Категорія продукції
HFM — 001 до 020
Прецизійна рідина
& колектор
Компоненти
20 ліній продуктів — гідравлічні та пневматичні колектори, вакуумні камери, охолоджувальні platії, прецизійні корпуси клапанів, циліндри форсунок, корпуси насосів, мікроканальні plates, та високочастотні з'єднувачі з ущільненням високої цілісності. Де внутрішня геометрія, оздоблення поверхні та герметичність визначають деталь.
Площина поверхні ±0.003 мм на герметичних торцях та стикових поверхнях
Тест на витоку до 300 бар гідравлічний, 10⁻⁸ мбар·л/с гелій для вакууму
Ra 0.4 μм на поверхнях буртика та шпулі для корпусів клапанів та насосів
Налаштування розташування портів за потребою від DXF або 3D-моделі — лише нестандартна продукція
Плоскість герметичної поверхні
±0.003 мм
Приток витоку гелію
10⁻⁸ мбар·л/с
20
Лінії продукту
±0.003mm
Плоскість ущільнення
300бар
Гідравлічний тест
Ra 0.4μm
Обробка отвори
24hr
Час розрахунку ціни
Гідравлічні колодки маніфольду ✦
Блоки пневматичної магістралі ✦
Маніфольд вакууму ✦
Блоки розподілу рідини ✦
Пластини охолоджувальних каналів ✦
Жидкі холодні пластини ✦
Точні корпуси клапанів ✦
Шліци та посадочні втулки клапана ✦
Ч parts клапана пропорційного ✦
Насадки, заглушки та сидіння ✦
Запірні деталі корпусу насоса ✦
Мікроканальні пластини ✦
Пластини розподілу газу для напівпровідників ✦
Запчастини вакуумної камери ✦
Пакети з високою цілісністю ущільнення з'єднувальних вузлів ✦
Гідравлічні колодки маніфольду ✦
Блоки пневматичної магістралі ✦
Маніфольд вакууму ✦
Блоки розподілу рідини ✦
Пластини охолоджувальних каналів ✦
Жидкі холодні пластини ✦
Точні корпуси клапанів ✦
Шліци та посадочні втулки клапана ✦
Ч parts клапана пропорційного ✦
Насадки, заглушки та сидіння ✦
Запірні деталі корпусу насоса ✦
Мікроканальні пластини ✦
Пластини розподілу газу для напівпровідників ✦
Запчастини вакуумної камери ✦
Пакети з високою цілісністю ущільнення з'єднувальних вузлів ✦
Повний асортимент продукції
20 високоточних рідина та колектор
Лінії продукту
Клацніть будь-яку категорію для розгортання · Усі деталі токарні за малюнком · Мін. кількість замовлення 1 шт · Включено тест на витік
Блоки маніфольду
316SS · Al6061 · сталь · PEEK
+
Гідравлічні, пневматичні, вакуумні та рідино-розподільчі колекторні блоки з тілу злитого злитка — заміна трубопровідних вузлів та з'єднань одним монолітним блоком без витоків. Внутрішні поперечні буріння, ущільнювальні поверхні портів та камера клапанів картриджа обробляються в одному виробі. Упорка O-кількість кільцевого ущільнення (ORFS), стандарті SAE, BSP, NPT та метричні порти доступні за запитом.
Блоки колектора / HFM-001 — ВІДЕАЛЬНЕ
Гідравлічні колодки маніфольду
Налаштовані гідравлічні колектори з монолітного сталі або нержавіючого литья — заміна трубопроводу з фітингами одним монолітним блоком. Внутрішні каналізаційні галереї, камери клапанів картриджа та ущільнювальні поверхні лиця порту. Робочий тиск стандартно до 420 бар; за запитом 700 бар. Гідравлічний випробування тиску до 1,5× робочого тиску з документацією. Доступні у стандартному алюмінієвому 6061 для низького тиску або 316SS та 4140 сталі для високого тиску.
