Catégorie de produit
SVE — 001 à 018
Semi-conducteurs
& Vide
Pièces d'équipement
18 gammes de produits usinés de précision pour équipements de fabrication de semi-conducteurs, systèmes à vide et environnements de processus ultra-propres — des corps de chambre UHV et fixtures de manipulation de wafers aux plaques de distribution de gaz, assemblages céramique-métal, et outillage antistatique ESD.
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10⁻⁹ mbar·l/s
Taux de fuite d'hélium
📐
±0,003 mm
Planéité de face d'étanchéité
✦
Ra ≤0,25 μm
Électropolissage EP
🏭
Salle blanche
Emballage & Livraison
18
Gamme de produits
Chambres à vide jusqu'aux fixtures ESD — support complet pour la fabrication d'équipements
10⁻⁹ mbar·l/s
Taux de fuite
Test de fuite au spectromètre de masse d'hélium sur toutes les pièces à vide, certificat inclus
316L EP
Gaz de procédé de qualité
SS316L électropolished pour toutes les surfaces en contact avec des gaz corrosifs
24 hr
Délai de devis
Retour d'information DFM et devis complet dans les 24 heures suivant la réception du dessin
18
Gamme de produits
10⁻⁹ mbar·l/s
Taux de fuite d'hélium
Ra ≤0,25μm
Surface EP
±0.003mm
Planéité d'étanchéité
24 hr
Délai de devis
Corps de chambre à vide ✦
Plaques de couverture de chambre ✦
Cadres d'étanchéité de chambre ✦
Composants internes de la chambre ✦
Fixations de manipulation de wafer ✦
Pièces d'alignement de wafer ✦
Plaques de montage de l'équipement ✦
Pièces de support isolantes ✦
Fixations anti-statiques ESD ✦
Composants de guide de précision ✦
Plaques de distribution de gaz ✦
Adaptateurs de bride à vide ✦
Structures à haute propreté ✦
Raccords de transition pour pompes-vannes ✦
Cadres de viewport pour chambre ✦
Bases de montage à haute planéité ✦
Assemblages de sièges en céramique / PEEK en métal ✦
Pièces de l'effecteur final de l'équipement ✦
Corps de chambre à vide ✦
Plaques de couverture de chambre ✦
Cadres d'étanchéité de chambre ✦
Composants internes de la chambre ✦
Fixations de manipulation de wafer ✦
Pièces d'alignement de wafer ✦
Plaques de montage de l'équipement ✦
Pièces de support isolantes ✦
Fixations anti-statiques ESD ✦
Composants de guide de précision ✦
Plaques de distribution de gaz ✦
Adaptateurs de bride à vide ✦
Structures à haute propreté ✦
Raccords de transition pour pompes-vannes ✦
Cadres de viewport pour chambre ✦
Bases de montage à haute planéité ✦
Assemblages de sièges en céramique / PEEK en métal ✦
Pièces de l'effecteur final de l'équipement ✦
Gammes de produits complètes
18 équipements pour semi-conducteurs et vide
Gamme de produits
Sélectionnez une catégorie à gauche pour voir les produits · Toutes les pièces selon le dessin · MOQ 1 pièce · Test d'étanchéité inclus
Catégories de produits
Chambres à vide et étanchéité
4
Manipulation et alignement des wafers
2
Montage et support de l'équipement
3
Interface de gaz, bride et fluide
4
Pièces spécialisées et composites
5
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Chambres à vide et étanchéité
Corps de chambre compatibles UHV, cadres d'étanchéité, plaques de couverture et composants structurels internes. Toutes les surfaces en contact électropolies avec un Ra ≤0,4 μm ou mieux. Normes de brides Conflat, ISO-KF et ISO-K. Chaque chambre est testée à l'hélium pour fuite à 10⁻⁹ mbar·l/s avant expédition.
Matériaux : SS316L EP · Al6061 · Cu OFHC · Titane
SVE-001
CHAMBRES À VACUUM / 001 — EN VEDETTE
Corps de chambre à vide
Corps de chambre compatibles UHV en SS316L — usinés à partir d'un bloc massif ou d'une plaque roulée et soudée, puis électropolies à l'intérieur. Plusieurs ports de bride Conflat ou ISO-K positionnés et percés sur centre d'usinage horizontal CNC. Surface intérieure Ra ≤0,4 μm après EP ; ≤0,25 μm sur demande. Testée à l'hélium pour fuite à 10⁻⁹ mbar·l/s. De petites chambres d'analyse à de grands corps de réacteurs de dépôt.
