Категория продукта
HFM — 001 до 020
Прецизионная жидкость
& распредeлитель
Компоненты
20 продуктовых линеек — гидравлические и пневматические распределители, вакуумные камеры, охлаждающие пластины, прецизионные корпуса клапанов, блоки насадок, корпуса насосов, микроканальные пластины и высокоцелостные соединители герметичности. Где внутренняя геометрия, отделка поверхности и герметичность определяют деталь.
Плоскостность поверхности ±0.003 мм по уплотнительным поверхностям и сопрягаемым поверхностям
Испытание утечки до 300 бар гидравлический, 10⁻⁸ мбар·л/с гелий для вакуума
Ra 0.4 мкм по поверхностям цилиндра и шпуля для корпусов клапанов и насосов
Индивидуальная раскладка портов из DXF или 3D-модели — только нестандартная продукция
Плоскостность уплотняющей поверхности
±0.003 мм
Уровень утечки по количеству водорода
10⁻⁸ мбар·л/с
20
Линии продукции
±0,003mm
Плоскостность уплотнения
300балка
Гидравлические испытания
Ра 0.4μm
Фреза торцевая
24hr
Срок изготовления
Гидравлические колодки ✦
Пневматические коллекторы ✦
Манипуляторы вакуумные ✦
Блоки распределения жидкости ✦
П plates охлаждения ✦
ЖИДКИЕ ХОЛОДНЫЕ ПЛИТЫ ✦
Прецизионные корпусa клапанов ✦
Штоки клапанов и седла ✦
Части пропорционального клапана ✦
Блоки и седла распылителей ✦
Детали корпуса насоса ✦
Микроканальные пластины ✦
Плиты распределения газов для полупроводников ✦
Части вакуумной камеры ✦
Соединители с высокой степенью герметичности ✦
Гидравлические колодки ✦
Пневматические коллекторы ✦
Манипуляторы вакуумные ✦
Блоки распределения жидкости ✦
П plates охлаждения ✦
ЖИДКИЕ ХОЛОДНЫЕ ПЛИТЫ ✦
Прецизионные корпусa клапанов ✦
Штоки клапанов и седла ✦
Части пропорционального клапана ✦
Блоки и седла распылителей ✦
Детали корпуса насоса ✦
Микроканальные пластины ✦
Плиты распределения газов для полупроводников ✦
Части вакуумной камеры ✦
Соединители с высокой степенью герметичности ✦
Полный ассортимент продукции
20 высокоточные жидкости и коллекторы
Линии продукции
Нажмите любую категорию, чтобы развернуть · Все детали обработаны по чертежу · MOQ 1 штука · Пробой на утечку включён
Коллекторные блоки
316SS · Al6061 · сталь · PEEK
+
Гидравлические, пневматические, вакуумные и распределительные модули (манипулы) из цельного заготовки — замена трубопроводных и фитинговых assemblies одним монолитным бесутечным блоком. Внутренние поперечные каналы, поверхности уплотнения портов и полости клапанных картриджей обработаны в одной детали. Уплотнительное уплотнение торца уплотнителя (ORFS), SAE, BSP, NPT и метрические стандарты портов по запросу.
МУФТЫ/ МОНТАЖНО-ХРАНИЛИЩЕЕ — HFM-001 — РАЗДЕЛЫ
Гидравлические колодки
Пользовательские гидравлические модули из цельной стали или нержавеющей заготовки — замена трубопроводной арматуры и фитингов одним монолитным блоком. Пробитые внутренние каналы, полости клапанных картриджей и поверхности уплотнения торца портов. Рабочее давление до 420 бар по умолчанию; по запросу 700 бар. Гидравлический тест на давление 1,5× рабочего давления с документацией. Доступен в стандартном алюминиевом 6061 для низкого давления или 316SS и 4140 стали для высоконапорной эксплуатации.