4140 · 316SS · Al6061 · Дюралюміній
Отримати пропозицію
HFM — 002
Блоки пневматичної магістралі
До 16 бар
Вхідні порти
Al6061 · SS · POM · Неонівий
HFM — 003
Маніфольд вакууму
Перевірено на витік за допомогою гелію
фланці KF / ISO-K
316SS · Al6061 · OFHC Мідь
HFM — 004
Блоки розподілу рідини
Багатопортовий
Кастомний малюнок діаметра каналу
SS316L · Al · PEEK · Delrin
Тепловий менеджмент — охолоджувальні плити та холодні плити
Al6061 · Al6063 · Cu · SS
+
Плити охолоджувальних каналів та рідинні холодні плити для теплового управління електронікою, системами лазерів, модулями живлення та охолодження батарей EV. Внутрішні канали охолодження з фрезерування або глибокого свердління, потім герметизовані б Brazing, термомеханічною зваркою (friction-stir welding) або закрита кришка з болтовим кріпленням. Площина монтажної поверхні з точністю ±0.005 мм для забезпечення тісного теплового контакту з тепловидільним елементом. Тести на витік при 1.5× робочого тиску перед доставкою.
THERMAL / HFM-005 — ВИЗНАЧЕНІ
Жидкі холодні пластини
Високопродуктивні рідинні холодні плити з обробки з Al6061 або Al6063 з внутрішніми серпантиноподібними або паралельними каналами охолодження. Кришка пластиною зварена brazing, fristion-stir зварюванням або вакуум-герметизацією для постійного безвитокового з'єднання. Поверхня монтажу шліфована до ±0.005 мм плоскості для низького термічного опору контакту. Індивідуальний макет каналів за даними теплового симулятора. Використовується для модулів IGBT, смугах лазерного діода, інверторів EV та охолоджувальних збірок GPU.
Al6061 · Al6063 · Cu · Al-SiC
Отримати пропозицію
HFM — 006
Пластини охолоджувальних каналів
Глибоко-свердловинні канали
Ущільнення кульковою пробкою
Al6061 · Сталь · SS · Мідь
Корпуси клапанів та компоненти клапанів
316SS · Латунь · Бронза · PEEK · 4140
+
Прецизійні корпуси клапанів, видові отвори, седла клапанів та компоненти пропорційних клапанів, де круглость отвору, циліндричність та якість поверхні безпосередньо визначають витік клапана та гістерезис спула. Отвори спула мають допуск H6 з круглістю ≤0,003 мм. Укоси конічних сидінь та ширина контактної поверхні седла обробляються за кресленням. Всі частини клапана обезжирені, зняті заусенці та перевірені на забруднення перед передачею.
VALVE / HFM-007 — ВІДЗНАЧЕНИЙ
Точні корпуси клапанів
Індивідуальні корпуси клапанів для напрямного управління, звільнення тиску, запобіжних та регульуючих клапанів. Свердління спули оброблено до допуску H6/H7; круглість і циліндричність ≤0,003 мм. Внутрішні наскрізні отвори знятті за чистотою ISO NAS 1638 або ISO 4406 за запитом. Ріжучі різьби портів та поверхні ущільнення обробляються на одній установці для ідеального вирівнювання. Робочий тиск до 350 бар стандартно.
4140 · SS316 · чавун високомочний · латунь
HFM — 008
Штоки клапанів
Допуск OD h5
Опція хромування твердої поверхні
4140 · 52100 · SS440C
HFM — 009
Сидіння клапанів
Заштований торець витискной поверхні
Загнутий фасок під кутом
440C · Стеліт · Кераміка · SS
HFM — 010
Ч parts клапана пропорційного
Порожнина під мікрон
Упаковка в чистій кімнаті
nozzle, поточний контроль та запчастини для насосів
SS · латунь · бронза · PEEK · кераміка
+
Соплові блоки, прецизійні отвори для регулювання витрати, корпуси седел сопла та компоненти корпусу насоса, де діаметр отвору, геометрія седла та внутрішня поверхня протоку визначають характеристики потоку. Діаметри отворів від 0,1 мм і більше. Тангенс куту схилу седла сопла зберігається в ±0,02°. Отвори корпусів насоса для шестерневих, лопаткових та поршневих насосів обробляються до H6/H7 з плоскістю на портових поверхнях.
NOZZLE & PUMP / HFM-011 — ВІДЗНАЧЕНО
Соплові блоки та частини управління потоком
Багатопортові соплові блоки та прецизійні вставки обмежувачів потоку для розпилювальних систем, впорскування палива, промислового очищення та подачі газів у процесах напівпровідників. Діаметри отворів від 0,10 мм до 10 мм контрольовано до ±0,005 мм. Поверхня внутрішнього тракту Ra ≤0,4 мкм за допомогою прецизійного розточування та шліфування. Нержавіюча сталь за стандартом пасивована; Hastelloy, PEEK та титан для корозійних газів процесів та агресивних хімікатів.
