info@hxcnc.com Shenzhen, Китай Відповідь протягом 24 годин
ISO 9001 : 2015 Отримати миттєве цитування
Отримати пропозицію
Отримати кошик
Категорія продукції
<1×10⁻⁹ · EP Ra 0.4µm · ±0.005mm Отвір · ISO 5
SGP / 001 — 008

Ультра-чистий CNC
Пластини розподілу газу для напівпровідників

Ультра-чисті CNC оброблені пластини для розподілу газу напівпровідників — електрополіровані внутрішні канали Ra 0.4 µm, інтерфейси портів VCR/CF, тест на витік гелію <1×10⁻⁹ mbar·l/s, упаковка чистих приміщень класу ISO 5. Для камер процесів CVD, ALD та травлення.

<10⁻⁹
Утечка гелію
±0.005mm
Отвір Ø
ISO Кл.5
Чистий приміщення
Отримати миттєве цитування → Переглянути Наші роботи
ЧАСТИНА DWG · SGP-000 ГОЛОВКА ДУШУ · SUS316L EP · SEMI F57 ISO 9001 · ISO Cl.5
Шестикутний візерунок отворів
Ø 0.5 ±0.005
Ø 0.5 ±0.005 127× ОТВІР ГОЛОВКА ДУШУ · HEX ВІЗЕРУНОК · EP ВИД ЗВЕРХ 1:1 ПЛЕНУМ · ПОПЕРЕЧНИЙ РОЗРІЗ VCR ВХІД ОДНОРІВНЕВИЙ ВИХІД ОТВІР Ø · СТАТ Ø 0.5 ±0.005 мм ✓ 127/127 ОК ЧИСТИЙ · 6-КРОК 1· Машина + зняття задирок 2· Електрополірування Ra 0.4 3· IPA ультразвук 20хв 4· Продувка N₂ + UV перевірка 5· Витік He <10⁻⁹ 6· ISO клас 5 + сертифікат МАТЕРІАЛ · ХІМІЯ МАТЕРІАЛ ОБРОБКА ПРОЦЕС SUS316L EP ◀ Ra 0.4 CVD · ALD Al 6061 HA Тип III F-етч · NF₃ Ti Грейд 5 EP Cl₂ · O₂ SUS304 EP N₂ · Ar інертний Hastelloy EP HCl · сильний МІСЬКЕ масштабування 1 : 2 · мм
CVD · ALD · Етч · MOCVD · Епітаксію · НД
Випадки використання
SUS316L EP · Al 6061 HA · Ti · Hastelloy
Матеріали
48hr Цитата · 8-денний прототип
Послуга
<1×10⁻⁹
Хід витоку
мбар·сіль сир helium тест
Ra 0.4µм
Внутрішня поверхня
електрополірований SUS316L
ISO Кл.5
Пакет чистої кімнати
напівпровідниковий клас
8 днів
Найшвидша доставка
макети замовлення
Виклики обробки

Виклики пластин для розподілу газу в напівпровідникових процесах

Пластини для розподілу газу для камер напівпровідникових процесів вимагають поєднання стандартів, які не мають аналогів у жодному іншому продукті CNC: ультра-чисті поверхні, генерація часток нижче ppm та герметичні інтерфейси для гелію.

🧪
Ультра-чисті внутрішні поверхні
Газовий процес не повинен бути забруднений залишками обробки або оксидами поверхні. HXC електрополіріє всі газозволожені поверхні до Ra 0.4 мкм, видаляючи шар, збагачений хромом, і створюючи пасивовану, низько-випаровувану поверхню, сумісну з реактивними процесами газів.
💨
Однорідний розподіл газу
Пластини душових головок і розподільні колектори повинні забезпечувати рівний газовий потік через кожен отвір. HXC дотримується діаметра отвору ±0.005 мм по всіх отворах — будь-яка варіація створює нерівномірне осадження плівки або швидкість травлення по всьому ваферу.
🔒
Цілісність витоку гелію
Процесні камери напівпровідників працюють при тисках мТорр. Кожне з'єднання газового шляху повинно бути герметичним для гелію до <1×10⁻⁹ мбар·л/с. HXC тестує кожну пластину за допомогою мас-спектрометрії на витоки гелію перед упаковкою в чистій кімнаті.
Наша Робота

Пластини розподілу газу напівпровідників, які ми виготовили

Справжні проекти з ЧПУ — перевірені та доставлені.