4140 · 316SS · Al6061 · ковкий чугун
Запросить предложение
HFM — 002
Пневматические коллекторы
До 16 бар
Втолщинные порты
Al6061 · SS · POM · Нейлон
HFM — 003
Манипуляторы вакуумные
Испытана на герметичность с помощью гелия
flange KF / ISO-K
316SS · Al6061 · OFHC медь
HFM — 004
Блоки распределения жидкости
Многоразъемное
Настройка паттерна поперечных отверстий
SS316L · Al · PEEK · Delrin
Тепловой менеджмент — охлаждающие пластины и холодные пластины
Al6061 · Al6063 · Cu · SS
+
Пластины тепловых каналов и жидкокристаллические холодные пластины для теплового менеджмента электроники, лазерных систем, модулей питания и охлаждения АКБ электромобилей. Внутренние охлаждающие каналы обработаны или глубоко просверлены, затем запаяны фьюзингом, сваркой трением‑зажимом или крышкой, прикрученной к основанию. Вылет плоскости крепления ±0.005 мм для обеспечения плотного теплового контакта с теплогенерирующим элементом. Пробоная проверка на герметичность при давлении 1,5× рабочее давление перед доставкой.
THERMAL / HFM-005 — ВЫДЕЛЕНО
ЖИДКИЕ ХОЛОДНЫЕ ПЛИТЫ
Высокопроизводительные жидкостные холодные пластины, изготовленные на станках из Al6061 или Al6063 с внутренними змеевидными или параллельными охлаждающими каналами. Крышка запаяна сваркой трением‑зажимом или вакуумной пайкой для постоянной герметичной сборки. Плоскость крепления отшлифована до плоскости ±0,005 мм для минимального термического сопротивления контакта. Индивидуальная раскладка каналов по данным теплового моделирования. Используются для модулей IGBT, полос лазерного диода, инверторов EV и систем охлаждения GPU.
Al6061 · Al6063 · Cu · Al-SiC
Запросить предложение
HFM — 006
П plates охлаждения
Глубокопро drillированные каналы
Ball-plug запечатан
Al6061 · Сталь · SS · Медное
Корпуса клапанов и компоненты клапанов
316SS · Латунь · Бронза · PEEK · 4140
+
Прецизионные корпусa клапанов, проточные отверстия шпул, седла клапанов и компонентов пропорциональных клапанов, где круглостью отверстия, цилиндричностью и качеством поверхности прямо определяют утечку клапана и гистерезис шпули. Шпуловые отверстия держатся в допуске H6 с круглостью ≤0.003 мм. У углы конусов седла и ширины контактной поверхности седла обтачиваются по чертежу. Все детали клапана обезжирены, сняты заусенцы и осмотрены на загрязнения перед поставкой.
VALVE / HFM-007 — ИЗВЕСТЕН
Прецизионные корпусa клапанов
Индивидуальные корпуса клапанов для направленного управления, сброса давления, обратных и регуляторных клапанов. Шпуловое отверстие обработано под допуск H6/H7; круглость и цилиндричность ≤0.003 мм. Внутренние продольные сквозные отверстия сняты заусенцами до класса чистоты ISO NAS 1638 или ISO 4406 по запросу. Резьбы портов и уплотнительные поверхности на торце выполнены в одной настройке для идеального выравнивания. Рабочее давление до 350 бар стандарт.
4140 · SS316 · Дутильный чугун · Латунь
Запросить предложение
HFM — 008
Клапанные штанги
допуск по Ø h5
Вариант сHard-chrome
4140 · 52100 · SS440C
HFM — 009
Клапанные седла
Лощеная торцевая поверхность уплотнения
Угловой конус обработан
440C · Stellite · Керамика · SS
HFM — 010
Части пропорционального клапана
Подмикронный проход
Упаковано в чистую комнату
SS303 · 4340 · легированная сталь
насадки, управление потоком и детали насосов
SS · латунь · бронза · PEEK · керамика
+
Блоки насадок, прецизионные отверстия управления потоком, тела седла форсунки и компоненты корпуса насоса, где диаметр отверстия, геометрия седла и внутренняя поверхность проходов определяют характеристики потока. Диаметр отверстия от 0.1 мм и выше. Угол заточки седла форсунки с допуском ±0.02°. Диаметры отверстий корпуса насоса для шестеренных, клиновидных и поршневых насосов обрабатываются до H6/H7 с плоскостью на лицевых сторонах портов.
ФОРСУЮЩАЯ ФОРСУЮЩАЯ / HFM-011 — ИЗВЕСТНАЯ
Блоки насадок и детали управления потоком
Многофорочные блоки насадок и прецизионные вставки управления потоком для распылительных систем, впрыска топлива, промышленной очистки и поставки газов для полупроводниковых процессов. Диаметры отверстий от 0.10 мм до 10 мм с допуском ±0.005 мм. Внутренняя отделка поверхностей проходов Ra ≤0.4 мкм точным сверлением и потерищением. Нержавеющий стандарт пассивирован, Hastelloy, PEEK и титан для агрессивных газов процессов и химикатов.