SS316L · Хастеллой · PEEK · Тітій
Отримати пропозицію
HFM — 012
Прецизійні частини управління потоком
Калібрований отвір
Cv сертифіковано
SS · Латунь · PEEK · Кераміка
HFM — 013
Котушки-гініңся дірок
Угловий за бічним різьбленням ±0.02°
Підшипник седла відшліфований
SS303 · Латунь · Бронза · Кераміка
HFM — 014
Запірні деталі корпусу насоса
Отвори H6/H7
Плоскостність торця порту
Al · Сталь · SS · Чавун
Напівпровідниковий, вакуумний та високорівневий ущільнюючий розхід
Al6061 · SS316L · OFHC Cu · PEEK · PFA
+
Мікроканальні пластини, розподільчі plates для процесу напівпровідників, частини ультра-високого вакууму, кришки камер, ущільнюючі компоненти поверхні та багатопортові високорівневі з’єднувачі для виробництва напівпровідників, приладобудування в чистих приміщеннях та системи досліджень УВХ. Електроплосовані внутрішні поверхні, випробувані на витік за допомогою гелію та упаковані в умови чистих кімнат. Всі зволожені поверхні сумісні з корозійними газами процесу (HCl, F₂, Cl₂, NF₃) доступні у електроплівковому 316L або алюмінії з PFA-обкладенням.
SEMICONDUCTOR & VACUUM / HFM-015 — ВИБРАНО
Пластини розподілу газу для напівпровідників
Прецизійні plates розподілу газу (плити душових головок) для CVD, ALD та камер травлення — однорідна масивна структура з просвердленими мікроотворами, що розподіляють процесний газ по витку. Одномірність діаметра отвору ±0,005 мм по всій пластині. Електрополістровані внутрішні поверхні 316L Ra ≤0,25 μm. Тест на витік газу за допомогою гелію при 10⁻⁹ мбар·l/с. Сумісність з F₂, Cl₂, NF₃, HCl та іншими корозійними процесними газами. Упаковано в чистій кімнаті після фінальної перевірки.
316L EP · Al6061 · Хастеллой · Інконель
Отримати пропозицію
HFM — 016
Мікроканальні пластини
Канал від 0,3 мм
Опція Micro-EDM
Al · SS316L · PEEK · Тітан
HFM — 017
Запчастини вакуумної камери
УВХ сумісний
Conflat / KF фланці
316L · Al6061 · OFHC Мідь
HFM — 018
plates for cavity cover
±0.003 мм плоскостность
улоговина під ущільнення O-»,
Al · SS · PEEK · Тітан
HFM — 019
Деталі ущільнювальної поверхні
Легений Ra ≤0.1μm
Плоскостність сертифікована
SS · Інвар · Кераміка · Сталь
HFM — 020
Мультипортові з'єднувачі з високою цілісністю ущільнення
До 24 портів
Перевірено на витік води
SS316L · Al · PEEK · Хастеллой
Виробничі можливості
Що робить Маніфолд та
обробка порожнини різний
⚙
Глибокопрохідна свердловина та перехресні галереї
Внутрішні галереї в блоках маніфолда вимагають глибокопрохідної свердловини з відношенням діаметра до глибини до 30:1, точно перетинаючи перехресні галереї на глибині з похибкою 0,1 мм. Гвинтове буріння для довгих прямих отворів; BTA-буріння для більшого діаметру. Уплотнювання кулькового заглушення та зняття заусенців по перехресних отворах виконуються перед будь-яким випробуванням під тиском.
📐
Гострість поверхні та відсутність зазору ущільнювача
Кільцевий ущільнювач на торцевій поверхні та поверхні герметизації метал-до-металу вимагають плоскості ±0.003–0.005 мм та якісної обробки поверхні Ra ≤0.8 μм. Поверхні торцевого ущільнювача обробляються фрезеруванням з подальшим шліфуванням або поліруванням відповідно до специфікації. Плоскостність перевіряється за допомогою ЧПК та шорсткість поверхні профілометрією з контактним зондом на кожній ущільнювальній фасці перед відвантаженням.
