Категорія продукції
<1×10⁻⁸ · Ra 0.8µm · ≤0.01mm Плоский · EP + Підготовка зварювання
VCH / 001 — 008
Ультра-чистий CNC
Запчастини вакуумної камери
Прецизійно оброблені компоненти вакуумної камери з ЧПУ — площини фланців Ra 0.8 µm, рівність ≤ 0.01 mm, вся геометрія підготовки зварювання оброблена відповідно до специфікації. SUS316L електрополірований, тест на витік гелію <1×10⁻⁸ mbar·l/s. Для камер процесу напівпровідників, дослідницьких вакуумних систем та промислового вакуумного обладнання.
<10⁻⁸
Утечка гелію
Ra 0.8µm
Площина фланця
≤0.01mm
Плоскостність
ЧАСТИНА DWG · VCH-000 СТІНА ПРОЦЕСНОЇ КАМЕРИ · SUS316L EP
ISO 9001 · ВИПІКАННЯ 300°C
1 бар Атм. Тиск
CF + KF Порти
Напівпровідникові · Дослідження · Оптичні · Космічні · Медичні · Промислові
Випадки використання
SUS316L EP · 304 · Al 6061 · Ti Grade 5
Матеріали
48hr Цитата · 8-денний прототип
Послуга
<1×10⁻⁸
Хід витоку
мбар·сіль сир helium тест
мбар·сіль сир helium тест
Ra 0.8µм
Площина фланця
гладкість ущільнювальної поверхні
гладкість ущільнювальної поверхні
≤0.01мм
Плоскостність
клас поверхні фланця
клас поверхні фланця
8 днів
Найшвидша доставка
макети замовлення
макети замовлення
Виклики обробки
Виклики обробки частин вакуумної камери
Компоненти вакуумної камери повинні витримувати різницю атмосферного тиску в 1 бар, зберігаючи герметичну поверхню ущільнення — що вимагає ретельного балансу між структурною цілісністю, розмірною точністю та чистотою поверхні.
⛨
Товщина стінки проти тиску
Стіни вакуумної камери повинні витримувати різницю тиску в 1 бар (≈ 10 N/cm²) без випинання або вигинання. Перевірка DFM HXC контролює товщину стінки відносно діаметра камери та межі міцності матеріалу — занадто тонка викликає деформацію, занадто товста додає вагу та площу для вивільнення газів.
▱
Плоскість фланцевої поверхні
Усі поверхні фланців на компонентах камери повинні бути плоскими до ≤ 0.01 мм — будь-яке відхилення викликає нерівномірне прилягання ущільнювача та створює шляхи витоку. HXC обробляє всі поверхні фланців на прецизійних шліфувальних верстатах або великих фрезерних верстатах з ЧПУ.
⚒
Геометрія підготовки зварювання
Багато частин вакуумної камери зварюються з іншими компонентами. Підготовка до зварювання (кут канавки, коренева поверхня, глибина фаски) повинна бути оброблена відповідно до специфікацій AWS або ISO 9692, щоб зварювальний процес забезпечив герметичне з'єднання з повним проникненням.
Наша Робота
Замовити Подібну Деталь →
Частини вакуумної камери, які ми виготовили
Структурні компоненти вакуумної камери для напівпровідників, досліджень та промислових систем.
Можливості та допуски
Що Ми Можемо Доставити
Типові характеристики для цього типу продукту — підтверджуйте точні вимоги за запитом.
| Швидкість витоку | <1×10⁻⁸ мбар·л/с (тест на гелій) |
| Плоскість фланцевої поверхні | ≤ 0.01 мм |
| Ra поверхні фланця | 0.8 мкм |
| Товщина стінки | Від 6 мм (залежно від діаметра камери) |
| Максимальна частина конверта | 800 × 800 × 600 мм |
| Фланцеві стандарти | CF, KF, ISO-K, індивідуальний |
| Матеріали | SUS316L, SUS304, Al 6061, Ti Grade 5 |
| Підготовка до зварювання | AWS / ISO 9692 відповідно до специфікації |
| Обробка поверхні | EP, пасивація, жорстке анодування |
| тест на витік повітря за допомогою гелію | Стандарт перед відправкою |
| Термін виготовлення (прототип) | 8–14 днів |
| Час виготовлення (партія) | 14–24 дні |
Як це працює
Від креслення до частини, готової до вакууму
Завантажте своє креслення — огляд DFM, обробка, обробка поверхні, випробування на витік, та відправка в узгоджений термін.
01
Завантажити малюнок
STEP, DXF, PDF. Включіть стандарти фланців, клас витоку та вимоги до поверхні.
02
DFM та цитата
Безкоштовний огляд DFM — товщина стінки, підготовка до зварювання, доцільність фланця. Пропозиція протягом 48 годин.
03
Обробка, обробка та тестування
CNC обробка, обробка поверхні (EP / пасивація), інспекція CMM, випробування на витік гелію.
04
Доставляємо по всьому світу
Звіт про інспекцію + сертифікат випробування на витік в комплекті. DHL / FedEx / морський вантаж.
Відгуки
Довіряють інженери вакуумних систем
★★★★★
"Плоскість фланця стінки камери була відмінною — складання з нашим ущільненням з ножовим краєм відбулося ідеально. Випробування на витік показало 4×10⁻¹⁰ мбар·л/с, що значно нижче специфікації."