SS316L · Al6061 · Cu OFHC
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SVE-002
CHAMBRES À VACUUM / 002
Plaques de couverture de chambre
Couvercle de chambre à vide et plaques d'accès avec gorge pour joint torique ou face de joint métallique à bord tranchant. Planéité de la face de scellement ±0,003 mm. Trous traversants pour passes-câbles positionnés par CNC. Face intérieure électropolies.
SS316L · Al6061 · Ti/div>
SVE-003
CHAMBRES À VACUUM / 003
Cadres d'étanchéité de chambre
Anneaux d'étanchéité de précision et corps de siège de joint pour faces de raccordement de chambre. Cadres d'étanchéité de style Conflat à bord tranchant avec un parallélisme face-à-face ≤0,005 mm. Fournis assortis au corps de la chambre ou en standalone.
SS316L · Cu OFHC · InconelObtenir un devis/div>
SVE-004
CHAMBRES À VAPEUR / 004
Composants internes de la chambre
Boucliers, déflecteurs, supports d'électrodes, supports de plate-forme et porte-échantillons qui se trouvent à l'intérieur des chambres à vide. Sélection de matériaux à faible émission de gaz. Tous les trous borgnes sont taraudés pour éviter la rétention de gaz. Électropolissage ou sablage à la bille.
SS316L · Al · Ti · MacorObtenir un devis
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Manipulation et alignement des wafers
Anneaux de serrage pour la manipulation de plaquettes, effecteurs de fin de course et composants de localisation de bord pour le transport de plaquettes, stages de chargement/déchargement et chambres de processus. Matériaux antistatiques et surfaces de contact PEEK/céramique pour prévenir les dommages électrostatiques et la contamination métallique.
Matériaux : Al6061 · PEEK · Céramique · SS316L · Delrin
SVE-005
MANIPULATION DE PLAQUETTES / 005 — EN VEDETTE
Fixations de serrage pour la manipulation de plaquettes
Anneaux de serrage pour plaquettes, effecteurs à fourche et ensembles de pinces pour le transport de plaquettes de 200 mm et 300 mm en environnement atmosphérique et sous vide. Surfaces de contact en PEEK ou céramique (Al₂O₃) pour éviter la contamination métallique. Versions antistatiques avec PEEK chargé de carbone ou Al conducteur pour la protection contre les décharges électrostatiques. Tolérance de position de contact de la plaquette ±0,05 mm. Caractérisation de l'émission de gaz compatible avec le vide disponible.
Al6061 · PEEK · Al₂O₃ · C-PEEKObtenir un devis
SVE-006
MANIPULATION DES PLAQUETTES / 006
Pièces d'alignement et de localisation des plaquettes
Broches de localisation du bord de la plaquette de précision, capteurs de rainure de recherche de plat, et inserts de plateau d'alignement. Tolérance de position ±0,01 mm. Matériaux de broches en aluminium anodisé dur ou en céramique pour une longue durée d'usure sans contamination.
Al7075 · Al₂O₃ · ZrO₂ · Acier inoxydableObtenir un devis
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Montage et support de l'équipement
Plaques de montage d'équipements semi-conducteurs, structures de support isolantes, fixations antistatiques, et guides linéaires de précision utilisés dans les sous-ensembles structurels et de mouvement des équipements de procédé. Haute planéité, tolérances de position strictes, et matériaux non contaminants en permanence.
Matériaux : Al6061 · Al7075 · PEEK · Al₂O₃ · SS316L
SVE-007
MONTAGE & SUPPORT / 007 — EN VEDETTE
Plaques de montage de l'équipement
Montage d'équipements à haute planéité et plaques d'adaptation pour outils de processus semi-conducteurs — connectant bras robotisés, ensembles de plateaux et modules capteurs aux cadres d'équipement. Planéité ±0,005 mm sur la face de montage ; tolérance de position sur les motifs de trous de montage ±0,008 mm. Plaque en Al6061-T651 standard, déstressée — élimine la déformation après usinage. Anodisation dure de type III pour la protection de la surface. Fournie avec rapport dimensionnel CMM.