🔬
Точна обробка отвори для клапанів та валів спулів
Отвори спулів для напрямного керування та пропорційних клапанів підтримуються за допуском H6 (зазвичай ±0.008 мм на 20 мм діаметр) з круглістю ≤0.003 мм та циліндричністю ≤0.005 мм. Досягається за допомогою розчокування, прецизійного розточування та притирання. Притирання видаляє лобування та сліди інструмента, залишаючи хрестоподібний малюнок, що утримує мастило спула.
💨
Перевірка на витікання рідини та гелія — документофікована
Гідравлічні маніфольдні вузли випробовуються на тиск 1.5× робочого тиску з документальним звітом про випробування. Вакуумні та компоненти для напівпровідників тестуються за допомогою гелійного мас-спектрометра на витік до 10⁻⁸ мбар×л/с за стандартом (10⁻⁹ за запитом). Кожна деталь індивідуально серійована, результати випробувань заносяться в облік. Жодна деталь не відвантажується без сертифіката про успішне тестування на витік.
🧪
Електрополірування та пасивація для сумісності з рідинами
Внутрішні поверхні напівпровідникових компонентів з SS316L електрохімічно поліровані до Ra ≤0.25 мкм для сумісності з процесними газами та зменшення частинок. Пассивація за ASTM A967 або AMS 2700 для гідравлічних та хімічних деталей процесу. Алюмінієві деталі анодовані (Тип II) або твердоанодовані (Тип III) для стійкості до корозії у охолоджувальних та пневматичних застосуваннях.
🏭
Чистота Промивка та Упаковка в чистих кімнатах
Усі внутрішні канали гідравлічних маніфольдів промиті до ISO 4406:2021 Клас 17/15/12 або NAS 1638 Клас 6 чистоти за запитом. Напівпровідникові та вакуумні компоненти очищаються у чистій кімнаті та двічі пакуються під азотним витиском. Наявна сертифікація кількості часток для компонентів процесу газу напівпровідників.
Специфікації точності
Точність та ущільнювальні характеристики — Усі лінії продукції
📐
Досяжні допуски за типом характеристики
Плоскість герметичної поверхні
±0.003 мм
Стрижневий шахтний отвір H6
±0.008 мм
Круглість бурта
≤0.003 мм
Кріплення холодної плити
±0.005 мм
Діаметр отвори
±0.005 мм
Поверхня бурти Ra
Ra 0.4 μм
Поверхня ущільнювальної поверхні Ra
Ra 0.8 μм
EP-поверхня Ra
Ra 0.25 мкм
💨
Специфікації тиску та тестування на витік
Гідравлічні колекторні вузли
420 бар
Стандартний робочий тиск; доступний 700 бар. Пройдено тестування при 1.5× WP з сертифікатом.
Пневматичні колекторні вузли
16 бар
Стандартний пневматичний робочий тиск. Включено випробування на витік повітря при 2× WP.
Вакуумні частини
10⁻⁸ мбар·l/с
Ядрування мас-спектрометра для перевірки витоків. доступно 10⁻⁹ для застосування під вакуумі високого ступеня очищення.
Напівпровідниковий газ
10⁻⁹ мбар·l/с
УВЗ виток на процесних пластинах газу. випробувано витоки He, упаковано у чистій кімнаті.
Охолодження холодної platen
10 бар
Стандартний тиск робочої охолоджувальної рідини ланцюга. Гідравлічний тест на витоки при 15 бар.
Гідравічна чистота
NAS 6
NAS 1638 клас 6 за запитом. ISO 4406:2021 клас 17/15/12 стандарт.
Поверхневі обробки
Покриття поверхонь та обробки для Сумісність з рідиною
Внутрішні та зовнішні обробки поверхонь зіставлені з середовищем рідини, робочим тиском та хімічною сумісністю.
SFT / 01
✦
Електрополіровання (EP)
Електролітизований видалення матеріалу з поверхонь 316L SS. Ra від обробленої 0.8 мкм до EP ≤0.25 мкм. Видаляє вбудовані частинки та мікро-шерохуватість. Вимагається для поверхонь газів процесу напівпровідників.
ПолупровідникUHVНержавіюча сталь SS316L
SFT / 02
🛡
Пасивація (ASTM A967)
нітратна або лимонна пассивація нержавіючої сталі. Видаляє вільне залізо з обробленої поверхні; утворює стабільний пасивний шар Cr₂O₃. Вимоги для харчових, фармацевтичних та хіраль-частин з корозійно-носійними середовищами.
