CNC de précision
Pièces de support isolantes

Oui — machines HXC kits d'assemblage en métal + PEEK assortis où les deux composants sont produits et vérifiés dimensionnellement en tant qu'ensemble. Les jeux compensés par le coefficient de dilatation thermique (CTE) sont calculés pour la plage de température de fonctionnement de l'assemblage. La compatibilité de l'assemblage (jeu à température ambiante et à température de fonctionnement) est vérifiée par CMM avant expédition.

Précautions pour l'usinage du PEEK : (1) Outillage dédié uniquement au PEEK (pas de contamination croisée avec des copeaux métalliques) ; (2) Sans liquide de refroidissement ou uniquement à l'air comprimé (prévenir le choc thermique) ; (3) Fixation par mâchoires souples pour éviter les concentrations de contrainte ; (4) Spécifications de couple de vis fournies avec chaque composant fileté en PEEK — dépasser la limite de couple provoque des fissures dans le matériau. Pour les sièges métalliques adjacents à la céramique : nous conseillons sur la méthode d'assemblage lors du DFM.

PEEK: résistivité volumique >10¹³ Ω·cm, température de fonctionnement jusqu'à 250°C, compatible salle blanche. Vespel PI: capacité à supporter des températures plus élevées (jusqu'à 350°C), meilleure stabilité dimensionnelle. PTFE: excellente résistance chimique et faible friction. Céramique en nitrure de bore: stabilité thermique maximale, mais nécessite un siège en métal usiné pour l'assemblage. Les machines HXC usinent les quatre.

Pour les équipements de processus semi-conducteur : IEC 60664 (coordination de l'isolation), SEMI S2 (sécurité pour les équipements semi-conducteurs). Exigence typique pour les composants isolants du système plasma : résistivité volumique ≥ 10¹⁰ Ω·cm. HXC fournit la fiche technique du matériau avec la résistivité volumique pour chaque matériau isolant utilisé. Les tests électriques (mesure de résistivité volumique) sont disponibles en service supplémentaire.

PEEK: utilisation continue jusqu'à 250°C, à court terme jusqu'à 300°C. Vespel PI: utilisation continue jusqu'à 350°C. PTFE: jusqu'à 260°C. Pour des températures supérieures à 350°C : nitrure de bore ou céramique en alumine — HXC usinent le siège métallique de précision pour ces céramiques. Spécifiez la température de fonctionnement et l'environnement chimique et nous recommandons le matériau isolant optimal.

Oui — HXC fournit kits d'assemblage isolants complets: corps en métal + insert isolant PEEK/PI + éléments de fixation (avec spécifications de couple) + instructions d'assemblage. Tous les composants sont nettoyés, assortis et emballés en kit. La limite de couple d'assemblage est gravée ou imprimée sur les composants PEEK si nécessaire pour le client.

Prototype : 7–10 jours. Kits métalliques + PEEK assortis : 8–12 jours. Lot : 12–18 jours.