產品類別
10⁵–10⁸ Ω/平方 · Ra 0.4 · ISO 5 · 四探針認證 · 零粒子
EAF / 001 — 010
四探針驗證
防靜電測量/抗靜電裝置
客製化CNC加工ESD防靜電治具與載具 — ESD PEEK或導電鋁,表面電阻率10⁵–10⁸ Ω/平方經四探針ASTM D257驗證,接觸面Ra 0.4微米,符合ISO 5無塵室標準。適用於晶圓載具、晶片處理盤及半導體組裝治具。.
10⁵–10⁸Ω/平方
ESD範圍
Ra 0.4µm
接觸表面
ISO 5
潔淨室
零件圖 · EAF-001晶圓載具 · ESD PEEK · 四探針10⁷ Ω/平方
ISO 9001 · ASTM D257 · 無塵室
四探針陣列
接地帶 M3
晶圓 · 晶片盤 · FOUP · 操作器 · PCB組裝
應用領域
ESD PEEK · 導電鋁 · Statex · ESD POM
材料
48hr 報價 · 7天打樣 · 最低訂購量1
服務
10⁵–10⁸
表面電阻率 Ω/平方
ESD防護範圍
ESD防護範圍
Ra 0.4µm
接觸表面
設備安全表面處理
設備安全表面處理
ISO 5
潔淨室
相容性
相容性
7天
最快交付
原型訂單
原型訂單
機加工挑戰
ESD防靜電治具挑戰
ESD治具必須能可靠地消散靜電,同時絕不能產生微粒或污染元件——如果選錯材料或表面處理,這些需求會互相衝突。.
⚡
ESD材料一致性
ESD電阻率必須在整個材料中均勻分布(不只是表面塗層),以確保長期可靠性。含碳ESD PEEK與導電陽極處理鋁都具備本體ESD特性。HXC透過 四探針量測 在加工前後進行電阻率驗證。.
🧼
零微粒產生
潔淨室中的ESD治具不得從含ESD材料中脫落碳微粒。HXC採用 真空等級ESD PEEK材料 並於超音波清洗後以IPA沖洗+微粒計數驗證潔淨度。.
🔬
接觸面一致性
元件接觸面必須達到Ra 0.4 µm或更佳,且無尖銳特徵。所有ESD治具接觸面皆經拋光並以輪廓儀驗證——無例外。.
我們的工作
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我們製作的ESD防靜電治具
REAL CNC機械加工的半導體元件 — 清潔、檢查,且潔淨室包裝.
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能力與公差
我們可以交付的項目
典型規格 — 請在詢問時確認確切需求.
| 表面電阻率 | 10⁵–10⁸ Ω/平方(防靜電保護) |
| 接觸面 Ra | 0.4 微米 |
| 材料選項 | 防靜電PEEK,導電陽極鋁 |
| 粒子潔淨度 | IPA沖洗 + 顆粒計數 |
| 體積電阻率 | 10⁷–10⁹ Ω·cm(ESD PEEK) |
| 無塵室等級 | 符合ISO Class 5 |
| 材料 | ESD PEEK、導電鋁、Statex |
| 電阻率測試 | 四探針 ASTM D257,每批檢測 |
| 清潔 | IPA 超音波 清潔室包裝 |
| 交期(樣件) | 7–10 天 |
| 交貨期(批次) | 12–18 天 |
| 證書 | 電阻率 + 顆粒計數 |
原理
從圖樣到可在潔淨室使用的零件
上傳您的圖面 — DFM、加工、四探針電阻率測試、清洗及無塵室包裝,於約定交期內完成。.
01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。包含材料、公差與潔淨等級。.
02
DFM 與報價
免費DFM — 材料選擇、接觸面、接地帶。48小時內報價。.
03
機械與測試
CNC、四探針電阻率驗證、超音波清洗、顆粒計數。.
04
全球運送
隨附電阻率 + 顆粒計數證書。DHL/FedEx/海運出貨。.
評價
獲半導體設備工程師信任
★★★★★
"表面清潔度與包裝立刻符合我們潔淨室進料檢驗要求。尺寸報告與我們的 CMM 檢查完全吻合。"
LW
李偉
製程設備工程師 · 台灣
★★★★★
"「HXC能夠理解我們晶圓載具的ESD電阻率需求,無需冗長說明。每批都附有四探針證書。交期完全如報價所述。」"
SL
蘇菲 L.
設備設計工程師 · 韓國
★★★★★
"「我們已向HXC採購ESD治具及晶圓處理零件兩年。潔淨度、尺寸精度及批次一致性都非常優異。」"
JT
詹姆斯 T.
高階採購 · 美國
常見問題
ESD防靜電治具 — 常見問題
由我們的半導體元件團隊回答的工程與採購相關問題。.
ESD PEEK (碳填充,體積電阻率10⁷–10⁹ Ω·cm):耐化學性、適用無塵室、耐高溫。. 導電陽極鋁:表面電阻率10⁵–10⁶ Ω/平方,輕量且堅固。. Statex 導電 PEEK:表面電阻率 10⁵–10⁶ Ω/平方,適用於較高靜電消散。HXC 提供多種 ESD 等級庫存 — 請指定您的目標電阻率等級,我們將推薦最適合的材料。.
是的 — HXC 的 ESD 治具使用 真空等級ESD PEEK材料 在室溫下無可檢測的氣體釋出。顆粒潔淨度:IPA 超音波清洗後 顆粒計數(SEMATECH 程序). 。包裝:ISO Class 5 無塵室袋並以 N₂ 氣體置換。提供 ESD 材料認證及顆粒計數報告。.
ESD 電阻率以 四探針法(ASTM D257) 於加工前後測量。若加工後表面電阻率超出 10⁵–10⁸ Ω/平方範圍,該治具將被淘汰 — 若加工時導電表層被移除,可能會發生此情況。對於 ESD PEEK:材料內部電阻率均勻,加工不會影響 ESD 性能。.
所有裝置接觸表面: Ra 0.4 µm 或更佳, ,倒角邊緣(R ≥ 0.1 mm),無毛刺。玻璃基板或晶圓邊緣接觸:Ra 0.2 µm。裸晶接觸:Ra 0.1 µm 並使用 PEEK 材料以降低刮傷風險。所有接觸表面出貨前皆以輪廓儀檢驗。.
可以 — ESD 治具包含 接地帶連接點 (4-40 UNC 或 M3 螺紋柱,並有不鏽鋼接觸區)作為靜電消散配置的標準設計。HXC 亦可加工 ESD 匯流排及接地橋作為治具整合功能。.
ESD PEEK 由同一合格供應商提供,並在使用前經四探針測試進行批次認證。導電陽極處理:陽極浴參數受控,每批皆取樣品進行電阻率測試。每個生產訂單均附批次電阻率證書。.
原型: 7–10 天. 批次:12–18天。客製化裝置專用治具:8–14天。.
獲取報價
寄出您的圖紙。.
取得報價。.
每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.
24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
📐
每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程:從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次;放大規模時不需重新鑑定。.
⚙
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
ISO 9001:2015
3/4/5 軸銑床
CNC 車削
座標測量儀檢驗
全球交付