniy Effektor Qismlari ✦
Vakuum Kamerasi Tanasi ✦
Kamera Qopqog‘i Plitalari ✦
Kamera Yopish Ramkalari ✦
Kamera Ichki Komponentlari ✦
Vafer bilan ishlash uchun moslamalar ✦
Vaferni tekislash qismlari ✦
Uskuna o'rnatish plitalari ✦
Izolyatsiya qo'llab-quvvatlash qismlari ✦
ESD Statikdan Himoyalovchi Qurilmalar ✦
Aniq yo'riqnoma komponentlari ✦
Gaz taqsimlash plitalari ✦
Havo bo'shliq flanjli adapterlar ✦
Yuqori tozalikka ega tuzilmalar ✦
Pompali-valf o'tkazgichlari ✦
Kamera Ko‘rishmaydigan Ramkalar ✦
Yuqori tekislikdagi o'rnatish bazalari ✦
Keramika / PEEK metall o'rindiq yig'ilmalari ✦
Qurilma Yakuniy Effektor Qismlari ✦
To‘liq mahsulot assortimenti
18 ta yarimo'tkazgich va vakuum uskunalari
Mahsulot yo‘nalishlari
Chapdagi toifani tanlang, mahsulotlarni ko'rish uchun · Barcha qismlar chizma bo'yicha · MOQ 1 dona · Hech qanday yirtiq test kiritilgan
Mahsulot toifalari
Vakuum kameralari va yopish
4
Vaferni ishlash va tekislash
2
Uskuna o'rnatish va qo'llab-quvvatlash
3
Gaz, flanj va suyuqlik interfeysi
4
Mutaxassis va kompozit qismlar
5
🏛
Vakuum kameralari va yopish
UHV mos kameralar korpusi, yopish ramkalari, qopqoq plitalari va ichki struktural komponentlar. Barcha namlangan sirtlar Ra ≤0.4 μm yoki undan yaxshiroq elektro-polished qilingan. Conflat, ISO-KF va ISO-K flanj standarti. Har bir kamera helium yirtiq testi 10⁻⁹ mbar·l/s ga yetkazilguncha amalga oshiriladi.
Materiallar: SS316L EP · Al6061 · OFHC mis · Titan
SVE-001
VAKUM KAMERALARI / 001 — AJRALIB TURGAN
Vakuum Kamerasi Tanasi
UHV mos keladigan SS316L korpuslar — qattiq blokdan yoki burma va qayta ishlangan plitalardan ishlangan, ichki qismi elektropolished qilingan. Bir nechta Conflat yoki ISO-K flanji portlari CNC gorizontal ishlov berish markazida joylashtirilgan va burg'ilangan. Ichki sirt Ra ≤0.4 μm EP dan so'ng; so'rov bo'yicha ≤0.25 μm. Helium yoriq tekshiruvi 10⁻⁹ mbar·l/s ga qadar. Kichik tahlil kameralardan katta qoplamali reaktor korpuslariga qadar.
SS316L · Al6061 · OFHC Cu
Taklif olish
SVE-002
VAKUM KAMERALARI / 002
Kamera Qopqog‘i Plitalari
Vakuum kamerasining qopqog'i va kirish plitalari O-ring yiv yoki pichoq-chegarali metall yopiqlik yuzasi bilan. Yopish yuzasining tekisligi ±0.003 mm. O'tkazgichlar uchun o'tkazish joylari CNC bilan joylashtirilgan. Ichki yuzasi elektropolished.
SS316L · Al6061 · Ti/div>
SVE-003
VAKUM KAMERALARI / 003
Kamera Yopish Ramkalari
Kameraning moslash yuzalariga aniq yopishqoq halqa ramkalari va gasketsiz joylar. Pichoq-chegarali Conflat uslubidagi yopishqoq ramkalar yuzaga nisbatan parallel ≤0.005 mm. Korpus bilan mos keladigan yoki mustaqil ravishda taqdim etiladi.