SS316L · Хастеллой · PEEK · Ti
Запросить предложение
HFM — 012
Прецизионные части управления расходом
Калиброванная дроссельная отверстия
Cv сертифицирован
SS · латунь · PEEK · керамика
HFM — 013
Корпусы седла форсунки
Уклон конуса ±0.02°
Полированное седло
SS303 · латунь · бронза · керамика
HFM — 014
Детали корпуса насоса
Диапазон диаметров H6/H7
Плоскость лица порта
Al · сталь · SS · серый чугун
Полупроводниковая, вакуумная и части уплотнения с высокой целостностью
Al6061 · SS316L · OFHC Cu · PEEK · PFA
+
Микроканальные пластины, пластины распределения газов в процессе полупроводников, части ультра-высокого вакуума, пластины крышки полостей, элементы уплотняющей рабочей поверхности и многоразъемные соединители высокой целостности для производства полупроводников, оборудования чистых помещений и исследовательских систем в области УВЧ. Электрополированная внутренняя поверхность, испытание на утечки гелием, упакованы в условиях чистой комнаты. Все контакты с жидкими средами совместимы с агрессивными газами процессов (HCl, F₂, Cl₂, NF₃); доступны в электрополированной 316L или алюминии с(PFA) внутризазмеченной подкладкой.
СЕМПРОНИКИ, ВАКУУМ / HFM-015 — РЕКОМЕНДУЕТСЯ
Плиты распределения газов для полупроводников
Прецизионные пластины распределения газов (пластины-души) для камер CVD, ALD и травления — равномерная область типично сверленных микроотверстий, распределяющих газ процесса по пластине-вафле. Однородность диаметра отверстия ±0,005 мм по всей пластине. Внутренняя поверхность 316L электрополирована, Ra ≤0,25 мкм. Испытание на утечки гелием при 10⁻⁹ мбар·л/с. Совместимо с газами процесса F₂, Cl₂, NF₃, HCl и другими агрессивными газами. Упаковано в чистой комнате после финального осмотра.
316L EP · Al6061 · Хастеллой · Inconel
Запросить предложение
HFM — 016
Микроканальные пластины
Канал от 0,3 мм
Опция микромеханической EDM
Al · SS316L · PEEK · Ti
HFM — 017
Части вакуумной камеры
Совместимо с UHV
фланцы Conflat / KF
316L · Al6061 · OFHC Медная
HFM — 018
Платы крышки камеры
±0,003 мм плоскостность
канавка под уплотнение O‑ring
Al · SS · PEEK · Ti
HFM — 019
Части уплотняющей поверхности
Шлифованный Ra ≤0.1 μm
Плоскостность сертифицирована
SS · Invar · Керамика · Сталь
HFM — 020
Соединители с многопортовым уплотнением высокого целостности
До 24 портов
Утверждено герметически Испытано на утечку
SS316L · Al · PEEK · Хастеллой
Производственная мощность
Что делает Манометр и
полость обработка отличной
⚙
Глубокие отверстия и пересечения каналов по поперечной галерее
Внутренние галереи в блоках распределителя требуют глубокого сверления с отношение длины к диаметру до 30:1, точно входя в пересекающиеся галереи на глубине до 0,1 мм. Гуговое сверление для длинных прямых отверстий; BTA сверление для больших диаметров. Герметизация шаровым пробкой и доводка пересекающих отверстий выполняются перед любым испытанием на прочность.
📐
Плоскостность поверхности уплотнения и поверхность
Уплотнительная поверхность уплотнения O-пробки и поверхности уплотнения металла по металлу требуют плоскостности ±0,003–0,005 мм и шерохватка поверхности Ra ≤0,8 мкм. Поверхности лиц уплотнений изготавливаются фрезерованием плоскости, затем шлифованием или доводкой под спецификацию. Плоскостность контролируется координатно-измерительной машиной, а шероховатость поверхности — контактным профилемером на каждой поверхности уплотнения перед поставкой.
