產品類別
溝槽 ±0.02 · 平面度 ≤0.008 · 對角線 ±0.05 · 氦氣洩漏
CSF / 011 — 020
連續溝槽真空
腔室密封框架
高精度 CNC 加工真空密封框架 — O 型環溝槽沿內周全長 ±0.02 mm，框架平面度 ≤ 0.008 mm，對角線方正度 ±0.05 mm。真空門框、視窗框及腔體開口密封結構採用 SUS316L 電解拋光或 Al 6061 硬質陽極處理。.
±0.02mm
O型環溝槽
≤0.008mm
框架平面度
±0.05mm
對角線
零件圖 · CSF-011 真空門 · SUS316L 電解拋光 · 400×280 · 溝槽 ±0.02
ISO 9001 · 氦氣洩漏 · 三次元量測儀
周邊溝槽
對角線 ±0.05
半真空 · 光學 · 研究 · 醫療
應用領域
SUS316L EP · SUS304 · 鋁合金 6061 · 鋁合金 7075
材料
48hr 報價 · 7 天原型
服務
±0.02mm
O型環溝槽
密封尺寸
密封尺寸
≤0.008mm
框架平面度
密封面
密封面
±0.05毫米
對角精度
矩形框架
矩形框架
7天
最快交付
原型訂單
原型訂單
機加工挑戰
腔體密封框架挑戰
矩形密封框架必須同時保持平整度、對角方正度及O型環溝槽精度——薄框架部分在加工及熱處理時容易產生變形。.
📐
長邊直線度與平整度
長邊框（300–800 mm）在加工後容易因殘留應力產生彎曲。HXC採用分階粗加工＋時效＋精磨，達到所有密封面平整度 ≤ 0.008 mm。.
⊕
連續溝槽精度
O型環溝槽需沿整個周邊保持寬度±0.02及深度±0.02的連續精度——包括工具轉向的角落。CMM於溝槽全程20+點進行掃描。.
◻️
對角方正度
矩形框架必須在對角±0.05 mm內方正——不方正會造成角落O型環壓縮不均。HXC於單一裝夾下加工所有邊以維持方正度。.
我們的工作
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我們製作過的腔體密封框架
REAL CNC機械加工的半導體元件 — 清潔、檢查，且潔淨室包裝.
SUS316L · 真空門真空門密封框架
≤0.008mm · 鈍化處理 · 8件
Al 6061 · 視窗視窗密封框架
O型環溝槽 · 陽極處理 · 12件
SUS316L · 製程製程腔體開口框架
電解拋光 · 5件
Al 6061 · 研究研究腔體框架
KF35相容 · 6件
SUS304 · 醫療醫療真空框架
鈍化處理 · 10件
SUS316L · 客製客製密封框架
不規則輪廓 · 4件
Al 6061 · 標準標準矩形框架
無塵室 · 20件
SUS316L · 批次密封框架 — 批次
10件 · CMM檢驗合格
能力與公差
我們可以交付的項目
典型規格 — 請在詢問時確認確切需求.
| O 型圈槽公差 | ±0.02 mm 深度／寬度 |
| 框架平整度 | ≤ 0.008 mm 密封面 |
| 對角精度 | ±0.05 毫米 |
| 長邊直線度 | ≤ 0.01 mm／300 mm |
| 最大框架尺寸 | 800 × 600 毫米 |
| 最小截面寬度 | 8 毫米 |
| 材料 | SUS316L、SUS304、鋁 6061/7075 |
| 表面處理 | 鈍化、電解拋光、硬質陽極 |
| 清潔 | IPA 超音波 清潔室包裝 |
| 檢驗 | CMM全周溝槽掃描 |
| 交期（樣件） | 7–10 天 |
| 交貨期（批次） | 12–18 天 |
原理
從圖樣到可在潔淨室使用的零件
上傳您的圖樣 — DFM 审查、加工、清洗與潔淨室包裝於約定交期內。.
01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。包含材料、公差與潔淨等級。.
02
DFM 與 報價
免費DFM審查 — 密封可行性、薄壁、去毛邊。48小時內報價。.
03
加工、清潔與檢查
CNC加工、超音波清洗、CMM、無塵室包裝。.
04
全球運送
完整尺寸報告 + 清潔紀錄附上。DHL / FedEx / 海運。.
評價
獲半導體設備工程師信任
★★★★★
"「表面潔淨度與包裝立即通過我們無塵室的進料檢驗。尺寸報告與我們的CMM檢查完全吻合。」"
LW
李偉
製程設備工程師 · 台灣
★★★★★
"HXC 理解我們腔室元件的真空密封需求，無需冗長解釋。交期正如報價所示。"
SL
蘇菲 L.
設備設計工程師 · 韓國
★★★★★
"「兩年來的晶圓處理與腔體零件。潔淨度、尺寸精度與批次一致性都非常優秀。」"
JT
詹姆斯 T.
高階採購 · 美國
常見問題
腔體密封框架 — 常見問答
我們團隊回答的工程與採購問題。.
全周O型環溝槽以 專用溝槽銑刀一次連續加工完成 — 全程相同刀徑、進給與深度設定。CMM於周邊20多個點掃描溝槽，並回報最大寬度與深度偏差。.
(1) T651鋁錠 (預拉伸、低殘餘應力)或退火SUS316L板材；; (2) 兩階段加工 — 粗銑 → 24小時時效 → 精加工；; (3) 分佈式固定 於多點固定以防止中段撓曲；; (4) 表面研磨 將密封面作為最後一道工序。.
O型環端面密封 (真空門最常見)：AS568A / BS1806 溝槽幾何。. 平墊片：光滑Ra 0.8 µm端面，平面度≤0.01 mm。. 金屬刀刃密封：Ra 0.2 µm端面，平面度≤0.003 mm。. 銦線密封：適用於UHV矩形框架的精密通道幾何。.
最小截面寬度： 8 毫米 適用於標準O型圈框架（溝槽寬度加上每側最少3毫米壁厚）。若框架較窄，必須使用較小的O型圈截面。DFM審查會確認您的框架幾何形狀的最小截面。.
可以 — 對於大型框架，若由實心材料加工會造成浪費，HXC可由 焊接SUS316L或鋁毛胚. 進行加工。毛胚先以TIG或雷射焊接，再進行應力消除，然後加工。所有密封面及溝槽幾何形狀均於焊接後精加工。.
可以 — 任何輪廓（圓形、橢圓形、L型、帶有孔口切割）皆可由我們的五軸CNC加工。O型圈溝槽會依框架輪廓連續加工，不受形狀限制。輪廓公差：±0.05毫米。DFM審查會檢查所有輪廓轉換處的最小截面寬度。.
原型： 7–10 天. 批次：12–18天。大型框架（>500毫米）需表面研磨：另加2–3天。.
獲取報價
寄出您的圖紙。.
取得報價。.
每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.
24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
📐
每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程：從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次；放大規模時不需重新鑑定。.
⚙
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
ISO 9001:2015
3/4/5 軸銑床
CNC 車削
座標測量儀檢驗
全球交付