SS316L · OFHC Cu · InconelTaklif olish/div>
SVE-004
VAKUM KAMERALARI / 004
Kamera Ichki Komponentlari
Vakuum kameralari ichida joylashgan qalqichlar, to'siqlar, elektrodlarni qo'llab-quvvatlovchi elementlar, sahna bracketlari va namuna tutuvchilar. Past chiqindili material tanlovi. Barcha yopiq teshiklar gazni ushlab qolmasligi uchun counter-bored qilingan. Elektropolished yoki teshilgan qilingan.
SS316L · Al · Ti · MacorTaklif olish
🔵
Vaferni ishlash va tekislash
Varaqni boshqarish uchun klamp halqalar, oxir-efektlar va tekislikni joylashtirish elementlari, vakuum va atmosfera muhitida varaqni tashish uchun. ESD xavfsiz materiallar va PEEK/keramika kontakt yuzalari elektrostatik zarar va metall kontaminatsiyasini oldini oladi.
Materiallar: Al6061 · PEEK · Keramika · SS316L · Delrin
SVE-005
Varaqni boshqarish / 005 — AJRALIB TURADI
Varaqni boshqarish uchun klamp moslamalari
Varaqni klamp halqalar, fork oxir-efektlar va qamrov yig‘ilmalari 200 mm va 300 mm varaqni tashish uchun atmosfera va vakuum muhitida. Kontakt yuzalar PEEK yoki keramika (Al₂O₃) da bo‘lib, metall kontaminatsiyasini oldini oladi. ESD xavfsiz versiyalar karbon bilan yuki PEEK yoki o'tkazuvchi Al bilan elektrostatik zaryadlashdan himoya qiladi. Varaq kontakt pozitsiyasi chidamliligi ±0.05 mm. Vakuumga mos chiqindili xususiyatlar mavjud.
Al6061 · PEEK · Al₂O₃ · C-PEEKTaklif olish
SVE-006
Varaqni boshqarish / 006
Varaqni tekislash va joylashish qismlari
Aniqlash uchun aniq vafeying chetini joylashtirish pinlari, tekislik aniqlash notchi sensorlar va tekislik o'rnatish joylari. Pozitsiya toleransiysi ±0.01 mm. Uzun muddatli ishlash uchun qattiq anodlangan alyuminiy yoki keramika pin materiallari, ifloslanmasdan.
Al7075 · Al₂O₃ · ZrO₂ · SSTaklif olish
📐
Uskuna o'rnatish va qo'llab-quvvatlash
Sanoat texnikasi o'rnatish plitalari, izolyatsiya qo'llab-quvvatlash tuzilmalari, ESD xavfsiz joylar va aniqlik bilan chiziqli yo'riqnomalar, ishlab chiqarish uskunalarining struktura va harakat kichik yig'ilmalarida ishlatiladi. Yuqori tekislik, qat'iy pozitsion toleransiyalar va ifloslanmasdan materiallar butunlay.
Materiallar: Al6061 · Al7075 · PEEK · Al₂O₃ · SS316L
SVE-007
O'rnatish va Qo'llab-quvvatlash / 007 — AJRALIB TURGAN
Uskuna o'rnatish plitalari
Yuqori tekislikdagi uskunalarni o'rnatish va adapter plitalari, yarimo'tkazgich jarayon asboblari uchun — robot qo'llarini, stage yig'ilmalarini va sensor modullarini uskunalar ramkalariga ulash uchun. O'rnatish yuzasida tekislik ±0.005 mm; o'rnatish teshiklarining pozitsion toleransiysi ±0.008 mm. Standart sifatida stressdan ozod qilingan Al6061-T651 plitalari — ishlov berishdan keyingi deformatsiyani bartaraf etadi. Sirtni himoya qilish uchun qattiq anodlangan Type III. CMM o'lchov hisobot bilan ta'minlangan.
Al6061-T651 · Al7075 · SS316L
SVE-008
O'rnatish va Qo'llab-quvvatlash / 008
Izolyatsiya qo'llab-quvvatlash qismlari
Elektrik izolyatorlar, stend qo'llab-quvvatlashlar va bushing izolyatorlar PEEK, Al₂O₃ keramika yoki Macor ishlab chiqariladigan shisha keramika. RF va plazma kameralarida elektr faol komponentlarni yer bilan ajratish. Hajm rezistivligi >10¹⁴ Ω·cm.
