Catégorie de produit
<1×10⁻⁸ · Ra 0,8µm · ≤0,01mm Plat · EP + Préparation de soudure
VCH / 001 — 008
Ultra-Propre CNC
Pièces de chambre à vide
Composants structuraux de chambre à vide usinés avec précision CNC — faces de bride Ra 0,8 µm, planéité ≤ 0,01 mm, toute la géométrie de préparation de soudure usinée selon les spécifications. SUS316L électropolishée, test d'étanchéité à l'hélium <1×10⁻⁸ mbar·l/s. Pour chambres de processus semi-conducteurs, systèmes de vide de recherche, et équipements de vide industriel.
<10⁻⁸
Fuite d'hélium
Ra 0,8µm
Face de Bride
≤0.01mm
Planéité
PLAN · VCH-000 PAROI DE CHAMBRE DE PROCESSUS · SUS316L EP
ISO 9001 · DÉGAZAGE 300°C
Pression atmosphérique 1 bar
Ports CF + KF
Semi · Recherche · Optique · Espace · Médical · Industrie
Cas d'utilisation
SUS316L EP · 304 · Al 6061 · Ti Grade 5
Matériaux
48hr Devis · Proto 8 jours
Service
<1×10⁻⁸
Taux de fuite
mbar·l/s test d'hélium
mbar·l/s test d'hélium
Ra 0,8µm
Face de Bride
Niveau de surface de scellement
Niveau de surface de scellement
≤0,01mm
Planéité
Niveau de face de bride
Niveau de face de bride
8 jours
Livraison la plus rapide
commandes de prototypes
commandes de prototypes
Défis de l'usinage
Défis d'usinage des pièces de la chambre à vide
Les composants de la chambre à vide doivent résister à une différence de pression atmosphérique de 1 bar tout en maintenant une surface d'étanchéité hermétique — nécessitant un équilibre soigneux entre intégrité structurelle, précision dimensionnelle et propreté de la surface.
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Épaisseur de paroi vs Pression
Les parois de la chambre à vide doivent résister à une pression différentielle de 1 bar (≈ 10 N/cm²) sans se déformer ni se plier. La revue DFM de HXC vérifie l'épaisseur de la paroi par rapport au diamètre de la chambre et à la résistance à la traction du matériau — trop mince cause des déformations, trop épaisse augmente le poids et la surface de dégazage.
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Planéité de la face de bride
Toutes les faces de bride des composants de la chambre doivent être planes à ≤ 0,01 mm — toute déviation provoque un mauvais ajustement du joint et crée des voies de fuite. HXC usinage toutes les faces de bride sur des rectifieuses de surface de précision ou des fraiseuses CNC à grand plateau.
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Géométrie de préparation de soudure
De nombreuses pièces de la chambre à vide sont soudées à d'autres composants. La préparation de la soudure (angle de gorge, face de racine, profondeur du biseau) doit être usinée selon la norme AWS ou ISO 9692 pour que la procédure de soudage produise une jointure étanche à la vide avec pénétration complète.
Notre travail
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Pièces de la chambre à vide que nous avons fabriquées
Composants structuraux de la chambre à vide pour systèmes semi-conducteurs, de recherche et industriels.
Capacités & Tolérances
Ce que nous pouvons livrer
Spécifications typiques pour ce type de produit — confirmer les exigences exactes lors de la demande.
| Taux de fuite | <1×10⁻⁸ mbar·l/s (test à l'hélium) |
| Planéité de la face de bride | ≤ 0,01 mm |
| Ra de la face de bride | 0,8 µm |
| Épaisseur de paroi | À partir de 6 mm (dépendant du diamètre de la chambre) |
| Enveloppe maximale de la pièce | 800 × 800 × 600 mm |
| Normes de bride | CF, KF, ISO-K, personnalisé |
| Matériaux | SUS316L, SUS304, Al 6061, Ti Grade 5 |
| Préparation de soudure | AWS / ISO 9692 selon la spécification |
| Traitement de surface | EP, passivation, anodisation dure |
| Test d'étanchéité à l'hélium | Standard avant expédition |
| Délai de fabrication (prototype) | 8–14 jours |
| Délai de fabrication (lot) | 14–24 jours |
Comment ça fonctionne
De dessin à pièce prête pour le vide
Téléchargez votre dessin — revue DFM, usinage, traitement de surface, test d'étanchéité et expédition dans le délai convenu.
01
Télécharger le dessin
STEP, DXF, PDF. Inclure les normes de bride, la classe d'étanchéité et les exigences de surface.
02
DFM & Devis
Revue DFM gratuite — épaisseur de paroi, préparation de soudure, faisabilité de la bride. Devis en 48 h.
03
Usiner, traiter et tester
Usinage CNC, traitement de surface (EP / passivation), inspection CMM, test d'étanchéité à l'hélium.
04
Expédition dans le monde entier
Rapport d'inspection + certificat de test d'étanchéité joint. DHL / FedEx / fret maritime.