Al6061-T651 · Al7075 · SS316L
SVE-008
MONTAGE & SUPPORT / 008
Pièces de support isolantes
Isolateurs électriques, supports de décalage et isolateurs de bagues en PEEK, céramique Al₂O₃ ou verre céramique usinable Macor. Sépare les composants électriquement actifs de la terre dans les chambres RF et plasma. Résistivité volumique >10¹⁴ Ω·cm.
PEEK · Al₂O₃ · Macor · PTFEObtenir un devis
SVE-009
MONTAGE & SUPPORT / 009
Fixations anti-statiques ESD
Supports d'outils antistatiques, plateaux pour composants et gabarits d'assemblage en PEEK chargé en carbone (C-PEEK), aluminium antistatique ou nylon dissipatif statique. Résistivité de surface 10⁶–10⁹ Ω/quad pour une dissipation contrôlée de la charge sans décharge.
C-PEEK · Al ESD · Nylon ESDObtenir un devis
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Interface de gaz, bride et fluide
Plaques de distribution de gaz, adaptateurs de bride à vide, raccords de transition pompe-vanne et cadres de fenêtre de chambre. Toutes les surfaces en contact avec le gaz en 316L électropolished. Brides usinées selon les normes Conflat, KF et ISO-K. Testées à la fuite d'hélium. Emballées en salle blanche.
Matériaux : SS316L EP · Al6061 · Cu OFHC · Boro-silicate
SVE-011
GAS & ROULEMENT / 011 — EN VEDETTE
Plaques de distribution de gaz (douches à jet)
Plaques de distribution de gaz pour douchettes de précision pour chambres CVD, ALD, PECVD et gravure. Matrice d'orifices uniforme avec une uniformité de diamètre de ±0,005 mm sur toute la plaque. Ra de polissage électrolytique 316L ≤0,25 μm. Test d'étanchéité à l'hélium 10⁻⁹ mbar·l/s sur chaque plaque. Compatible avec F₂, NF₃, Cl₂, HCl et autres gaz de processus corrosifs. Configurations de distribution de gaz à zone unique et à double zone. Emballé en salle blanche sous purge d'azote.
SS316L EP · Hastelloy · Inconel · AlObtenir un devis
SVE-012
GAS & ROULEMENT / 012
Pièces d'adaptateur de flange à vide
Adaptateurs de flange Conflat vers KF, ISO-K vers Conflat, et adaptateurs de flange à vide non standard avec faces d'étanchéité assorties. Parallélisme de lame de rasoir ≤0,005 mm. Intérieurs électropolishés. Test d'étanchéité à l'hélium en assemblage.
SS316L · Cu OFHCObtenir un devis
SVE-013
GAS & ROULEMENT / 013
Raccords de transition pour pompes-vannes
Raccords de transition personnalisés entre pompes à vide (ISO-K ou flanquées), vannes à guillotine et corps de chambre. Patrones de boulons non standard et géométries de croisement usinées à partir d'un bloc massif. Toutes les surfaces en contact électropolies.
SS316L · Al6061Obtenir un devis
SVE-014
GAS & ROULEMENT / 014
Cadres de viewport pour chambre
Soudures de flasques et cadres pour fenêtres en borosilicate, saphir ou silice fondue. Rainure d'étanchéité verre-métal usinée selon le diamètre extérieur spécifié du verre avec une tolérance d'ajustement de ±0,02 mm. Acier inoxydable SS316L électropolished en standard.
SS316L · Kovar · CuObtenir un devis
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Pièces spécialisées et composites
Composants structuraux à haute propreté, bases d'équipements à haute planéité, pièces de guidage de précision, assemblages céramique-métal, et composants pour outils de fin de bras dans des environnements de fabrication de semi-conducteurs. Combinaisons de matériaux complexes et applications à la propreté maximale.
Matériaux : Al6061 · SS316L · PEEK · Al₂O₃ · SiC · Invar
SVE-010
SPÉCIALISTE / 010
Composants de guide de précision
Rails de guidage linéaire, composants de glissière à queue d'aronde, et sections de rail pour les stages de mouvement d'équipement en environnement propre et sous vide. La dureté de surface et la précision géométrique sont maintenues après traitement de surface anodisé dur ou nickel sans électrolyse.