PEEK · Al₂O₃ · Macor · PTFETaklif olish
SVE-009
O'rnatish va Qo'llab-quvvatlash / 009
ESD Statikdan Himoyalovchi Qurilmalar
ESD-ga chidamli asbob tutuvchilar, komponentlar plastinkalari va yigʻish jiglari karbon bilan yüklangan PEEK (C-PEEK), ESD-ga chidamli alyuminiy yoki statik-elektrodispersiyali nylondan. Sirt qarshiligi 10⁶–10⁹ Ω/sq, nazorat qilinadigan zaryad chiqarish uchun toʻkib yubormasdan.
C-PEEK · ESD Al · ESD NilonTaklif olish
💨
Gaz, flanj va suyuqlik interfeysi
Gaz taqsimlash plastinkalari, vakuum flanjli adapterlar, nasosdan valfga oʻtish fitinglari va kameraning koʻz oʻngash ramkalari. Barcha gaz bilan yuvilgan sirtlar elektro-polished 316Lda. Flanjlar Conflat, KF va ISO-K standartlariga mos ravishda ishlangan. Helium yoriq tekshirilgan. Tozalash xonasida qadoqlangan.
Materiallar: SS316L EP · Al6061 · OFHC Cu · Borosilikat
SVE-011
GAZ VA FLANJ / 011 — AJRALIB TURGAN
Gaz taqsimlash plastinkalari (duşlar)
CVD, ALD, PECVD va o‘tkazish kameralar uchun aniq duş gaz taqsimlash plastinkalari. Bir xil teshiklar to‘plami diametri ±0.005 mm aniqlik bilan. Elektro-polished 316L Ra ≤0.25 μm. Helium yoriq testi 10⁻⁹ mbar·l/s har bir plastinka uchun. F₂, NF₃, Cl₂, HCl va boshqa korroziv jarayon gazlariga mos. Bir zonali va ikki zonali gaz yetkazib berish konfiguratsiyalari. Nitrogen bilan tozalash xonasida qadoqlangan.
SS316L EP · Hastelloy · Inconel · AlTaklif olish
SVE-012
GAZ VA FLANJ / 012
Vakuum flanjli adapterlar qismlari
Conflatdan-KF, ISO-Kdan-Conflat va standart bo‘lmagan vakuum flanjli adapterlar, yopish uchun mos sirtlar bilan. Knife-edge parallelizm ≤0.005 mm. Elektro-polished ichki qismlar. Yig‘ilgan holatda Helium yoriq testi o‘tkazilgan.
SS316L · OFHC CuTaklif olish
SVE-013
GAZ va FLANJ / 013
Pompali-valf o'tkazgichlari
Vakuum nasoslari (ISO-K yoki flanjli), eshik valvlari va kameralar korpuslari o‘rtasida maxsus o'tish couplings. Standart bo‘lmagan bolt naqshlari va kesish geometriyasi qattiq blokdan ishlangan. Barcha namlangan sirtlar elektro-polished.
SS316L · Al6061Taklif olish
SVE-014
GAZ va FLANJ / 014
Kamera Ko‘rishmaydigan Ramkalar
Borosilikat, safir yoki birikkan silika oynalar uchun ko‘rish oynasi flanjlari va ramkalar. Shisha bilan metallni yopishtirish yivasi belgilangan shisha OD ga mos ravishda ±0.02 mm moslik bilan ishlangan. SS316L elektro-polished standarti.
SS316L · Kovar · CuTaklif olish
⚡
Mutaxassis va kompozit qismlar
Yuqori tozalikdagi tuzilma komponentlari, yuqori tekislikdagi uskunalar bazalari, aniqlik bilan boshqariladigan yo‘riqnomalar, keramika bilan metall yig‘malar va uskunalar oxirgi effektor komponentlari. Murakkab material kombinatsiyalari va eng yuqori tozalikdagi ilovalar semikonduktor fabrika muhitida.
Materiallar: Al6061 · SS316L · PEEK · Al₂O₃ · SiC · Invar
SVE-010
MUTAXASSIS / 010
Aniq yo'riqnoma komponentlari
Chiziqli boshqaruv relslari, dovetail slayd komponentlari va izlar bo‘laklari tozalik va vakuum muhitlarida uskunalar harakat stajlari uchun. Qavat qattiqligi va geometrik aniqlik qattiqlashgan anodlash yoki elektro-nikel qoplamasi keyin saqlanadi.
