Категорія продукції
1×10⁻⁹ · EP Ra 0.4µm · O‑круг ±0.02 · Жароміцний
VMF / 001 — 008
ЧПУ оброблено
Маніфольд вакууму
Прецизійно оброблені вакуумні маніфоли — ультрачисті гальванопокриті внутрішні поверхні, вимоги до пазу ущільнювального O‑кольца відповідно до специфікації виробника, витікання <1×10⁻⁹ мбар·l/с. SUS316L або Al 6061 для напівпровідникових, лабораторних та дослідницьких вакуум-систем.
<10⁻⁹
Утечка гелію
Ra 0.4µm
EP Внутрішній
KF/CF/VCR
Стандарти
ЧЕРТЕЖ-ВИРОБ · VMF-000 6‑ПОРТИЙ МАНІФОЛД · SUS316L EP
ISO 9001 · ЖАРОМІЦНИЙ 300°C
Електропокритий EP
6 KF/CF портів
Півсферичні · Дослідницькі · UHV · Оптичні · Медичні · Кріо
Випадки використання
SUS316L EP · 304 · Al 6061 · Al 6082
Матеріали
48hr Котирування · 7-денний прототип
Послуга
<1×10⁻⁹
Хід витоку
мбар·сіль сир helium тест
мбар·сіль сир helium тест
Ra 0.4µм
Внутрішня поверхня
електрополіровка
електрополіровка
KF/CF/VCR
Стандарти фланців
підтримано
підтримано
7 днів
Найшвидша доставка
макети замовлення
макети замовлення
Виклики обробки
Обробка вакуумного маніфолду
Маніфолд вакууму повинен досягати витоків, невидимих за допомогою стандартних випробувань тиском — вимагаючи електрополіровані поверхні, точні канавки під O‑кільця та виробничий процес, сумісний з чистою кімнатою.
💨
Дуже низький рівень протікання
Вакуумні маніфолди для напівпровідникових або наукових застосувань вимагають витоків <1×10⁻⁹ мбар·л/с. Це потребує відсутніх дефектів на поверхнях ущільнення, точної геометрії канавок під O‑кільця, та випробуванням на витік гелію — не лише пневматичним випробуванням тиску.
🧼
Чистота поверхні та викиди газів
Внутрішні поверхні повинні бути позбавлені від шліфувальних залишків, масел та мікрошероховатості, які виділяють гази у високовакуумному режимі. HXC електрополірує внутрішні поверхні та ультразвуково очищає в IPA перед упакуванням у чисту кімнату.
⊕
Точність інтерфейсу фланця та портів
Інтерфейсні розміри KF, CF та VCR стандартизовані — будь-яке відхилення спричиняє неправильне вирівнювання обличчя фланця та протікання на ущільненні з лезом-ножа. HXC обробляє всі поверхні фланців вакууму відповідно до стандартів ISO/PNEUROP та перевіряє за допомогою CMM.
Наша Робота
Замовити Подібну Деталь →
Вакуумні маніфолди, які ми виробляємо
Маніфолди з високим вакуумом для напівпровідникових, наукових та лабораторних систем — протестовано на витік гелію.
Можливості та допуски
Що Ми Можемо Доставити
Типові характеристики для цього типу продукту — підтверджуйте точні вимоги за запитом.
| Стандарт витоку | <1×10⁻⁹ мбар·л/с |
| Внутрішній Ra | 0,4 мкм (електрополіровка) |
| Фланцеві стандарти | KF (ISO), CF (ConFlat), VCR, ISO-K |
| упірка різьблення О-ринга | ±0.02 мм глибина/ширина |
| Очищення | IPA ультразвук + набір чистої кімнати |
| тест на витік повітря за допомогою гелію | Стандарт на всіх вакуумних маніфолдах |
| Матеріали | SUS316L, Al 6061, Al 6082 |
| Електрополіровка | Внутрішні поверхні за стандартом |
| Сертифікація | Сертифікат тесту на витік повітря за допомогою гелію |
| Термін виготовлення (прототип) | 7–10 днів |
| Час виготовлення (партія) | 12–18 днів |
| Упаковка | Bag cleanroom, подвійне запечатування |
Як це працює
Від креслення до готового виробу
Завантажте ваш креслення — перевірка DFM, токарна обробка, випробування тиском/витоку за потреби та відвантаження в узгоджений термін.
01
Завантажити малюнок
STEP, DXF, PDF. Включити специфікацію каналу, стандарти різьби та вимоги до герметизації.
02
DFM та цитата
Безкоштовна перевірка DFM — доступ до каналу, можливість зняття заусенців, стратегія поверхні герметизації. Комерційна пропозиція через 48 год.
03
Машина та випробування
Обробка на ЧПУ, зняття заусенців, очищення, інспекція CMM, випробування тиском/витоком за вказівками.
04
Доставляємо по всьому світу
Звіт інспекції + запис тестів додаються. DHL / FedEx / морські перевезення.
Відгуки
Довіра інженерів по всьому світу
★★★★★
"Глибокі перехресні канали були відшліфовані до ідеалу — жодних задирів при входящому контролі. Тест на витоку пройшов з першого разу. Доставка точно за графіком."
MK
Мартін К.