Al7075 · SS440C · Ti
SVE-015
SPÉCIALISTE / 015
Pièces structurelles à haute propreté
Éléments de cadre d'équipement, supports, et nœuds structurels usinés et nettoyés selon les exigences de la classe ISO 5 (Classe 100). Toutes les surfaces passivées, électropolies ou anodisées. Emballé en salle blanche après inspection finale. Aucune surface en aluminium brut exposée.
Al6061 · SS316L · TiObtenir un devis
SVE-017
SPÉCIALISTE / 017 — EN VEDETTE
Assemblages de sièges en céramique & PEEK pour métal
Assemblages composites combinant des composants isolants en céramique (Al₂O₃, SiC, ZrO₂) ou PEEK avec des boîtiers en métal usinés avec précision (SS316L ou Ti), anneaux de siège et cadres de retenue. Sièges métalliques usinés selon la tolérance d'ajustement H7/H6 pour un press-fit avec insert en céramique. Isolation électrique vérifiée après assemblage. Applications incluant des assemblages d'isolateurs d'électrodes RF, des anneaux de confinement plasma avec cadres de montage en métal, et des assemblages de retenue de fenêtre diélectrique.
SS316L + Al₂O₃ · Ti + SiC · Al + PEEKObtenir un devis
SVE-016
SPÉCIALISTE / 016
Bases de montage d'équipements à haute planéité
Grandes bases d'équipement de précision et plaques de référence. Planéité ±0,003 mm sur la surface supérieure après déstressage et rectification de précision. Invar ou Al6061-T651 déstressé pour une stabilité thermique. Utilisé comme point de référence pour la calibration et l'alignement des équipements.
Al6061-T651 · Invar36 · SSObtenir un devis
SVE-018
SPÉCIALISTE / 018
Pièces de l'effecteur final de l'équipement
Conseils d'actionneur, doigts de préhension, extrémités de lames, bras de montage de capteurs pour équipements d'automatisation des semi-conducteurs. Faible masse, haute rigidité. Zones de contact en PEEK ou céramique. Versions antistatiques ESD disponibles. Répétabilité de position usinée à ±0,02 mm.
Al · PEEK · Céramique · TiObtenir un devis
Capacité de fabrication
Quels pièces d'équipement semi-conducteur
Exigez d’un partenaire en usinage
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Test de fuite par spectromètre de masse à l'hélium
Chaque composant sous vide est testé avec un détecteur de fuite par spectromètre de masse à l'hélium — pas seulement inspecté visuellement ou testé sous pression. Taux de fuite standard 10⁻⁸ mbar·l/s ; 10⁻⁹ pour les composants UHV et gaz de procédé. Certificat de test sérialisé individuel avec chaque pièce. Pas une option supplémentaire — inclus dans le prix de base pour toutes les pièces sous vide.
Standard 10⁻⁸
UHV 10⁻⁹
Certificat individuel
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Électropolissage & Compatibilité avec les gaz de procédé
Les surfaces internes en acier inoxydable 316L électropolies jusqu'à Ra ≤0,25 μm. L'électropolissage élimine les particules incrustées, réduit le dégazage et crée une couche passive riche en Cr résistante aux gaz de procédé corrosifs (F₂, NF₃, Cl₂, HCl). Passivation selon ASTM A967 pour toutes les pièces en acier inoxydable. Revêtement en PFA ou PVDF disponible pour les exigences de résistance chimique maximale.
Ra ≤0,25 μm EP
Passivation ASTM A967
Compatible F₂/NF₃/Cl₂
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Nettoyage en salle blanche & Emballage
Toutes les pièces semi-conductrices sont nettoyées dans un environnement de salle blanche ISO Classe 5 (Classe 100) après usinage final et traitement de surface. Nettoyage ultrasonique à l'eau déionisée, rinçage à l'IPA, et séchage à l'air comprimé d'azote. Double emballage dans un film antistatique sous purge d'azote. Certification du comptage de particules disponible pour les pièces en gaz de procédé et sous vide.