Al7075 · SS440C · Ti
SVE-015
Mutaxassis / 015
Yuqori Tozalikdagi Tuzilma Qismlari
Uskuna ramkasi a'zolari, qo'llab-quvvatlash braketlari va tuzilma tugunlari ISO Sinf 5 (Sinf 100) talablari bo'yicha ishlangan va tozalangan. Barcha sirtlar passivlangan, elektropolished yoki anodlangan. Yakuniy tekshiruvdan so'ng tozalash xonasida qadoqlangan. Ochiq alüminiyum sirtlar mavjud emas.
Al6061 · SS316L · TiTaklif olish
SVE-017
Mutaxassis / 017 — AJRALIB TURGAN
Keramika va PEEKdan tayyorlangan metall o'rindiq yig'ishlar
Keramika (Al₂O₃, SiC, ZrO₂) yoki PEEK izolyatsiya komponentlarini aniq ishlangan metall (SS316L yoki Ti) korpuslari, o'rindiq halqalar va ushlab turish ramkalari bilan birlashtiradigan kompozit yig'ishlar. Metall o'rindiqlar keramika press-fit uchun H7/H6 moslik toleransiyasiga mos ravishda ishlangan. Yig'ishdan so'ng elektr izolyatsiya tasdiqlangan. Arizalar RF elektrod izolyator yig'ishlari, plazma tutish halqalarini metall montaj ramkalari bilan, va dielektrik oynalarini ushlab turuvchi yig'ishlarni o'z ichiga oladi.
SS316L + Al₂O₃ · Ti + SiC · Al + PEEKTaklif olish
SVE-016
Mutaxassis / 016
Yuqori tekislikdagi uskunalar o'rnatish bazalari
Katta aniqlikdagi uskunalar bazalari va referens plitalar. Stressni kamaytirish va aniqlik bilan maydalashdan so'ng yuqori sirtning tekisligi ±0.003 mm. Termal barqarorlik uchun Invar yoki stressdan ozod qilingan Al6061-T651. Uskuna kalibrlash va moslashtirish uchun referens ma'lumot sifatida ishlatiladi.
Al6061-T651 · Invar36 · SSTaklif olish
SVE-018
MAXSUS SHAXS / 018
Qurilma Yakuniy Effektor Qismlari
Yarimo‘tuvchi uchlari, gripper barmoqlari, pichoq oxir-efektorlari va sensor montaj qo‘llari yarimo‘tuv texnologiyali qurilmalar uchun. Past massa, yuqori qattiqlik. PEEK yoki keramika kontakt zonalari. ESD xavfsiz versiyalar mavjud. Pozitsiya takrorlanishi ±0.02 mm ga machinalashtirilgan.
Al · PEEK · Keramika · TiTaklif olish
Ishlab chiqarish imkoniyatlari
Qaysi Yarimo‘tuv Qurilma Qismlari
Mashina ishlab chiqarish hamkori talab qilmoqda
💨
Helyum mass-spektrometrli yoriq tekshiruvi
Har bir vakuum komponenti helyum mass-spektrometr yoriq detektori bilan tekshiriladi — faqat vizual tekshirish yoki bosimga qarshi tekshirish emas. Standart yoriq o‘tkazuvchanligi 10⁻⁸ mbar·l/s; UHV va jarayon gazlari uchun 10⁻⁹. Har bir qism uchun individual seriyali test sertifikati. Bu faqat qo‘shimcha emas — barcha vakuum qismlari uchun asosiy narxga kiritilgan.
10⁻⁸ standart
10⁻⁹ UHV
Individual sertifikat
✦
Elektropolishing va Jarayon Gaziga Moslik
316L SS ichki sathlari Ra ≤0.25 μm ga elektropolished qilingan. EP ichiga joylashgan zarrachalarni olib tashlaydi, chiqarilishni kamaytiradi va korroziy jarayon gazlariga (F₂, NF₃, Cl₂, HCl) qarshi chidamli Cr boy passiv qavat hosil qiladi. ASTM A967 bo‘yicha barcha SS qismlari uchun passivatsiya. Eng yuqori kimyoviy qarshilik talablariga PFA yoki PVDF qoplamasi mavjud.
