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高精度 CNC 加工
陶瓷與 PEEK 對接金屬座

用於陶瓷與 PEEK 元件的精密數控機加工金屬座 — 介面配合公差因 CTE 而補償,接觸面Ra 0.4 μm,裝配公差 ±0.01 mm。保護脆性陶瓷與 PEEK 零件免受裝配應力影響。適用於靜電吸盤、絕緣支撐件及高純度半導體設備元件。.

ISO 9001:2015 潔淨室相容 經 CMM 驗證 氦氣漏率測試 48 小時報價
精密數控加工陶瓷與 PEEK 配合金座
CTE 補償
介面間隙
Ra 0.4µm
接觸面
±0.01mm
裝配配合
7天
最快交貨
CTE 補償
介面間隙溫度範圍計算
Ra 0.4µm
接觸面保護陶瓷/PEEK
±0.01mm
裝配配合金屬對絕緣體
7天
最快交付
機加工挑戰

陶瓷與 PEEK 金屬座挑戰

用於陶瓷或 PEEK 元件的金屬座必須在裝配應力下保護脆性材料,並在廣泛的溫度範圍內維持精確的尺寸關係。.

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界面處的熱膨脹係數不匹配(CTE 不匹配)
鋁(23 µm/m·K)在 100°C 溫度範圍內的膨脹量比氧化鋯陶瓷(7 µm/m·K)多 3.5 倍。金屬座的間隙必須足夠大,以致於微分膨脹不會在陶瓷上產生壓縮環應力——同時又足夠緊,以確保定位精確。.
🔩
組裝應力保護
陶瓷和 PEEK 材料在局部點載下易產生碎裂。金屬座設計必須均勻分佈組裝載荷——避免鋒利的接觸邊緣,避免在 unsupported 跨距上夾持。HXC 設計有統一的接觸面並限定組裝扭矩。.
📐
精密定位
儘管存在 CTE 補償間隙,陶瓷或 PEEK 元件仍必須被準確定位。運動學定位面——通常為三点接觸——在允許各徑向方向的 CTE 膨脹的同時,提供精確定位。.
我們的工作

陶瓷與 PEEK 配對金屬座我們已製作

REAL CNC機械加工的半導體元件 — 清潔、檢查,且潔淨室包裝.

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金屬座 + PEEK 套件
金屬座 — 批次
能力與公差

我們可以交付的項目

典型規格 — 請在詢問時確認確切需求.

CTE 补償 按溫度範圍與材料對計算
組裝配合公差 ±0.01 毫米
接觸面 Ra 0.4 微米
運動學接觸 3點或連續 — 依設計
溫度範圍 計算至 350°C(材料取決於型號)
組裝扭矩 與每個螺紋元件同時規定
材料 Al 6061/7075、SUS316L、SUS304、Ti Grade 5
CTE 分析 在所有陶瓷/PEEK 介面中納入 DFM
匹配組合套件 金屬座 + 陶瓷/PEEK 組裝可用
交期(樣件) 7–10 天
交貨期(批次) 12–18 天
組裝說明 每個套件隨附
原理

從圖樣到可在潔淨室使用的零件

上傳您的圖樣 — DFM 审查、加工、清洗與潔淨室包裝於約定交期內。.

01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。包含材料、公差與潔淨等級。.
02
DFM 與 報價
免費 DFM 評估 — 封口面可行性、薄壁、去毛刺策略。48 小時內報價。.
03
加工、清潔與檢查
CNC 加工、超聲波清潔、CMM 檢測、潔淨室包裝。.
04
全球運送
完整尺寸報告 + 清潔紀錄附上。DHL / FedEx / 海運。.
評價

獲半導體設備工程師信任

★★★★★
"表面清潔度與包裝立刻符合我們潔淨室進料檢驗要求。尺寸報告與我們的 CMM 檢查完全吻合。"
LW
李偉
製程設備工程師 · 台灣
★★★★★
"HXC 理解我們腔室元件的真空密封需求,無需冗長解釋。交期正如報價所示。"
SL
蘇菲 L.
設備設計工程師 · 韓國
★★★★★
"我們已從 HXC 採購晶圓處理與腔室零件長達兩年。清潔度、尺寸精度與批次一致性皆出色。"
JT
詹姆斯 T.
高階採購 · 美國
常見問題

關於陶瓷與 PEEK 金屬座加工的常見問題

由我們的半導體元件團隊回答的工程與採購相關問題。.

HXC在整個工作溫度範圍(常溫至最大加工溫度)內計算金屬座與陶瓷/PEEK元件之熱膨脹差異。座孔直徑以具有足夠間隙的加工,使金屬在最大溫度時永不對陶瓷產生壓縮環向應力——同時又足以實現精確定位。計算數據包含在DFM報告中。.
保護措施: (1) 統一的接觸表面 ——不應有尖銳邊緣或造成應力集中之階梯特徵;; (2) 具體的裝配扭矩限制 刻印或標示於螺紋金屬元件上(陶瓷與PEEK在一般金屬裝配的扭矩值下也會出現裂紋);; (3) 提供裝配說明 —— 包含建議的扭矩序列、裝配工具類型,以及隨溫度變化的重新扭矩時間表。.
HXC建議 三點運動學接觸 (座面上有三個凸起墊,皆Ra 0.4 μm,等間距120°分布) 以用於陶瓷圓盤元件。這提供準確、可重複的定位,同時允許陶瓷在半徑方向上膨脹或收縮而不受約束。對於矩形陶瓷元件:採用四角支撐墊,使用相同的運動學原理。.
可以 — HXC 提供 完整的匹配套件 : 金屬座 + 陶瓷或 PEEK 元件(來源於 HXC 的供應鏈或客戶提供)+ 組裝五金件 + 組裝說明。所有元件皆經尺寸驗證為一組匹配。出貨前會確認組裝相容性(室溫與最高工作溫度下的間隙)。.
SUS316L(可至 300°C) : 大多數半導體工藝溫度的標準材料。. Inconel 625(可至 500°C 以上) : 適用於高溫工藝應用,當鋁與標準不銹鋼不能使用時。. 鋁合金 6061 : 適用於室溫及中等工藝溫度且重量重要的情況。材料選擇取決於工藝溫度、工藝化學性以及所使用的特定陶瓷或 PEEK 材料。.
組裝後,HXC 執行: (1) 視覺檢查 — 無裂紋、無 PEEK 的可見應力發白、無脫屑;; (2) CMM 測量 組裝元件相對於座基準面的位置;; (3) 冷循環測試 (於温度臨界應用) — 組裝、冷卻至最低工作溫度、回暖至最高工作溫度、驗證位置並檢查是否有損壞。.
原型: 7–10 天. 符合的套件:8–12 天。批次:12–18 天。.
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每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.

24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
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每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
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首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
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相同流程:從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次;放大規模時不需重新鑑定。.
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
ISO 9001:2015 3/4/5 軸銑床 CNC 車削 座標測量儀檢驗 全球交付