Classe ISO 5
Rinçage à l'eau déionisée / IPA
Double emballage sous purge d'azote
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Matériaux et manutention antistatiques
PEEK chargé au carbone (C-PEEK), aluminium antistatique, et nylon dissipatif statique pour tous les fixations et composants de manutention. Résistivité de surface mesurée et documentée — 10⁶–10⁹ Ω/sq pour une dissipation contrôlée. Bracelet antistatique obligatoire pendant tout le processus d'usinage et d'emballage. Fixations de manutention reliées à la terre lors de l'inspection finale de l'assemblage.
C-PEEK / Al ESD
10⁶–10⁹ Ω/quad
Résistivité certifiée
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Usinage de céramique & Assemblage céramique-métal
Céramiques machinables Al₂O₃, SiC, ZrO₂, et Macor usinées selon dessin avec outillage diamant. Alésage de précision s’insérant dans des boîtiers métalliques pour un press-fit de l’insert en céramique — tolérance H7/H6. Isolation électrique des pièces assemblées vérifiée par mesure de résistance d’isolation. Assemblages céramique-métal assortis fournis et testés en unités complètes.
Al₂O₃ / SiC / ZrO₂
Press-fit H7/H6
Isolation vérifiée
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Surfaces de haute-planéité & contact conforme
Faces d’étanchéité et surfaces de référence de l’équipement usinées ou polies à une planéité de ±0,003 mm. Plaques de montage en Al6061-T651 ou Invar, stress-relief pour stabilité thermique. Vérifié par CMM après tous traitements de surface. Critique pour la précision de référence du stade de wafer et l’intégrité du joint sous vide lors des cycles thermiques.
Planéité ±0,003mm
Stock T651 / Invar
Après traitement par CMM
Spécifications de précision
Tolérances & Normes d’essai — Pièces pour semi-conducteurs & vide
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Tolérances dimensionnelles par caractéristique
| Planéité de face d'étanchéité | ±0,003 mm (usiné / poli) |
| Planéité de la plaque de montage | ±0,005 mm (soulagement du stress + mise à la terre) |
| Parallelisme de la lame de couteau à bord plat | ≤0,005 mm |
| Position du port à vide | ±0,05 mm (chambres multi-ports) |
| Position de contact de la plaquette | ±0,05 mm |
| Diamètre de l'orifice (Plaque à gaz) | ±0,005 mm |
| Pression d'ajustement céramique-métal | H7 / H6 Tolérance du trou |
| Alésage / Diamètre extérieur général | ±0,005 mm standard |
Taux de fuite He (Standard)
10⁻⁸ mbar·l/s
Tous les corps de chambre à vide, plaques de couverture et cadres d'étanchéité. Testé au spectromètre de masse.
Taux de fuite He (UHV / Plaque à gaz)
10⁻⁹ mbar·l/s
Plaques de distribution de gaz, collecteurs de gaz de procédé mouillés, et corps de chambre UHV.
Finition de surface EP
Ra ≤0,25 μm
Surfaces mouillées internes en SS316L après électropolissage. Ra ≤0,4 μm, finition EP standard.
Résistivité de surface ESD
10⁶–10⁹ Ω/m²
Fixations en C-PEEK et ESD Al. Mesurées et documentées selon la norme IEC 61340-5-1.
Résistance d'isolation
>10¹⁴ Ω·cm
Résistivité volumique isolante en PEEK et Al₂O₃. Vérifié sur des assemblages céramique-métal.
Classe de salle blanche
ISO 5
Environnement de nettoyage et d'emballage. ISO 14644-1 Classe 5 (équivalent Classe 100).
Choix des matériaux
Matériaux clés pour Applications en semi-conducteurs et vide
SS316L électropolished
Matériau de référence pour toutes les surfaces en vide et en gaz semi-conducteur. 316L (faible teneur en carbone) minimise la précipitation de carbures aux joints soudés. L’électropolissage élimine le fer incorporé et la rugosité de surface — essentiel pour la réduction des particules et la compatibilité avec les gaz de procédé.