Ra ≤0.25 μm EP
ASTM A967 Passivatsiya
F₂/NF₃/Cl₂ ga mos
🏭
Tozalash xonasi tozalash va qadoqlash
Barcha yarimo‘tuv qismlari yakuniy ishlov berish va sath muolajasidan so‘ng ISO Class 5 (Class 100) tozalash xonasida tozalanadi. Ultrasonik tozalash deionizatsiyalangan suvda, IPA bilan yuvish va azot bilan quritish. Azot bilan purgaga qo‘yilgan ESD xavfsiz filmda ikki qavatga o‘ralgan. Jarayon gazlari va vakuum bilan yuvilgan qismlar uchun zarracha hisoboti sertifikati mavjud.
ISO Sinf 5
DI Suv / IPA bilan yuvish
N₂-purgasi bilan ikki qavatga o‘ralgan
🔬
ESD xavfsiz materiallar va ishlov berish
Uglerod bilan to‘ldirilgan PEEK (C-PEEK), ESD xavfsiz alyuminiy va statik tarqaladigan nylonga barcha montaj va ishlov berish komponentlari uchun. Sirt qarshiligi o‘lchangan va hujjatlashtirilgan — nazorat qilinadigan tarqalish uchun 10⁶–10⁹ Ω/kvadrat. Ishlov berish va qadoqlash davomida ESD bilaguzuk majburiy. Ishlov berish joylarida montaj vaqti davomida erga ulangan.
C-PEEK / ESD Al
10⁶–10⁹ Ω/kvadrat
Qarshilik sertifikatlangan
⚙
Keramika ishlov berish va keramika- metall yig‘ish
Al₂O₃, SiC, ZrO₂ va Macor ishlab chiqariladigan keramika chizmalarga muvofiq olmos asboblar bilan ishlangan. Aniqlik bilan burg'ulash metal korpuslarga mos keladigan keramika qo'shimchalarini press-fit qilish uchun — H7/H6 toleransiya. Tashkil etilgan qismlarning elektr izolyatsiyasi izolyatsiya qarshiligi o'lchovi bilan tasdiqlangan. Moslashtirilgan keramika- metall yig'ilmalari to'liq birlik sifatida taqdim etilgan va sinovdan o'tgan.
Al₂O₃ / SiC / ZrO₂
H7/H6 Press-Fit
Izolyatsiya tasdiqlangan
📐
Yuqori tekislik va mos kontakt sathlari
Qoplama yuzlari va uskunalar asosiy sathlari ±0.003 mm tekislik bilan maydalangan yoki silliqlangan. Termal barqarorlik uchun stressdan ozod qilingan Al6061-T651 yoki Invar asosiy plitalar bilan o'rnatiladi. Barcha sath ishlov berishdan so'ng CMM bilan tasdiqlangan. Vaqf stadi uchun aniqlik va vakuum yopingligini termal sikllash davomida muhim ahamiyatga ega.
±0.003 mm tekislik
T651 / Invar zaxira
Ishlov berishdan so'ng CMM
Aniqlik spetsifikatsiyalari
Toleransiyalar va sinov standartlari — Yarimo'tkazgich va vakuum qismlari
📐
Xususiyat bo'yicha o'lchov toleransiyalari
| Qopqoq yuzasining tekisligi | ±0,003 mm (silliqlangan / silliqlangan) |
| O'rnatish plitasining tekisligi | ±0,005 mm (stressdan ozod qilingan + silliqlangan) |
| Flanjaj pichoq-chegara parallelizmi | ≤0.005 mm |
| Vakuum portining joylashuvi | ±0.05 mm (ko'p portli kameralar) |
| Varaq bilan aloqa qilish joyi | ±0.05 mm |
| O'rif diametri (Gaz plitasi) | ±0,005 mm |
| Keramika- metall press-fit | H7 / H6 burg'ulash toleransiyasi |
| Umumiy bo‘shliq / tashqi diametr | ±0,005 mm standart |
He gaz oqimi tezligi (Standart)
10⁻⁸ mbar·l/s
Barcha vakuum kamerasi korpuslari, qopqog'i va yoping frame'lari. Mass-spektrometr sinovdan o'tgan.
