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Usinage CNC de précision
sièges en métal en face à face en céramique et PEEK

Sièges métalliques usinés avec précision par CNC pour composants en céramique et PEEK — jeux d'interface compensés par la CTE, Ra de la surface de contact 0,4 µm, ajustement d'assemblage ±0,01 mm. Protège les pièces en céramique fragile et PEEK contre les contraintes induites par l'assemblage. Pour les pinces électrostatiques, entretoises isolantes et composants d'équipements semi-conducteurs de haute pureté.

ISO 9001:2015 Compatible avec les salles blanches Vérifié par CMM Test d'étanchéité à l'hélium Devis en 48h
Sièges métalliques en céramique usinés CNC de précision et PEEK d'accouplement
Compensé par la CTE
Jeu d'interface
Ra 0,4 µm
Surface de contact
±0,01mm
Ajustement d'assemblage
7 Jours
Livraison la plus rapide
CTE compensé
Calcul de la plage de température du jeu d'interface compensé par la CTE
Ra 0,4 µm
La surface de contact protège la céramique/PEEK
±0,01mm
Ajustement d'assemblage métal-isolant
7 Jours
Livraison la plus rapide
Défis de l'usinage

Défis des sièges métalliques pour céramique et PEEK

Le siège métallique pour un composant en céramique ou PEEK doit protéger le matériau fragile du stress d'assemblage tout en maintenant des relations dimensionnelles précises sur une large plage de températures.

🌡️
Désalignement de la CTE à l'interface
L'aluminium (23 µm/m·K) se dilate 3,5 fois plus que la céramique d'alumine (7 µm/m·K) sur une plage de température de 100°C. Le jeu du siège métallique doit être suffisamment grand pour que l'expansion différentielle ne crée jamais de contrainte de compression sur la céramique — tout en étant suffisamment serré pour un positionnement précis.
🔩
Protection contre le stress d'assemblage
Les matériaux en céramique et PEEK se fissurent sous des charges ponctuelles localisées. La conception du siège métallique doit répartir uniformément les charges d'assemblage — pas de bords de contact tranchants, pas de serrage sur des portées non soutenues. Les designs HXC offrent des surfaces de contact uniformes avec des limites de couple d'assemblage spécifiées.
📐
Positionnement de précision
Malgré l'écart de compensation CTE, le composant en céramique ou PEEK doit être positionné avec précision. Les surfaces d'assise cinématiques — généralement en contact en trois points — assurent un positionnement précis tout en permettant l'expansion CTE dans toutes les directions radiales.
Notre travail

Sièges métalliques en céramique & PEEK que nous avons fabriqués

Composants semi-conducteurs usinés CNC de manière réelle — nettoyés, inspectés et emballés en salle blanche.

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Capacités & Tolérances

Ce que nous pouvons livrer

Spécifications typiques — confirmer les exigences exactes lors de la demande.

Compensation du CTE Calculé en fonction de la plage de température et de la paire de matériaux
Tolérance d'ajustement lors de l'assemblage ±0,01 mm
Surface de contact Ra 0,4 µm
Contact cinématique 3 points ou continu — selon la conception
Plage de température Calculé jusqu'à 350°C (en fonction du matériau)
Couple de montage Spécifié avec chaque composant filetée
Matériaux Al 6061/7075, SUS316L, SUS304, Ti Grade 5
Analyse CTE Incluse dans la conception pour toutes les interfaces céramique/PEEK
Kits assortis Siège métallique + assemblage céramique/PEEK disponible
Délai de fabrication (prototype) 7–10 jours
Délai de fabrication (lot) 12–18 jours
Instructions de montage Fournies avec chaque kit
Comment ça fonctionne

Du dessin à la pièce prête pour la salle blanche

Téléchargez votre dessin — revue DFM, usinage, nettoyage, inspection et emballage en salle blanche dans le délai convenu.

01
Télécharger le dessin
STEP, DXF, PDF. Inclure le matériau, la tolérance et la classe de propreté.
02
DFM & Devis
Revue DFM gratuite — faisabilité de la face de scellement, murs fins, stratégie de dérochage. Devis en 48 h.
03
Machine, Nettoyage & Inspection
Usinage CNC, nettoyage ultrasonique, inspection CMM, emballage en salle blanche.
04
Expédition dans le monde entier
Enregistrement complet des dimensions + nettoyage inclus. DHL / FedEx / fret maritime.
Avis