🔬
Прецизионная доводка полостей для клапанов и шпиндельных полостей
Полости шпинделя для направляющего управления и пропорциональных клапанов удерживаются по допуску H6 (обычно ±0.008 мм на диаметре 20 мм) при круглости ≤0.003 мм и цилиндричности ≤0.005 мм. Достигается последовательностью развёртывания, прецизионной сверловки и прецизионной шлифовки. Шлифование удаляет лобовую шероховатость и следы инструментов, оставляя перекрестную насечку, которая сохраняет смазку шпинделя.
💨
Проверка на утечки давлением и гелием — документировано
Гидравлические распределители подвергаются испытанию давлением до 1,5× рабочее давление с документальным отчётом об испытании. Ультразвуковой и полупроводниковый компоненты тестируются на утечки гелиевым масс-спектрометром до уровня 10⁻⁸ мбар·л/с по стандарту (10⁻⁹ по запросу). Каждый элемент имеет индивидуальный серийный номер и результаты тестов заносятся в базу. Никакая деталь не отправляется без сертификата прохождения теста на утечку.
🧪
Электрополировка и пассивация для совместимости с жидкостями
Внутренние поверхности полупроводниковых компонентов из SS316L электропроэлектрополированы до Ra ≤0,25 мкм для совместимости с газами процессов и снижения количества частиц. Пассивация по ASTM A967 или AMS 2700 для гидравлических и химических деталей процессов. Алюминиевые детали анодированы (Тип II) или твердо-анодированы (Тип III) для устойчивости к коррозии в охлаждении и пневматических применения.
🏭
Чистота: промывка и упаковка в чистой комнате
Все внутренние протоки гидравлических распределителей промыты до чистоты ISO 4406:2021 Class 17/15/12 или NAS 1638 Class 6 по запросу. Полупроводниковые и вакуумные компоненты очищаются в чистой комнате и двойную упаковку под азотной инерией. Сертификат количества частиц доступен для деталей газовой части для производства полупроводников.
Спецификации точности
Допуски и уплотнительные характеристики — Все линейки продукции
📐
Достижимые допуска по типу изделия
Плоскостность уплотняющей поверхности
±0.003 мм
Диаметр отверстия шпули H6
±0,008 мм
Круглость отверстия
≤0,003 мм
Холодная пластина крепления
±0.005 мм
Диаметр отверстия
±0.005 мм
Ra поверхности обработанной вставки
Ra 0.4 мкм
Ra поверхности уплотнения
Ra 0.8 мкм
Ra поверхности EP
Ra 0,25 мкм
💨
Спецификации по испытаниям на давление и утечки
Гидравлические модули
420 балка
Стандарт рабочнего давления; доступен 700 бар. Протестировано при 1,5×WP с сертификатом.
Пневматические модуля
16 балка
Стандартное пневматическое рабочее давление. Включен тест на утечку воздуха при 2×WP.
Вакуумные детали
10⁻⁸ мбар·л/с
Утечки по газу с помощью масс-спектрометра по гелию. Доступны 10⁻⁹ для применений УВЧ.
Газ для полупроводников
10⁻⁹ мбар·л/с
Уровень утечки УВП для пластин рабочих газов процесса. Проверено на утечки He, упаковано в чистом помещении.
Охлаждение холодной пластины
10 балка
Рабочее давление стандартной системы охлаждения. Гидравлический испытательный тест на утечку при 15 бар.
Гидравлическая чистота
NAS 6
NAS 1638 Класс 6 по запросу. Стандарт ISO 4406:2021 Класс 17/15/12.
Поверхностные обработки
Поверхностные покрытия и обработки для Совместимость с жидкостью
Внутренние и внешние обработки поверхностей, соответствующие рабочей среде, давлению и химической совместимости с жидкостью.
SFT / 01
✦
Электрополировка (EP)
Электролитическое удаление материалов с поверхностей нержавеющей стали 316L. Ра улёт от механической обработки 0,8 мкм до EP ≤0,25 мкм. Удаление встроенных частиц и микрорелефа. Требуется для поверхностей газов сектора полупроводникового процесса.
ПолупроводникиУХВSS316L
SFT / 02
🛡
Пассивация (ASTM A967)
Нитритная или лимонная кислота пассивация нержавеющей стали. Удаление свободного железа с обрабатываемой поверхности; формирует стабильный пассивирующий слой Cr₂O₃. Требуется для гидравлических деталей из пищевой, фармацевтической и коррозионно-агрессивной среды.