U Leak Rate (UHV / Gaz Plitasi)
10⁻⁹ mbar·l/s
Gaz taqsimlash plitalari, jarayon gazlari bilan yuvilgan manifoldslar va UHV kamara korpuslari.
EP Sirt Yuzasi Tugallash
Ra ≤0.25 μm
SS316L ichki yuvilgan sirtlar elektro-polishingdan so'ng. Ra ≤0.4 μm standart EP.
ESD Sirt Qarshilik
10⁶–10⁹ Ω/kvadrat
C-PEEK va ESD Al o'rnatmalari. IEC 61340-5-1 bo'yicha o'lchangan va hujjatlashtirilgan.
Izolyatsiya Qarshiligi
>10¹⁴ Ω·sm
PEEK va Al₂O₃ izolyator hajm qarshiligi. Keramika va metall yig'ilmalarda tasdiqlangan.
Tozalash Xonasi Sinfi
ISO 5
Tozalash va qadoqlash muhitlari. ISO 14644-1 Sinf 5 (Sinf 100 ga teng).
Material tanlovi
Asosiy Materiallar uchun Semsiz va Bo'shliq Ilovalari
SS316L Elektro-polished
Barcha vakuum va semiconductorsuv gaz bilan yuvilgan sirtlar uchun ishlatiladigan material. 316L (past karbonli) payvandlangan joylarda karbid kristallanishini minimallashtiradi. Elektropolishing ichki temirni va sirtning qattiqligini olib tashlaydi — zarracha kamayishi va gaz bilan moslik uchun muhim.
Tensile kuchi
485 MPa
EP Yuzaki Ra
≤0.25 μm (≤0.4 μm standart EP)
He Gazini Lek Testi
10⁻⁹ mbar·l/s mümkin
Gaz bilan moslik
F₂, NF₃, Cl₂, HCl — EP passivatsiyasi bilan
Standart
ASTM A276 · ISO 15510 · ASTM A967 passivatsiyasi
Kamera korpusi
Qopqoq plitalar
Gaz taqsimlash plitalari
Flanjaj adapterlari
Alyuminiy 6061-T651
T651 stress-relieved plita — aniqlik bilan semiconductorsuv uskunalarining bazalari va montaj plitalari uchun yagona to'g'ri alyuminiy material. T6 temper hosil kuchini ta'minlaydi; T651 stress relief ortiqcha stresslarni bartaraf qiladi, bu katta yupqa plitalarda post-machining deformatsiyasiga olib keladi. Qattiq anodlangan Type III sirtni himoya qilish uchun.
Tensile kuchi
310 MPa
Tekislik (plita)
±0,003 mm stress-relief va maydalashdan keyin
Sirtni qayta ishlash
Qattiq Anodize Type III · Anodize Type II
Asosiy xususiyat
T651 = post-machining deformatsiyasiz katta plitalarda
Montaj plitalari
Uskuna asoslari
Struktura ramkalar
PEEK va Karbon bilan to'ldirilgan PEEK
PEEK - yarimo'tkazgich kontakt qismlarida elektr izolyatsiya va kimyoviy qarshilik uchun. C-PEEK (karbon bilan to'ldirilgan) ESD xavfsiz versiyalar uchun — PEEK bilan bir xil kimyoviy xususiyatlar, lekin statik dissipation uchun nazorat qilingan sirt qarshiligi bilan. Ikkalasi ham vakuumga mos va kam outgassing bilan.