MK
Мартін К.
Інженер вакуумних систем · Україна
★★★★★
"Геометрія підготовки зварювання була точною відповідно до ISO 9692 — наш зварник зміг виготовити вакуумно-щільне з'єднання з першої спроби. Пакет документації завершено та відстежується."
SL
Софі Л.
Інженер процесного обладнання · Україна
★★★★★
"HXC з самого початку зрозуміла вимоги до UHV для нашої дослідницької камери. Внутрішні поверхні EP, сертифікат витоку гелію, упаковка для чистих приміщень — все вирішено."
JT
Джеймс Т.
Дослідницький інженер · Україна
Поширені запитання
Часто задавані питання про обробку частин вакуумної камери
Питання з інженерії та закупівлі, на які відповідає наша команда вакуумних систем.
Товщина стінки залежить від діаметра камери та матеріалу. Типові значення для нержавіючої сталі: DN100: мінімум 6 мм; DN160: 8 мм; DN250: 10 мм; DN400: 12–15 мм. Для алюмінію товщина стінки повинна бути збільшена на ~30% відносно сталі для того ж діаметра, щоб зберегти ту ж структурну маржу. Перегляд DFM від HXC підтверджує товщину стінки щодо різниці атмосферного тиску та міцності матеріалу.
HXC обробляє всі стандартні вакуумні фланцеві стандарти в компонентах камери: CF (ConFlat) — з ріжучим краєм, для UHV; KF (Klein Flange) — з O-кільцем, для середнього вакууму; ISO-K / ISO-F — великого діаметра; та VCR — газопроводу. Також підтримуються нестандартні інтерфейси фланців на замовлення та фланці, специфічні для обладнання. Усі розміри фланців перевірені CMM.
Частина камери зібрана з пустих фланців (з використанням відповідного типу ущільнення для кожного стандарту фланця), під тиском з гелію зовні, та зонда мас-спектрометра на вакуумній стороні виявляє будь-який гелій, що проходить. Чутливість: 1×10⁻¹⁰ мбар·л/с. Надано сертифікат випробування з посиланням на калібрування, дату та виміряну швидкість витоку.
Так — HXC регулярно обробляє геометрію підготовки до зварювання (V-канавка, U-канавка, J-канавка) у компонентах камери відповідно до AWS або ISO 9692. Зварник замовника потім з'єднує частину з її парним компонентом. Ми також координуємо з партнерами по зварюванню TIG для повних підвузлів камери, коли це необхідно. Доступне тестування витоку гелію після зварювання з'єднання.
Для UHV напівпровідникових та дослідницьких камер: електрополіровані внутрішні поверхні (Ra 0.4 мкм) — зменшують швидкість вивітрювання в 5–10 разів у порівнянні з обробленими лише. Для HV промислових камер: пасивований SUS316L є достатнім. Для алюмінієвих камер: тверде анодування на внутрішній поверхні підвищує твердість і зменшує поглинання вологи. Усі оброблення сумісні з чистими приміщеннями.
Максимальний об'єм частини: 800 × 800 × 600 мм в одній установці. Великі компоненти обробляються в секціях і зварюються. Для дуже великих корпусів камер (DN1000+), HXC співпрацює з фахівцями з прокатки та зварювання; HXC обробляє прецизійні фланцеві поверхні та порти після прокатки корпусу.
SUS316L: стандарт для HV та UHV — низьке вивітрювання, придатний для випікання до 300°C, електрополірований, зварювальний. SUS304: промислові вакуумні застосування, нижча вартість. Al 6061 з твердим анодуванням: легкі камери (оптичні, мобільне обладнання), межа випікання 150°C. Ti Грейд 5: немагнітні та критичні до корозії застосування. Надані сертифікати матеріалу.
Прототип: 8–14 днів. Малий тираж (5–20 шт.): 14–24 дні. Виробництво: 18–30 днів. Камери УВЧ з ЕП та повною документацією: додати 3–4 дні.
Отримати кошик
Надішліть свій малюнок.
Отримати пропозицію.
Кожне звернення включає перевірку DFM — перевірку толерантності, підтвердження матеріалу та підхід до процесу, підтверджені до початку виробництва. Мінімальний обсяг замовлення 1 шт.
24hr
Відповідь на пропозицію
Мінімальне замовлення 1
Прототипи OK
ISO
9001:2015
📐
Огляд DFM кожного запиту
Допустимість допусків, стратегія фіксації та підтвердження матеріалу. Конкретні, actionable відгуки — не загальна відмова.
🎯
Перша серія випробувань — стандарт
звіт FAI на кожен новий запуск. Сертифікати на матеріал та обробку поверхні включені з кожною поставкою.
🔄
Той самий процес: від прототипу до виробництва
План процесу з вашого прототипу застосовується до виробничих партій. Ніякої повторної атестації при масштабуванні.
⚙
КНЦ з 3 / 4 / 5 осей + токарна обробка
Складні структурні деталі, валу, корпуси та компоненти трансмісії. Метали та інженерні пластмаси.
ISO 9001:2015
Фрезерування 3/4/5 осей
ЧПУ точіння
КІМП (CMM) інспекція
Глобальна доставка