Пища / ФармаХимияSS всех марок
SFT / 03
🔩
Хард-анодирование (Тип III)
Толстый слой окиси (25–75 μм) на алюминии. Твердость 400–600 HV. Запечатывание каналов и поверхностей пневматического блока через анодирование, пропитанное PTFE, для коррозионной стойкости и износостойкости.
ПневматическийОхлаждающие пластиныСплавы алюминия
SFT / 04
🌊
Зюзка (крестовая насечка)
Точная доводка отверстий для штоков клапанов после рассверливания. Создает рисунок крестовой насечки для удержания масла. Корректирует круглость и завал от отверстий. Финальный допуск отверстия H6 с Ra 0.2–0.4 μм.
Клапанные штангиОтверстия насосаСталь / нержавеющая сталь
SFT / 05
💎
Полировка (уплотнительные поверхности)
Плоская полировка уплотнительных поверхностей металл-металл до Ra ≤0.1 μм и плоскостности ≤0.001 мм (1 световая полоса). Используется для уплотнений лезвиевого типа, уплотнений металлическими прокладками и прецизионных уплотнительных поверхностей инструментов, требующих нулевого пропуска.
УВХ фланцыМеталлические уплотненияSS / Invar
SFT / 06
🧪
Никелевое PTFE покрытие
Электролессная никелированная ко-депозиция с частицами PTFE для низкотрения, коррозионностойких внутренних поверхностей. Используется в корпусах алюминиевых клапанов, кожухах насосов и распределительных блоках для жидкостей, где голый алюминий будет корродировать.
Алюминиевые корпуса клапановКорпусы насосовСплавы алюминия
SFT / 07
⚗
PVDF / PFA облицовка
Фторполимерное облицовочное покрытие алюминиевых распределительных блоков, используемое с очень агрессивными газами процесса (HF, HCl, сильные кислоты). Прецизионный алюминиевый блок облицован вставкой из PFA или PVDF — сочетает легкость с химической стойкостью.
ПолупроводникиКоррозионно-агрессивный газAl + PFA
Обработанные отрасли
Прецизионные детали для жидкостей во всех системах Каждая жидкостная система
💡
Полупроводники
Газовые пластины · Вакуумные камеры
⚙
Гидравлика
Манипуляторы · корпусные детали клапанов
🏥
Медицинский
SS-манипуляторы · прецизионные клапаны
🔋
Электронное охлаждение
холодные пластины · пластины-каналы
⚗
Химический процесс
Hastelloy · детали из PEEK
✈
Космос
Ti · SS-манипуляторы
Наше преимущество
Зачем инженерам по гидросистемам Указать наши детали манипулятора
Утечка
Каждая часть протестирована на утечки — сертификат включён
Никакой гидравлический распределительный коллектор, вакуумный компонент или жидкостной блок не отправляются без документированного теста на утечку. Гидравлическое испытание давлением 1,5× рабочее давление; масс-спектрометр по утечкам гелия для вакуумных и полупроводниковых деталей. Сертификат испытания отправляется вместе с деталью — доступен не по запросу, включён как стандарт.
Глубокий
Точность глубинного сверления и перекрёстной галереи
Длинные внутренние галереи с отношением L/D до 30:1 и пересекающиеся перекрёстные галереи — две самые сложные особенности в обработке распределителей — это наш стандартный потенциал. Гуначное сверление, BTA и скоординированная многоквадратная юстировка пересечений, чтобы ваш блочный распределитель работал точно так, как задумано.
EP
Электрополированная поверхности полупроводникового класса
Газораспределительные пластины и вакуумные компоненты электрополированы до Ra ≤0,25 μm и тестированы на герметичность гелием с утечкой 10⁻⁹ мбар·л/с внутри компании. Упаковка в чистой комнате под азотной вытяжкой. Полная цепочка поставок процесса полупроводников в одном поставщике.
Диаметр отверстия
Гнёзда шпуля H6 с галтельной насечкой cross-hatch
Поры шпуля корпуса клапана выдерживаются с допуском H6, круглостью ≤0,003 мм и отделкой шлифовкой cross-hatch для сохранения масла. Деталь, которая отделяет рабочий направляющий клапан от того, который протекает через шпуль — мы поставляем её как стандарт в каждом заказе корпуса клапана.