Tensile kuchi
100 МПа (PEEK) / 85 MPa (C-PEEK)
Sirt Qarshiligi
PEEK: >10¹⁵ Ω/kvadrat · C-PEEK: 10⁶–10⁹ Ω/kvadrat
Eng yuqori xizmat harorati
250°C doimiy
Kimyoviy qarshilik
A'lo — eng ko'p ishlatiladigan jarayon kimyoviy moddalar
Izolyatsion standofflar
ESD moslamalari (C-PEEK)
Vafel bilan aloqa uchlari
Ishlab chiqarish jarayoni
Chizimdan boshlab Chiqindi-test qilingan, tozalash xonasida qadoqlangan qismlar
01
Chizma ko'rib chiqish — vakuum mosligi va material tanlovi
Kam bo'shliqli teshiklar (qamalgan gaz), quruq sirtli joylar (outgassing) va flanjs standartlari uchun kameraning geometriyasi ko'rib chiqildi. Material tanlandi — vakuumda yaxshi yopishadigan SS316L, struktura uchun Al, izolyatsiya uchun PEEK/keramika. 24 soat ichida fikr-mulohaza.
02
Aniq CNC ishlov berish
Kamera boreslari, port pozitsiyalari va yoping yuzalarining tekisliklari gorizontal ishlov berish markazida ishlov berilgan. Barcha flanjlar boreslari bir xil sozlashda joylashtirilgan, konsentriklik va perpendikulyarlikni saqlash uchun. Yopish yuzalari maydalashdan oldin ±0.005 mm tekislikda frezalangan.
03
Yopish yuzasini maydalash / lapping
Kritik vakuum yopish yuzalari ±0.003 mm tekislikda maydalangan. Pichoq chetli Conflat yuzalari aniq burilgan va keyin parallelizm uchun maydalangan. O-ring yuzasi yoping uchun kerak bo'lsa lapped. CMM yordamida tekislik tekshiruvi.
04
Yuzani ishlov berish — EP / Passivatsiya / Anodlash
SS316L qismlari Ra ≤0.25 μm ga elektropolished qilingan. ASTM A967 bo'yicha passivatsiya. Alyuminiy qismlari qattiq anodlangan, Turi III. Barcha ishlov berishlar hujjatlashtirilgan. Ichki yuzalar EP dan keyin Ra uchun qayta o'lchangan, spetsifikatsiyani tekshirish uchun.
05
Geliyning gaz o'tkazmasligi testi va CMM tekshiruvi
Har bir alohida qismlarda geliyning gaz o'tkazmasligi mass-spektrometr testi. O'tkazish darajasi qismlar seriya raqami bilan yozib qo'yilgan. Barcha port pozitsiyalari va yopish yuzalari uchun CMM o'lchov tekshiruvi. Ikkala natija yetkazib berish hujjatida.
06
Tozalash xonasi tozalash va qadoqlash
DI suvda ultratovush bilan tozalash, IPA bilan yuvish, azot bilan quritish ISO Class 5 tozalash xonasida. Azot bilan tozalash ostida ESD xavfsiz filmda ikki qavatga o'ralgan. O'tkazish testi sertifikati, material sertifikati va tekshirish hisobotlari qo'shilgan. Qattiq himoyalovchi qadoqlashda yetkazilgan.
Sifat tizimi
Har bir vakuum qismlari Tekshirilgan, hujjatlashtirilgan va sertifikatlangan
💨
Har bir vakuum qismida He Leak Test Sertifikati
Hech qanday vakuum qismi hujjatli helium massaspektrometrli yoriq tekshiruvisiz yetkazib berilmaydi. Sertifikatda tekshirish sanasi, qism seriya raqami, tekshirish natijasi (mbar·l/s) va uskunaning kalibrlash holati ko'rsatilgan. Asosiy narxga kiritilgan — qo'shimcha to'lov emas.
✦
EP Sirt Ra O'lchangan va Hisobot berilgan
Elektropolished ichki sirtlar EP dan so'ng kontakt profilometr bilan o'lchangan. Ra qiymati qism raqami bilan yozilgan. EP jarayon parametrlari asosida emas — haqiqatan o'lchangan. Profilometriya hisobot yetkazib berish hujjatlari bilan birga kiritilgan.
🏭
ISO Sinf 5 Tozalash Xonasi Paket — Barcha Sementika Qismlar
Barcha sementika uskunalar qismlari ISO Sinf 5 muhitda tozalangan va azot bilan ikki marta paketlangan. Zarracha hisoblash sertifikati talab qilinsa, jarayon gazlari va UHV bilan yuvilgan qismlar uchun mavjud.