Харчовий / ФармаХімічнийУсі класи сталі SS
SFT / 03
🔩
Твердий анодування (Тип III)
товстий оксидний шар (25–75 мкм) на алюмінії. Твердість 400–600 HV. Запечатування каналів та поверхонь пневматичного блоку запечатуються анодованим покриттям з просоченням PTFE для корозійної стійкості та зносостійкості.
ПневматичнийОхолоджувальні пластиниСплави алюмінію
SFT / 04
🌊
Полірування (крос-штрихи)
Точне полірування циліндрів клапана після розточування. Відкладає перехресний візерунок для утримання мастила. Виправляє круглість та лоби від розточування. Остаточне допускове ділення H6 з Ra 0.2–0.4 мкм.
Штоки клапанівЦиліндри насосаСталь / Нержавіюча сталь
SFT / 05
💎
Шліфування (Гарантія ущільнення)
Плоске шліфування метал-металевих ущільнювальних поверхонь до Ra ≤0.1 мкм та площини ≤0.001 мм (1 світловий діапазон). Використовується для клиноподібних ущільнень, ущільнень з металевих прокладок та прецизійних ущільнювальних поверхонь для приладів без витоків.
УВХ фланціМеталеві ущільненняСС / Invar
SFT / 06
🧪
Нікелеве покриття PTFE
Хімічно осаджене нікелеве покриття з частками PTFE для зменшення тертя та корозійної стійкості внутрішніх поверхонь. Використовується у корпусах алюмінієвих клапанів, корпусах насосів та розподільчих блоках рідини, де чистий алюміній кородує.
Корпуси клапанів з алюмініюКорпуси насосівСплави алюмінію
SFT / 07
⚗
Обклеювання PVDF / PFA
Флуорополімерне внутрішнє покриття алюмінієвих колекторних блоків, що використовується з висококорозійними газами процесу (HF, HCl, сильні кислоти). Оброблений алюмінієвий блок, облицьований вставкою з PFA або PVDF — поєднання легкості з хімічною стійкістю.
ПолупровідникКорозійні газиAl + PFA
Послуги у галузях
Прецизійні рідинні деталі через Кожна рідинна система
💡
Полупровідник
Газові plates · Вакуумні камери
⚙
Гідравліка
Маніфольди · корпуси клапанів
🏥
Медичний
Маніфольди SS · прецизійні клапани
🔋
Електронне охолодження
Холодні plates · Канальні plates
⚗
Хімічний процес
Hastelloy · parts PEEK
✈
Авіакосмічна галузь
Ti · маніфольди SS
Наша перевага
Чому інженери з систем рідини Визначте наші частини маніфольда
Утечка
Кожна деталь перевіряється на утечки — додано сертифікат
Жоден гідравлічний маніфольд, вакуумний компонент або рідина блок не відпускаються без документованої перевірки на утечку. Гідравлічний тест тиску до 1,5× робочого тиску; мас-спектрометр забору на вакуум та напівпровідникові деталі. Сертифікат випробувань поставляється з деталлю — не за запитом, входить до стандарту.
Глибокий
Глибокорізьбове свердлення та точність через канал-півпоперечні
Довгі внутрішні гільзи з відношенням L/D до 30:1 і перехресно перетинаються міжгілля — дві найскладніші особливості в обробці маніфолдів — наш стандартний рівень можливостей. Гуночна свердловина, BTA та координована багатосмугова узгодженість перетину, щоб ваш блок маніфолда працював exactly як задумано.
EP
Електрополіровані напівпровідникового класу поверхні
Плити розподілу газу та вакуумні компоненти електрополіруються до Ra ≤0.25 μm і тестуються на пропускання гелію до 10⁻⁹ mbar·l/s у власному господарстві. Упаковка в чистому приміщенні під азотним purge. Повна ланцюг постачання газів для процесів напівпровідників в одному постачальнику.
Отвір
Отвори шпуля H6 з тонованням хонінгом у крос-хетч
Отвори шпуля корпусу з допусками H6 з круглістю ≤0.003 мм та фініш хонінгового перехреста для утримання мастила. деталь, яка відокремлює функціональний клапан напрямку від того, який пропускає через шпулю — ми надаємо як стандарт у кожному замовленні корпусу клапана.