Замовити Подібну Деталь →
Пластина для розподілу газу процесу CVD
Пластина для розподілу прекурсорів ALD
Газова пластина для травлення
Газова душова голівка MOCVD
Пластина для розподілу PECVD
Газова пластина процесу епітаксії
Дослідницький процес пластини камери
Пластини газу напівпровідників — партія
Можливості та допуски

Що Ми Можемо Доставити

Типові характеристики для цього типу продукту — підтверджуйте точні вимоги за запитом.

Швидкість витоку<1×10⁻⁹ мбар·л/с (He)
Внутрішній Ra0,4 мкм (електрополіровка)
Допуск діаметра отвору.±0.005 мм
Стандарти портівVCR, CF, KF, індивідуальне ущільнення
ОчищенняIPA ультразвукове + N₂ сухе + упаковка в чистій кімнаті
Генерація частокISO класу 5 еквівалентний
МатеріалиSUS316L (стандарт), Al 6061, Ti Grade 5
ЕлектрополіровкаСтандарт для всіх газозволожених поверхонь
тест на витік повітря за допомогою гелію100% кожна пластина, сертифікат
УпаковкаISO класу 5 мішок, подвійно запечатаний
Термін виготовлення (прототип)8–12 днів
Час виготовлення (партія)14–20 днів
Як це працює

Від креслення до готового виробу

Завантажте ваш креслення — перевірка DFM, токарна обробка, випробування тиском/витоку за потреби та відвантаження в узгоджений термін.

01
Завантажити малюнок
STEP, DXF, PDF. Включити специфікацію каналу, стандарти різьби та вимоги до герметизації.
02
DFM та цитата
Безкоштовна перевірка DFM — доступ до каналу, можливість зняття заусенців, стратегія поверхні герметизації. Комерційна пропозиція через 48 год.
03
Машина та випробування
Обробка на ЧПУ, зняття заусенців, очищення, інспекція CMM, випробування тиском/витоком за вказівками.
04
Доставляємо по всьому світу
Звіт інспекції + запис тестів додаються. DHL / FedEx / морські перевезення.
Відгуки

Довіра інженерів по всьому світу

★★★★★
"Глибокі перехресні канали були відшліфовані до ідеалу — жодних задирів при входящому контролі. Тест на витоку пройшов з першого разу. Доставка точно за графіком."
MK
Мартін К.
Інженер гідравічних систем · Німеччина
★★★★★
"Ми постачаємо прецизійні корпуси клапанів та колекторні блоки з HXC. Коаксіальність просвердлювання стабільно в межах 0,005 мм, сорбована поверхня ущільнення Ra перевіряється у кожній партії."
SL
Софі Л.
Менеджер із закупівель · Франція
★★★★★
"HXC миттєво зрозумів вимоги до чистоти наших розподільчих пластин газу для напівпровідників. Пакет документації був повним та прослідковуваним."
JT
Джеймс Т.
Процесний інженер
Поширені запитання

Часто задавані питання про обробку пластин розподілу газу напівпровідників

Питання з інженерії та постачання, відповідають нашою командою.