⚙
Keramika- Metall Birikmasining Izolyatsiyasi Tekshirilgan
Har bir keramika- metall birikmasida yig'ilgandan so'ng izolyatsiya qarshiligi o'lchangan — faqat alohida komponentlar emas. Yig'ilgandan so'ng <10¹² Ω·cm qarshilikka ega qismlar aniqlanadi, tekshiriladi va yetkazib berishdan oldin tuzatiladi.
📋
ISO 9001:2015
Barcha buyurtmalar uchun sifat boshqaruv tizimi
💨
He Leak Sertifikati
Har bir vakuum qismida massaspektrometrli tekshirish
✦
ASTM A967
SS passivatsiya standarti sertifikati
🏭
ISO Sinf 5
Tozalash xonasi tozalash va qadoqlash
⚡
IEC 61340-5-1
ESD sirt qarshiligi sertifikati
📐
CMM Hisoboti
Barcha aniqlik qismlari uchun o'lchov tekshiruvi
Bizning ustunligimiz
Nima uchun Sementika Uskunalar Jamoalari Qismlarga Ishoning
He
Yoriq tekshiruvi standarti — Tanlov emas
Helium massaspektrometrli yoriq tekshiruvi har bir vakuum qismida standart sifatida kiritilgan. Yangilash emas. Talab qilinsa mavjud emas. Har bir kameraning korpusi, qopqog'i va gaz plitasi tekshirilgan va sertifikatlangan holda bizning zavodimizdan chiqadi.
EP
Elektropolished va Gaz Ishlatishga Tayyor
SS316L komponentlari Ra ≤0.25 μm ga elektropolished, passivlangan va He gaz bilan tekshirilgan — to'g'ridan-to'g'ri CVD, o'yma va ALD kameralariga o'rnatishga tayyor. Qurilma integratorida qo'shimcha kimyoviy davolash talab qilinmaydi.
ESD
ESD va Keramika Mutaxassislari
O'lchov va sertifikatlangan qarshilik bilan C-PEEK ESD moslamalari. Izolyatsiya qarshiligini tasdiqlagan keramika-metall yig'ilmalari. Bu kompozit qismlarni to'g'ri yetkazib berish uchun materiallar bilimlari va o'lchov imkoniyatlari — faqat urinib ko'rish emas.
CR
ISO Sinf 5 Tozalash Xonasi — Ichki
Ichki ISO Sinf 5 tozalash xonasi — tashqi tozalash emas. Tozalash protokoli, azot bilan purg'alanadigan qadoqlash va zarracha hisoblashni tekshirish bo'yicha to'liq nazorat. Sizning qismlaringiz bizning sifat tizimimizdan ishlab chiqarish va yetkazib berish orasida chiqmaydi.
Taklif oling
Chizmachingizni yuboring.
Taklif oling.
Har bir so'rov DFM ko'rib chiqishni o'z ichiga oladi — tolerans imkoniyatlari, material tasdiqlash va ishlab chiqarish boshlashdan oldin jarayon yondashuvi tasdiqlanadi. MOQ 1 dona.
24hr
Taklifga javob
Minimal buyurtma miqdori 1
Prototiplar OK
ISO
9001:2015
📐
Har bir so'rovda DFM ko'rib chiqish
Tolerans imkoniyatlari, jihozlash strategiyasi va material tasdiqlash. Aniq, amalga oshiriladigan fikr-mulohaza — umumiy qarshilik emas.
🎯
Birinchi maqola inspeksiyasi — Standart
Har bir yangi seriya uchun FAI hisobot. Material sertifikatlari va sirt muolajasi sertifikatlari har bir yetkazib berishda kiritilgan.
🔄
Xuddi shunday jarayon: Prototipdan ishlab chiqarishga
Sizning prototipingizdan ishlab chiqarish partiyalariga amal qiladigan jarayon rejasi. Skalirovka qilganda qayta malakali qilish shart emas.
⚙
3 / 4 / 5-o‘qli CNC + Tokarlik
Murakkab tuzilma qismlari, shaftlar, korpuslar va uzatish komponentlari. Metall va muhandislik plastmassalari.
ISO 9001:2015
3/4/5-Axis Frezalash
CNC aylanma
CMM tekshiruvi
Global yetkazib berish