Fiable auprès des ingénieurs en équipements de semi-conducteurs

★★★★★
"La propreté de surface et l'emballage ont immédiatement répondu à nos exigences d'inspection d'entrée en salle blanche. Le rapport dimensionnel correspond parfaitement à notre vérification CMM."
LW
Li Wei
Ingénieur en équipements de processus · France
★★★★★
"HXC a compris les exigences de scellement sous vide pour nos composants de chambre sans explication longue. Le délai de livraison était exactement comme indiqué."
SL
Sophie L.
Ingénieur en conception d'équipements · France
★★★★★
"Nous avons approvisionné en pièces de manipulation de wafers et en pièces de chambre auprès de HXC depuis deux ans. La propreté, la précision dimensionnelle et la cohérence des lots sont excellentes."
JT
James T.
Responsable des achats senior · France
FAQ

Questions fréquemment posées sur l'usinage des sièges métalliques en céramique & PEEK

Questions d'ingénierie et d'approvisionnement répondues par notre équipe de composants pour semi-conducteurs.

HXC calcule la différence de dilatation thermique entre le siège en métal et le composant en céramique/PEEK sur toute la plage de température de fonctionnement (température ambiante à la température maximale du procédé). Le diamètre du trou du siège est usiné avec un jeu suffisamment grand pour que le métal ne crée jamais de contrainte de compression sur la céramique à la température maximale — tout en étant assez petit pour un positionnement précis. Les données de calcul sont incluses dans le rapport DFM.
Mesures de protection : (1) Surfaces de contact uniformes — pas de bords tranchants ni de reliefs qui créent des concentrations de contrainte ; (2) Limites de couple de serrage spécifiques à l'assemblage gravées ou étiquetées sur les composants métalliques filetés (la céramique et le PEEK se fissurent à des valeurs de couple qui seraient normales pour tous les assemblages métalliques) ; (3) Instructions d'assemblage fournies — incluant la séquence de couple recommandée, le type d'outil d'assemblage, et le calendrier de retorque en fonction de la température.
HXC recommande contact cinématique à trois points (trois coussinets sur la face du siège, chacun Ra 0,4 µm, à une répartition égale de 120°) pour les composants en disque en céramique. Cela permet un positionnement précis et reproductible tout en permettant à la céramique de se dilater ou de se contracter radialement sans contrainte. Pour les composants en céramique rectangulaires : coussinets de support aux quatre coins avec le même principe cinématique.
Oui — HXC fournit kits complets assortis : siège en métal + composant(s) en céramique ou PEEK (provenant de la chaîne d'approvisionnement de HXC ou fourni par le client) + matériel d'assemblage + instructions d'assemblage. Tous les composants sont vérifiés dimensionnellement en tant qu'ensemble assorti. La compatibilité de l'assemblage (écarts à température ambiante et à la température maximale de fonctionnement) est confirmée avant l'expédition.
SUS316L (jusqu'à 300°C) : standard pour la plupart des températures de processus semi-conducteur. Inconel 625 (jusqu'à 500°C+) : pour les applications de processus à haute température où l'aluminium et l'acier inoxydable standard ne peuvent pas être utilisés. Al 6061 : pour les applications à température ambiante et à température de processus douce où le poids est important. Le choix du matériau dépend de la température du processus, de la chimie du processus et du matériau céramique ou PEEK spécifique utilisé.
Après l'assemblage, HXC effectue : (1) Inspection visuelle — pas de fissures, pas de blanchiment de stress visible dans le PEEK, pas d'écaillage ; (2) Mesure CMM de la position du composant assemblé par rapport au datum du siège ; (3) Test de cycle à froid (pour les applications critiques en température) — assembler, refroidir à la température minimale de fonctionnement, réchauffer à la température maximale de fonctionnement, vérifier la position et inspecter pour détecter tout dommage.
Prototype : 7–10 jours. Kits assortis : 8–12 jours. Lot : 12–18 jours.
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Chaque demande comprend une revue DFM — faisabilité des tolérances, confirmation du matériau et approche du processus avant le début de la production. MOQ 1 pièce.

24hr
Réponse au devis
Quantité Minimum de Commande 1
Prototypes OK
ISO
9001:2015
📐
Revue DFM sur chaque demande
Faisabilité des tolérances, stratégie de fixation et confirmation des matériaux. Retour spécifique et exploitable — pas de refus générique.
🎯
Inspection du premier article — Standard
Rapport FAI sur chaque nouvelle série. Certificats de matériaux et de traitement de surface inclus avec chaque expédition.
🔄
Même processus : Prototype à Production
Le plan de processus de votre prototype s'applique aux lots de production. Pas de requalification lors de la montée en gamme.
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