產品類別
無毛邊 · Ra 0.8 · 無紫外粒子 · 無塵室
CIC / 001 — 010
無粒子製程
腔室內部組件
超潔淨CNC加工真空腔體內部零件—遮罩、擋板、擴散器及安裝結構。無毛邊去毛邊經10倍放大檢查，Ra 0.8微米或更佳，超音波清洗及紫外檢查後零鬆散粒子。Al 6061硬陽極處理或SUS316L電解拋光，適用於電漿製程、CVD、蝕刻及沉積腔體內部。.
去毛刺
所有邊緣
Ra 0.8µm
製程表面
潔淨室
ISO 5 級
零件圖 · CIC-000 擋板 · Al 6061 HA · 壁厚1.5 · 無毛邊
ISO 9001 · 紫外 · CMM
無毛邊 · 紫外
壁厚≥1.0 · Ra 0.8
半真空 · 光學 · 研究 · 醫療
應用領域
Al 6061 HA · SUS316L EP · PEEK · Al 7075
材料
48hr 報價 · 7 天原型
服務
去毛刺
所有邊緣
經10倍放大鏡驗證
經10倍放大鏡驗證
Ra 0.8µm
內部表面
製程環境等級
製程環境等級
潔淨室
包裝
ISO Class 5 標準
ISO Class 5 標準
7天
最快交付
原型訂單
原型訂單
機加工挑戰
腔體內部零件挑戰
內部零件直接接觸製程環境——任何鬆散的顆粒、毛邊或表面污染都可能直接污染晶圓或影響製程化學反應。.
✂️
無毛邊去毛刺
每個內部邊緣都必須去除毛邊並達到指定半徑，且不得有任何鬆散顆粒。HXC 使用精密去毛刺工具、CO₂雪清潔，以及 每個邊緣以10倍放大檢查 超音波清洗前。.
⚖️
薄壁變形控制
內部遮板和擋板通常壁厚為1–3毫米。HXC 使用專用夾具及連續輕切削以防止振動和變形。壁厚由CMM和超音波測厚儀驗證。.
🔬
無塵室相容性
內部零件需使用在真空中不會釋放氣體或產生顆粒的材料。僅使用無塵室相容的切削液。加工後清潔經顆粒數及紫外線檢查驗證。.
我們的工作
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我們製作的腔體內部零件
REAL CNC機械加工的半導體元件 — 清潔、檢查，且潔淨室包裝.
Al 6061 · 遮板等離子遮板
陽極處理 · 無毛邊 · 10件
SUS316L · 擋板腔體擋板
Ra 0.8µm 電解拋光 · 8件
Al 6061 · 支架支撐支架
薄壁 · 15件
SUS316L · 擴散器氣體擴散板
精密孔 · 6件
Al 6061 · 內襯腔體內襯
防護 · 12件
SUS316L · 環聚焦環
均勻 · 8件
Al 7075 · 固定座感測器固定座
輕量化 · 20件
SUS316L · 批次內部零件批次
15件 · 顆粒驗證
能力與公差
我們可以交付的項目
典型規格 — 請在詢問時確認確切需求.
| 去毛刺標準 | 無毛刺，10倍放大鏡驗證 |
| 內部 Ra」 | 0.8微米標準（0.4微米可選） |
| 粒子潔淨度 | UV檢查，零鬆動 |
| 薄壁最小值 | 1.0 毫米鋁 / 1.2 毫米不鏽鋼 |
| 三次元量測 | 所有關鍵尺寸 |
| 包裝 | ISO 5級，氮氣沖洗 |
| 材料 | 鋁6061/7075、不鏽鋼316L、PEEK |
| 去毛刺 | 工具 + 二氧化碳雪 + 超音波 |
| 清潔 | 異丙醇超音波 + 氮氣乾燥 + 紫外線 |
| 交期（樣件） | 7–10 天 |
| 交貨期（批次） | 12–18 天 |
| 薄壁設計可製造性 | 報價已包含 |
原理
從圖樣到可在潔淨室使用的零件
上傳您的圖面 — DFM審查、加工、清洗、檢驗、無塵室包裝。.
01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。包含材料、公差與潔淨等級。.
02
DFM 與 報價
免費DFM — 薄壁、去毛邊策略、表面處理。48小時內報價。.
03
加工、清潔與檢查
CNC、超音波清洗、三次元量測 + 紫外線粒子檢測、無塵室包裝。.
04
全球運送
完整尺寸 + 清潔紀錄。DHL / FedEx / 海運。.
評價
獲半導體設備工程師信任
★★★★★
"「表面潔淨度與包裝立即通過我們無塵室進料檢驗。紫外線粒子檢測證書與我們內部品管一致。」"
LW
李偉
製程設備工程師 · 台灣
★★★★★
"「HXC立即理解我們等離子防護罩無毛邊的要求。10倍邊緣檢查首件完全無鬆散毛邊。」"
SL
蘇菲 L.
設備設計工程師 · 韓國
★★★★★
"「兩年來的晶圓處理與腔體零件。潔淨度、尺寸精度與批次一致性都非常優秀。」"
JT
詹姆斯 T.
高階採購 · 美國
常見問題
腔體內部零件 — 常見問題
由我們的半導體元件團隊回答的工程與採購相關問題。.
三階段粒子控制： (1) 精密去毛刺 — 所有邊緣使用校準工具去毛邊至指定半徑；; (2) 二氧化碳雪清洗 — 動能顆粒去除，無液體污染；; （3）超音波 IPA 清洗 + 10 倍 UV 燈檢查 — 無可檢測顆粒。可提供顆粒數量證明。.
可以： Al 6061 壁厚 ≥ 1.0 mm 與 SUS316L 壁厚 ≥ 1.2 mm 可通過以下方式實現：（1）軟爪或膨脹夾具固定；（2）多次輕切削精加工；（3）僅使用空氣冷卻（無冷卻液壓力造成薄壁變形）。壁厚經 CMM 及校正超音波測厚儀驗證。.
Al 6061 硬質陽極氧化：標準用於遮罩、內襯、安裝—輕量化，良好導熱性。. SUS316L 電解拋光：氣體接觸零件—低脫氣率，抗顆粒且表面光滑。. POM：電氣絕緣零件或需完全消除金屬污染之場合。.
可以 — HXC 常規提供 配套內部零件組：遮罩 + 擋板 + 支撐架作為一組經尺寸驗證。出貨前由 CMM 檢查組裝相容性。組內所有零件共用同一批號以利追溯。.
等離子接觸面（遮罩、內襯）：Ra 0.8 µm，硬質陽極氧化鋁或電解拋光 SUS316L。. 氣體接觸面（擋板、擴散器）：Ra 0.4 µm，電解拋光SUS316L。. 安裝與結構：Ra 1.6 µm標準。經輪廓儀驗證。.
最大單一元件： 500 × 300 × 150 毫米. 。最小特徵尺寸： 1.0 mm壁厚，0.5 mm槽寬. 。對於具有多個薄壁區域的複雜內部元件，DFM審查會識別關鍵區段並建議最小尺寸。.
原型： 7–10 天. 。批次：12–18天。大型複雜內部組件：14–22天。.
獲取報價
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取得報價。.
每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.
24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
📐
每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程：從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次；放大規模時不需重新鑑定。.
⚙
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
ISO 9001:2015
3/4/5 軸銑床
CNC 車削
座標測量儀檢驗
全球交付