Résistance à la traction
485 MPa
Ra de la surface EP
≤0,25 μm (EP standard ≤0,4 μm)
Test d'étanchéité à l'hélium
10⁻⁹ mbar·l/s réalisable
Compatibilité avec les gaz
F₂, NF₃, Cl₂, HCl — avec passivation EP
Standard
Passivation ASTM A276 · ISO 15510 · ASTM A967
Corps de chambre
Plaques de couverture
Plaques de distribution de gaz
Adaptateurs de bride
Aluminium 6061-T651
Plaque T651 soumise à un traitement de relaxation des contraintes — le seul matériau d'aluminium correct pour les bases d'équipements de semi-conducteurs de précision et les plaques de montage. La trempe T6 offre une résistance à la limite d'élasticité ; la relaxation des contraintes T651 élimine les contraintes résiduelles qui provoquent des déformations après usinage sur de grandes plaques minces. Anodisation dure de type III pour la protection de surface.
Résistance à la traction
310 MPa
Planéité (plaque)
±0,003 mm après relaxation des contraintes + meulage
Traitement de surface
Anodisation dure de type III · Anodisation de type II
Caractéristique clé
T651 = absence de déformation après usinage sur de grandes plaques
Plaques de montage
Bases d'équipement
Cadres Structurels
PEEK & PEEK chargé de carbone
PEEK pour l'isolation électrique et la résistance chimique dans les pièces de contact des semi-conducteurs. C-PEEK (chargé de carbone) pour des versions antistatiques — mêmes propriétés chimiques que le PEEK mais avec une résistivité de surface contrôlée pour la dissipation statique. Compatible avec le vide avec une faible émission de gaz.
Résistance à la traction
100 MPa (PEEK) / 85 MPa (C-PEEK)
Résistivité de surface
PEEK : >10¹⁵ Ω/sq · C-PEEK : 10⁶–10⁹ Ω/sq
Température maximale de service
250°C en continu
Résistance chimique
Excellentes — la plupart des produits chimiques de processus
Entretoises isolantes
Fixations ESD (C-PEEK)
Pointes de contact pour wafer
Flux de production
De dessin à Pièce testée pour fuite, emballée en salle blanche
01
Revue du dessin — compatibilité avec le vide et sélection des matériaux
Géométrie de la chambre revue pour les trous borgnes (gaz piégé), les zones de surface rugueuse (émission de gaz), et les normes de bride. Matériau sélectionné — SS316L pour les surfaces en contact avec le vide, Al pour la structure, PEEK/céramique pour l'isolation. Retour d'information sous 24h.
02
Usinage CNC de précision
Les alésages de la chambre, les positions des ports et les caractéristiques des faces d'étanchéité sont usinés sur un centre d'usinage horizontal. Tous les alésages de bride sont positionnés en une seule opération pour maintenir la concentricité et la perpendicularité. Les faces d'étanchéité sont usinées à une planéité de ±0,005 mm avant le meulage/lappage.
03
Meulage / Polissage de la face d'étanchéité
Faces d'étanchéité critiques au vide usinées à ±0,003 mm de planéité. Faces Conflat à bord tranchant, tournées avec précision puis usinées pour le parallélisme. Surfaces de joint à lèvre en O-ring polies selon les besoins. Vérification de la planéité par CMM.
04
Traitement de surface — Ép / Passivation / Anodisation
Pièces en SS316L électropolies avec Ra ≤0,25 μm. Passivation selon ASTM A967. Pièces en aluminium anodisées dur Type III. Tous les traitements documentés. Surfaces internes re-mesurées pour Ra après EP pour vérifier la conformité.
05
Test d'étanchéité au helium & Inspection CMM
Test d'étanchéité au spectromètre de masse helium sur chaque pièce individuelle. Taux de fuite enregistré avec le numéro de série de la pièce. Vérification dimensionnelle CMM de toutes les positions de port et des caractéristiques de la face d'étanchéité. Les deux résultats dans la documentation de livraison.
06
Nettoyage en salle blanche & Emballage
Nettoyage ultrasonique dans l'eau déionisée, rinçage à l'IPA, séchage à l'air comprimé d'azote en salle blanche ISO de classe 5. Double emballage dans un film antistatique ESD sous purge d'azote. Certificat d'étanchéité, certificat de matériau et rapport d'inspection inclus. Expédié dans un emballage de protection rigide.
