Usinage CNC de précision
Corps de chambre à vide

Oui. Les faces de scellement sont usinées par enlèvement de matière en vol comme opération d'usinage finale — après tous les perçages, taraudages et usinages de ports — pour empêcher toute opération ultérieure de déformer la face. Planéité : ≤ 0,01 mm standard, ≤ 0,005 mm pour UHV. Chaque chambre est testée à l'hélium par spectromètre de masse pour la fuite à moins de <1×10⁻⁸ mbar·l/s avant expédition. Certificat de test de fuite inclus.

SUS316L: standard pour le vide haute et ultra-haute performance — faible émission de gaz, électropolissable, soudable, non magnétique. Al 6061/6082: pour les systèmes à vide plus faible (< 10⁻⁶ mbar) où le poids et la conductivité thermique comptent. SUS304: pour le vide moyen et les applications de processus propres. Certificats de matériau fournis avec chaque commande.

Oui — HXC fournit une séquence complète de traitement après usinage : (1) Dégraissage ; (2) Électropolissage des surfaces internes (Ra 0,4 µm) ; (3) Nettoyage ultrasonique à l'IPA ; (4) Purge et séchage à l'azote ; (5) Test d'étanchéité à l'hélium ; (6) Emballage en salle blanche de classe ISO 5. La passivation (SUS316L) et l'anodisation dure (Al) sont également disponibles.

CF ConFlat (bord tranchant UHV, DN16–DN500), KF/QF (ISO 2861, Ø10–160 mm), ISO-K / ISO-F (grand diamètre), Joint facial VCR, et brides à joint facial personnalisées. Toutes les dimensions des brides sont usinées selon la norme ISO/PNEUROP et vérifiées par CMM.

HXC effectue un calcul de récipient sous pression (simplifié pour les applications non-récipients sous pression) dans le cadre de la revue DFM : épaisseur de la paroi vs différence de pression de fonctionnement (1 bar), contrainte au niveau du boss d'entrée et des soudures de bride, et déflexion du panneau le plus grand non soutenu. Nous signalons les zones sous-conçues et recommandons d'augmenter l'épaisseur de la paroi ou d'ajouter des éléments de stiffening avant la découpe.

Oui — les ports d'entrée de gaz, les brides de passage électrique, les cadres de fenêtre d'observation et les ports de capteur peuvent tous être usinés dans la même configuration que le corps de la chambre. Toutes les positions de ports sont vérifiées par CMM. Les dimensions des brides de passage sont usinées selon le dessin d'interface du fabricant du passage étanche.

Les pièces sont nettoyées, purgées à l'azote (N₂), et doublement scellées dans des sacs de salle blanche de classe ISO 5. Pour les chambres de qualité semi-conducteur : certificat de comptage de particules disponible. Tous les ports sont bouchés avec des capuchons antistatiques avant l'emballage. Le carton d'expédition est étiqueté avec le numéro de lot, le matériau et le résultat du test d'étanchéité pour la traçabilité.

Prototype (nouveau design de chambre, traitement complet et test) : 8–12 jours. Commandes répétées (lot) : 12–20 jours. Chambres UHV avec un taux de fuite inférieur à 1×10⁻¹⁰ : ajouter 2–3 jours.