Інженер гідравічних систем · Німеччина
★★★★★
"Ми постачаємо прецизійні корпуси клапанів та колекторні блоки з HXC. Коаксіальність просвердлювання стабільно в межах 0,005 мм, сорбована поверхня ущільнення Ra перевіряється у кожній партії."
SL
Софі Л.
Менеджер із закупівель · Франція
★★★★★
"HXC миттєво зрозумів вимоги до чистоти наших розподільчих пластин газу для напівпровідників. Пакет документації був повним та прослідковуваним."
JT
Джеймс Т.
Процесний інженер
Поширені запитання
Вичерпні відповіді на часто задавані запитання щодо обробки вакуумного маніфолдного вузла
Питання з інженерії та постачання, відповідають нашою командою.
Стандарт: <1×10⁻⁹ мбар·л/с (випробування на витік гелію). Для УВН застосувань: <1×10⁻¹⁰ мбар·л/с з додатковою обробкою поверхні та днищами-лезами CF з різким краєм. Кожна вакуумна магуфолд HXC, що виробляється, проходить випробування на витік гелію і є... сертифікат тесту з датою, посиланням на калібрування приладу та виміряний витік leak rate надається.
HXC обладнує всі стандартні вакуумні інтерфейсні фланці: KF (Klein Flange, ISO 2861) — Ø10 до Ø160 мм; CF (ConFlat, ANSI/BSR) — герметизація за допомогою клиноподібного краю для UHV; ISO-K / ISO-F — великі діаметри вакууму; VCR — з'єднувальні елементи для труб з високою чистотою газу та вакууму. Всі розміри посадкових поверхонь фланців обробляються за стандартами ISO/PNEUROP та перевіряються координатно-вимірювальним апаратом.
HXC електропокриває всі внутрішні поверхні вакуумних маніфолдів: Ra 0.4 мкм після електропокриття (порівняно з Ra 0.8–1.6 мкм після обробки). Електропокриття усуває нерівності поверхні та шар, позбавлений хрому, зменшуючи швидкість відпливу в 5–10 разів порівняно з поверхнями лише після обробки. Необхідно для систем, де базовий тиск нижче 10⁻⁷ мбар.
(1) Розгальмування та видалення залишків обробки; (2) Ультразвукова очистка в ізопропанолі; (3) Оксигенне висушування азотом; (4) Візуальний огляд під ультрафіолетовим світлом на наявність залишкового забруднення; (5) Двоєклеєве пакування в чистій кімнаті у мішку ISO Class 5. Звіт про кількість частинок доступний за запитом для маніфолдів класу напівпровідників.
Розміри канавки O-кільця для фланців CF та KF відповідають стандарту AS568 / BS1806 геометрія канавки. Критичні допуски: ширина канавки ±0.02 мм; глибина канавки ±0.02 мм; положення центральної лінії канавки ±0.05 мм від поверхні фланця. Ці допуски забезпечують стискування O-кільця до потрібного відсотка для гідроізолюючого ущільнення. Всі розміри канавок перевірені CMM.
Так — для застосувань УВП (базовий тиск <10⁻⁹ мбар): (1) Cf ConFlat фланці з ущільненням гострого різу (мідний або покритий золотом ущільнювач); (2) інтер'єр електрополіруваний Ra 0.4 мкм; (3) матеріали, сумісні з ВУП (SUS316L, немагнітні марки за запитом); (4) можливий випікання — оброблено з 316L без зачеплених об’ємів. Доступний тест на витік гелію менше 1×10⁻¹⁰ мбар·л/с.
SUS316L: стандарт для високого та надвисокого вакууму — низьке викидання, електрополірування, немагнітність (стандартна марка). Al 6061/6082: для систем з нижчим вакуумом (< 10⁻⁶ мбар), де важлива вага — фланці KF, твердо анодовані. SUS304: для середнього вакууму та чистих процесних систем. Надаються сертифікати походження матеріалу та відповідність RoHS.
Прототип: 7–10 днів (включає електрополіровку + тест витоку гелію). Невелика партія (5–20 шт): 12–18 днів. Виробництво: 16–24 дні. Маніфолди UHV ConFlat: додати 2–3 дні.
Отримати кошик
Надішліть свій малюнок.
Отримати пропозицію.
Кожне звернення включає перевірку DFM — перевірку толерантності, підтвердження матеріалу та підхід до процесу, підтверджені до початку виробництва. Мінімальний обсяг замовлення 1 шт.
24hr
Відповідь на пропозицію
Мінімальне замовлення 1
Прототипи OK
ISO
9001:2015
📐
Огляд DFM кожного запиту
Допустимість допусків, стратегія фіксації та підтвердження матеріалу. Конкретні, actionable відгуки — не загальна відмова.
🎯
Перша серія випробувань — стандарт
звіт FAI на кожен новий запуск. Сертифікати на матеріал та обробку поверхні включені з кожною поставкою.
🔄
Той самий процес: від прототипу до виробництва
План процесу з вашого прототипу застосовується до виробничих партій. Ніякої повторної атестації при масштабуванні.
⚙
КНЦ з 3 / 4 / 5 осей + токарна обробка
Складні структурні деталі, валу, корпуси та компоненти трансмісії. Метали та інженерні пластмаси.
ISO 9001:2015
Фрезерування 3/4/5 осей
ЧПУ точіння
КІМП (CMM) інспекція
Глобальна доставка