Avis
De confiance pour les ingénieurs en systèmes de vide
★★★★★
"La planéité de la bride de la paroi de la chambre était excellente — assemblage en première fois avec notre joint à bord tranchant parfaitement étanché. Le test d'étanchéité a donné 4×10⁻¹⁰ mbar·l/s, bien en dessous de la spécification."
MK
Martin K.
Ingénieur en systèmes de vide · France
★★★★★
"La géométrie de préparation de soudure était exactement conforme à la norme ISO 9692 — notre soudeur a pu réaliser une jointure étanche à vide dès la première tentative. Pack de documentation complet et traçable."
SL
Sophie L.
Ingénieur en équipements de processus · France
★★★★★
"HXC a compris dès le départ les exigences UHV pour notre chambre de recherche. Surfaces internes EP, certificat de fuite à l'hélium, emballage en salle blanche — tout a été géré."
JT
James T.
Ingénieur de recherche · France
FAQ
Questions fréquemment posées sur l'usinage des pièces de chambre à vide
Questions d'ingénierie et d'approvisionnement répondues par notre équipe de systèmes à vide.
L'épaisseur des parois dépend du diamètre de la chambre et du matériau. Valeurs typiques pour l'acier inoxydable : DN100 : minimum 6 mm ; DN160 : 8 mm ; DN250 : 10 mm ; DN400 : 12–15 mm. Pour l'aluminium, l'épaisseur des parois doit être augmentée d'environ 30 % par rapport à l'acier pour le même diamètre afin de maintenir la même marge structurelle. La revue DFM de HXC confirme l'épaisseur des parois face à la différence de pression atmosphérique et à la résistance à la traction du matériau.
HXC usine toutes les normes standard de brides à vide dans les composants de la chambre : CF (ConFlat) — lame de rasoir, pour UHV ; KF (Bride Klein) — joint torique, pour vide moyen ; ISO-K / ISO-F — grande diamètre ; et VCR — ligne de gaz. Les interfaces de brides personnalisées non standard et les brides spécifiques à l’équipement propriétaire sont également prises en charge. Toutes les dimensions des brides vérifiées par CMM.
La pièce de la chambre est assemblée avec des brides vierges (en utilisant le type de joint approprié pour chaque norme de bride), pressurisée avec de l’hélium en externe, et sonde de spectromètre de masse sur le côté vide détecte toute fuite d’hélium passant à travers. Sensibilité : 1×10⁻¹⁰ mbar·l/s. Certificat de test avec référence de calibration, date et débit de fuite mesuré fourni.
Oui — HXC usinage régulièrement la géométrie de préparation à la soudure (V-groove, U-groove, J-groove) dans les composants de la chambre selon AWS ou ISO 9692. Le soudeur du client assemble ensuite la pièce avec son composant d’accouplement. Nous coordonnons également avec des partenaires de soudure TIG pour des sous-ensembles complets de la chambre si nécessaire. Un test de fuite à l’hélium après soudure de l’assemblage est disponible.
Pour les chambres à semi-conducteurs et de recherche UHV: surfaces internes électropolies (Ra 0,4 µm) — réduit le taux de dégazage de 5 à 10 fois par rapport à une simple usinage. Pour les chambres industrielles HV: SUS316L passivé est suffisant. Pour les chambres en aluminium: l'anodisation dure à l'intérieur augmente la dureté et réduit l'absorption d'humidité. Tous les traitements sont compatibles avec les salles blanches.
Enveloppe maximale de la pièce : 800 × 800 × 600 mm en une seule mise en place. Les composants plus grands sont usinés en sections et soudés. Pour les corps de chambre très grands (DN1000+), HXC collabore avec des spécialistes du roulage et de la soudure ; HXC usine les faces de bride de précision et les ports après que le corps a été roulé.
SUS316L: standard pour HV et UHV — faible émission de gaz, résistants à la cuisson jusqu'à 300°C, électropolissables, soudables. SUS304: applications industrielles de vide, coût réduit. Al 6061 anodisé dur: chambres légères (optique, équipements mobiles), limite de cuisson 150°C. Ti Grade 5: applications non magnétiques et critiques en corrosion. Certificats de matériau fournis.
Prototype : 8–14 jours. Petite série (5–20 pièces) : 14–24 jours. Production : 18–30 jours. Chambres UHV avec EP et documentation complète : ajouter 3–4 jours.
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Chaque demande comprend une revue DFM — faisabilité des tolérances, confirmation du matériau et approche du processus avant le début de la production. MOQ 1 pièce.
24hr
Réponse au devis
Quantité Minimum de Commande 1
Prototypes OK
ISO
9001:2015
📐
Revue DFM sur chaque demande
Faisabilité des tolérances, stratégie de fixation et confirmation des matériaux. Retour spécifique et exploitable — pas de refus générique.
🎯
Inspection du premier article — Standard
Rapport FAI sur chaque nouvelle série. Certificats de matériaux et de traitement de surface inclus avec chaque expédition.
🔄
Même processus : Prototype à Production
Le plan de processus de votre prototype s'applique aux lots de production. Pas de requalification lors de la montée en gamme.
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