Système de qualité
Chaque pièce de vide Testée, documentée et certifiée
💨
Certificat de test d'étanchéité au helium sur chaque pièce de vide
Aucune pièce de vide n'est expédiée sans un test d'étanchéité au spectromètre de masse helium documenté. Le certificat inclut la date du test, le numéro de série de la pièce, le résultat du test (mbar·l/s) et l'état de calibration de l'équipement. Inclus dans le prix de base — pas en supplément.
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Surface EP Ra Mesurée & Rapportée
Surfaces internes électropolies mesurées par profilomètre de contact après EP. La valeur Ra est enregistrée en fonction du numéro de pièce. Non supposée à partir des paramètres du processus EP — réellement mesurée. Rapport de profilométrie inclus avec la documentation de livraison.
🏭
Pack en salle blanche de classe ISO 5 — Toutes les pièces de semi-conducteurs
Toutes les pièces d’équipement semi-conducteur nettoyées en environnement de classe ISO 5 et doublement emballées sous purge d’azote. Certification du comptage de particules disponible pour le gaz de procédé et les pièces en UHV en cas de demande.
⚙
Isolation de l’assemblage céramique-métal vérifiée
Chaque assemblage céramique-métal a la résistance d’isolation mesurée après assemblage — pas seulement les composants individuels. Les pièces avec une résistance <10¹² Ω·cm après assemblage sont identifiées, investiguées et corrigées avant expédition.
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ISO 9001:2015
Système de gestion de la qualité pour toutes les commandes
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Certificat de fuite He
Test au spectromètre de masse sur chaque pièce sous vide
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ASTM A967
Certification standard de passivation en acier inoxydable
🏭
Classe ISO 5
Nettoyage et emballage en salle blanche
⚡
IEC 61340-5-1
Certification de résistivité de surface ESD
📐
Rapport CMM
Vérification dimensionnelle sur toutes les pièces de précision
Notre Avantage
Pourquoi les équipes d'équipements de semi-conducteurs Font confiance à nos pièces
He
Test d'étanchéité standard — Pas une option
Test d'étanchéité par spectrométrie de masse à l'hélium inclus sur chaque pièce sous vide en standard. Pas une mise à niveau. Pas disponible sur demande. Chaque corps de chambre, plaque de couverture et plaque de gaz est testé et certifié avant de quitter notre installation.
EP
Électropoli et prêt pour les gaz de procédé
Composants SS316L électropolis à Ra ≤0,25 μm, passivés et testés d'étanchéité à l'hélium — prêts pour une installation directe dans les chambres CVD, de gravure et ALD. Aucun traitement chimique supplémentaire requis par l'intégrateur d'équipement.
ESD
Spécialistes ESD et céramique
Fixations ESD en C-PEEK avec résistivité mesurée et certifiée. Assemblages céramique-métal avec résistance d'isolement vérifiée. La connaissance des matériaux et la capacité de mesure pour livrer correctement ces pièces composites — pas seulement tenter de les réaliser.
CR
Salle blanche ISO Classe 5 — Interne
Salle blanche ISO Classe 5 interne — nettoyage non externalisé. Contrôle total du protocole de nettoyage, de l'emballage sous purge d'azote et de la vérification du comptage des particules. Vos pièces ne quittent pas notre système qualité entre l'usinage et la livraison.
Obtenir un devis
Envoyez votre dessin.
Obtenez un devis.
Chaque demande comprend une revue DFM — faisabilité des tolérances, confirmation du matériau et approche du processus avant le début de la production. MOQ 1 pièce.
24hr
Réponse au devis
Quantité Minimum de Commande 1
Prototypes OK
ISO
9001:2015
📐
Revue DFM sur chaque demande
Faisabilité des tolérances, stratégie de fixation et confirmation des matériaux. Retour spécifique et exploitable — pas de refus générique.
🎯
Inspection du premier article — Standard
Rapport FAI sur chaque nouvelle série. Certificats de matériaux et de traitement de surface inclus avec chaque expédition.
🔄
Même processus : Prototype à Production
Le plan de processus de votre prototype s'applique aux lots de production. Pas de requalification lors de la montée en gamme.
⚙
Usinage CNC 3 / 4 / 5 axes + tournage
Pièces structurelles complexes, arbres, boîtiers et composants de transmission. Métaux et plastiques d'ingénierie.
ISO 9001:2015
Fraisage 3/4/5 axes
Tournage CNC
Inspection CMM
Livraison mondiale