HXC виробляє пластини для розподілу газу напівпровідників для чистоти, еквівалентної SEMI F57: (1) електрополіровані внутрішні поверхні Ra 0.4 мкм; (2) ультразвукове очищення IPA; (3) продувка та сушка N₂; (4) упаковка в чистій кімнаті класу ISO 5; (5) сертифікат кількості часток доступний. Всі операції від очищення до упаковки виконуються в середовищі чистої кімнати.
Всі отвори свердляться в одному налаштуванні за допомогою каліброваного прецизійного свердла з перевіркою діаметра на машині між наборами отворів. Допуск діаметра отвору: ±0.005 мм. Допуск позиції отвору: ±0.01 мм. Для душових головок з >1,000 отворів статистичне вибіркове обстеження 10% отворів зазначено в сертифікаті перевірки.
SUS316L (електрополірований): сумісний з більшістю процесів газів, включаючи O₂, N₂, Ar, He, H₂, NF₃ та розведений HCl. Al 6061 (тверде анодування): для хімії на основі фтору (HF, NF₃, F₂), де анодний шар з оксиду алюмінію (Al₂O₃) забезпечує хімічну стійкість. Ti Грейд 5: для окислювальних і хімій на основі хлору. Рекомендуємо підтвердити сумісність матеріалів з вашою конкретною хімічною технологією перед замовленням.
HXC обробляє всі стандартні інтерфейси газових ліній з ультрависокою чистотою: VCR (уплотнення Swagelok), CF ConFlat з ріжучим краєм, KF (ISO 2861), та індивідуальні фланці з уплотненням. Всі розміри інтерфейсу оброблені відповідно до специфікацій виробника та перевірені за допомогою CMM.
Кожна пластина тестується за допомогою виявлення витоків за допомогою мас-спектрометрії гелію: деталь піддається тиску з гелієм, а зонд для виявлення витоків сканує всі зовнішні поверхні та порти. Виміряна швидкість витоку: <1×10⁻⁹ мбар·л/с стандарт. Сертифікат тестування включає: дату калібрування приладу, дату тестування, виміряну швидкість витоку та підпис оператора. Цей сертифікат надається з кожною пластиною.
Так — пластини для розподілу газу з інтегрованими отворами для обігрівача або канавками для резистивного обігрівача можуть бути оброблені в тому ж налаштуванні, що й канали розподілу газу. Допуск позиції отвору обігрівача: ±0,1 мм від стінки газового каналу (мінімальний зазор). Ми також можемо обробити отвори для вставки датчика температури (термопари).
Прототип: 8–12 днів (включає електрополірування + тест на витік гелію + упаковка в чистій кімнаті). Партія (3–10 шт.): 14–20 днів. Виробництво (10+ шт.): 18–26 днів. Швидкий прототип: 5–7 днів доступно — зв'яжіться з нами.
Стандартний пакет документації: (1) звіт про розміри CMM; (2) сертифікат тесту на витік гелію; (3) сертифікат процесу електрополірування; (4) сертифікат матеріалу (партія SUS316L, номер термічного оброблення); (5) запис упаковки в чистій кімнаті. Усі документи відстежуються до конкретної виробничої партії.
Отримати кошик

Надішліть свій малюнок.
Отримати пропозицію.

Кожне звернення включає перевірку DFM — перевірку толерантності, підтвердження матеріалу та підхід до процесу, підтверджені до початку виробництва. Мінімальний обсяг замовлення 1 шт.

24hr
Відповідь на пропозицію
Мінімальне замовлення 1
Прототипи OK
ISO
9001:2015
📐
Огляд DFM кожного запиту
Допустимість допусків, стратегія фіксації та підтвердження матеріалу. Конкретні, actionable відгуки — не загальна відмова.
🎯
Перша серія випробувань — стандарт
звіт FAI на кожен новий запуск. Сертифікати на матеріал та обробку поверхні включені з кожною поставкою.
🔄
Той самий процес: від прототипу до виробництва
План процесу з вашого прототипу застосовується до виробничих партій. Ніякої повторної атестації при масштабуванні.
⚙
КНЦ з 3 / 4 / 5 осей + токарна обробка
Складні структурні деталі, валу, корпуси та компоненти трансмісії. Метали та інженерні пластмаси.
ISO 9001:2015 Фрезерування 3/4/5 осей ЧПУ точіння КІМП (CMM) інспекція Глобальна доставка