PEEK 跨枝CNC
加工
零件

PEEK 半導體加工設備絕緣元件、電氣組裝絕緣件，以及 CVD、ALD、蝕刻、離子注入與檢測設備的高精密絕緣支架。PEEK 相較於其他絕緣塑料（PTFE、POM、G10）於半導體應用的優勢： (1) 溫度 — PEEK 在 200–250°C 仍維持結構完整與尺寸穩定，適用於熱式腔體 CVD 反應器元件，否則 POM 會熔化、PTFE 會流動；(2) 鹵素耐性 — PEEK 能耐受 Cl₂、HCl、F₂、HF 等攻擊 POM 和尼龍的加工氣體；(3) 尺寸穩定性 — 吸濕量 <0.5%（相較於尼龍 2.5–8%）使 H7 孔徑公差在變化濕度的半導體晶圓廠環境中得以維持；(4) UHV 相容性 — 在 150°C 烘烤後的逸出速率適用於高電壓應用（10⁻⁸–10⁻⁹ Pa·m³/s）；(5) 非磁性 — 對離子注入磁場或電子束設備無干涉。半導體絕緣件：孔徑 H7、型式 ±0.05mm、表面粗糙度 Ra ≤0.4μm。電氣絕緣塊與隔片：CTI ≥175V、UL 94 V-0、型式 ±0.05mm。高精密絕緣支架：孔徑 H7、面平整度 ±0.02mm、CMM GD&T 驗證。.

PEEK 與植入級 PEEK 醫療器材結構件（符合 ISO 10993 生物相容、可滅菌、MRI 兼容、放射透明）以及在嚴格機械應用中需要塑料性質接近金屬強度的高性能結構元件。醫療器材部件：Ra ≤0.4μm；孔徑公差 H7；滅菌方法已確認（高壓滅菌 134°C、伽瑪輻射至 25 kGy、EtO、或 H₂O₂ 等離子—均與標準 PEEK 相容）。包含 ISO 10993 生產文件包。植入級 PEEK（Invibio PEEK-OPTIMA 或同等級）附帶可追溯批號證書，適用於植入附近應用。高性能結構件：PEEK-CF30（30% 碳纖維）拉伸強度約 200 MPa，模量約 13 GPa——常見塑料複合材料中最高比剛度；非磁性；尺寸穩定；公差 ±0.05mm；孔徑公差 H7。.

PEEK 高溫跌直徑軸承軸套（孔徑 H7、壁面 Ra ≤0.4μm，250°C 連續使用——用於真空烘箱、熱測試夾具、半導體退火設備，以及化學反應器配件，在需要導電性或防污染而無法使用金屬軸套的場合）、PEEK 高溫密封體（孔徑 H7、耐化學性，-40°C 至 +250°C——用於高溫化學加工的密封組件，避免 PTFE 冷流、PA66 會軟化的情況）、以及 PEEK-GF30 / PEEK-CF30 耐磨導向襯件與條帶（輪廓 ±0.05mm、250°C 使用，耐磨性顯著優於未增填的 PEEK）。為在長時間滑動接觸中提供最大耐磨性，PEEK-CF30 的碳纖維提供高溫自潤滑效果。PEEK 軸套孔徑 H7 在使用中保持：潮解吸收 <0.5%，熱膨脹係數 47×10⁻⁶/°C（低於 POM 的 100×10⁻⁶/°C），從環境溫度變為 200°C 的孔徑變化是可預測的，並可在 DF M 的軸孔規格中進行補償。.