產品類別
≤±0.005mm · IT5 · Ra 0.4µm · 配對組合
WPP / 001 — 008
高精度CNC
晶圓定位件
高精度 CNC 加工晶圓定位件 — 定位銷、運動學墊片與停止塊，重複定位精度 ≤ ±0.005 mm，邊緣接觸 Ra 0.4 µm，材料符合潔淨室要求。適用於晶圓夾持裝置、載具與製程夾具。.
±0.005mm
重複性公差.
IT5
針 / 槽
±0.003mm
尖端比對
部件 DWG · WPP-000 3-針運動組 · Al 7075 高硬質陽極化
ISO 9001 · 潔淨室 N₂
300mm 晶圓上方
三點運動學
半導體 · 薄膜觀察 · 載體 · 實驗室
使用案例
Al 7075 HA · SUS316L · PEEK · SiC
材料
48hr 報價 · 5 天原型
服務
≤±0.005mm
重複精度
定位等級
定位等級
Ra 0.4µm
接觸表面
晶圓安全表面處理
晶圓安全表面處理
IT5
公差等級
針與槽
針與槽
5 天
最快交付
原型訂單
原型訂單
機加工挑戰
晶圓定位零件挑戰
晶圓定位零件界定晶圓在夾頭或載具上的確切位置——針高、位置或接觸表面品質的任一偏差，會直接轉化為晶圓未對中。.
⦿
位置重複性
所有定位銷與焊盤必須在每個循環中將晶圓返回至偏差值不超過 ±0.005 mm 的名義位置。這需要：針腳外徑 IT5、針孔腔 H5，以及所有針尖高度的一致性±0.003 mm。.
✂️
邊緣接觸保護
晶圓邊緣脆弱。接觸面必須經研磨至 Ra 0.4 µm 並採用圓角邊緣（R0.1–0.3 mm）以防碎裂。HXC 對所有與晶圓接觸的表面實施專用微去毛刺與拋光作業。.
🔬
組件尺寸一致性
3針或6針定位組必須尺寸匹配——組內針的高度或位置差異會造成晶圓傾斜。在出貨前，所有定位零件均以座標測量機(CMM)檢測並以 Verified Set 的方式進行匹配。.
我們的工作
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晶圓定位件我們已製作
REAL CNC機械加工的半導體元件 — 清潔、檢查，且潔淨室包裝.
能力與公差
我們可以交付的項目
典型規格 — 請在詢問時確認確切需求.
| 重複性精度 | ≤ ±0.005 毫米 |
| 引腳外徑公差 | IT5 (h5) |
| 尖端高度一致性 | ±0.003 mm（成對成組） |
| 接觸面 Ra | 0.4 微米 |
| 邊緣半徑 | R0.1–0.3 毫米 |
| 晶圓尺寸 | 100–300 毫米相容 |
| 材料 | Al 7075、SUS316L、PEEK、SUS304 |
| 集成匹配 | CMM 高度匹配±0.003 毫米 |
| 清潔 | IPA 超音波 清潔室包裝 |
| 交期（樣件） | 5–8 天 |
| 交貨期（批次） | 9–14 天 |
| 可追溯性 | 序列化與批次匹配 |
原理
從圖樣到可在潔淨室使用的零件
上傳您的圖樣 — DFM 审查、加工、清洗與潔淨室包裝於約定交期內。.
01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。包含材料、公差與潔淨等級。.
02
DFM 與報價
免費 DFM 評估 — 封口面可行性、薄壁、去毛刺策略。48 小時內報價。.
03
機器、清潔與檢驗
CNC 加工、超聲波清潔、CMM 檢測、潔淨室包裝。.
04
全球運送
完整尺寸報告 + 清潔紀錄附上。DHL / FedEx / 海運。.
評價
獲半導體設備工程師信任
★★★★★
"表面清潔度與包裝立刻符合我們潔淨室進料檢驗要求。尺寸報告與我們的 CMM 檢查完全吻合。"
LW
李偉
製程設備工程師 · 台灣
★★★★★
"HXC 理解我們腔室元件的真空密封需求，無需冗長解釋。交期正如報價所示。"
SL
蘇菲 L.
設備設計工程師 · 韓國
★★★★★
"我們已從 HXC 採購晶圓處理與腔室零件長達兩年。清潔度、尺寸精度與批次一致性皆出色。"
JT
詹姆斯 T.
高階採購 · 美國
常見問題
關於晶圢定位加工的常見問題
由我們的半導體元件團隊回答的工程與採購相關問題。.
標準： ≤ ±0.005 毫米 重複定位。對於超精密夾頭與對位機應用：≤ ±0.002 mm，另外經過研磨與 CMM 檢查。重複精度的達成方式為：銷孔外徑符合 IT5 公差、配合執口為 H5、並在每組中核對銷尖高度至 ±0.003 mm 以內。.
所有與晶圢接觸的邊緣均經過以下處理： (1) 定義邊緣半徑 0.1–0.3 mm， 由專用微型去毛刺工具加工；; (2) 接觸表面 Ra 0.4 µm 拋光，; (3) UV 燈檢查 以檢測任何微小毛刺或表面不規則性。首選材料為 PEEK 與硬陽極化鋁——兩者的硬度 HV 與矽相當，能降低接觸應力。.
定位組中的所有銷針或墊片均為： (1) CMM 測量的探針高度 — 與±0.003 mm 相符；; (2) 尺寸報告已生成 適用於完整的一組；; (3) 已序列化並打包為成對一致的一組 —絕不與其他批次混用。這可保證每組晶圓平面傾斜在規格內。.
最小定位銷直徑： Ø1.0 毫米. 最小觸點焊盤尺寸：2 × 2 mm。觸點表面最小邊緣圓角：R0.05 mm（配備微型去毛刺工具）。對於小於 1 mm 的特徵，我們建議在 DFM 審查時評估可行性。.
Al 7075 硬陽極氧化: 最常見 — HV 400+ 表面，顆粒耐受，陽極氧化層為惰性。. SUS316L 臘化處理: 用於化學環境與高溫加工區域。. POM: 用於化學腐蝕性環境——無金屬離子污染風險。所有材料均經認證為潔淨室相容，出貨前均以 IPA 清潔。.
是的——HXC 為每個定位件設計維護 CMM 計劃。替換銷或墊片按相同方案生產，並與原始設計公差等級相匹配。替換件包含一份 CMM 報告，顯示測量針尖高度以作品質驗證。.
Type III 高硬質陽極氧化 (15–25 µm)：為 Al 7075 定位銷的標準表面處理——硬度 HV 400+，具耐磨表面。. 被動化: 標準 for SUS316L. DLC 塗層: 可選以在接觸點提供極低摩擦。所有塗層在 CMM 檢查後且在潔淨室包裝前均已驗證。.
原型配對組： 5–8 天. 批次：9–14 天。大批組件（>6 個針腳）：再加 1 天進行配對檢驗。.
獲取報價
寄出您的圖紙。.
取得報價。.
每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.
24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
📐
每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程：從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次；放大規模時不需重新鑑定。.
⚙
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
ISO 9001:2015
3/4/5 軸銑床
CNC 車削
座標測量儀檢驗
全球交付