info@hxcnc.com Шэньчжэн, Китай Ответ в течение 24 часов
ISO 9001 : 2015 Получить мгновенную квоту
Получить предложение
Получить предложение
Категория продукта
1×10⁻⁸ · Ра 0.8µm · ≤0.01мм Плоская · EP + сварной заготовок
VCH / 001 — 008

ultra-чистый CNC
Части вакуумной камеры

Прецизионные вакуумные камеры структурные компоненты — поверхность фланца Ra 0.8 µm, плоскостность ≤ 0.01 мм, вся геометрия подготовки сварки обработана по спецификации. SUS316L электрополировка, испытание на утечку гелиума <1×10⁻⁸ мбар·л/с. Для вакуумных камер полупроводникового процесса, исследовательских вакуумных систем и промышленного вакуумного оборудования.

<10⁻⁸
Утечка He
Ра 0.8µm
Фланцевая поверхность
≤0,01mm
Плоскостность
Получить мгновенную квоту → Смотреть наши работы
ДЕТАЛЬ ЧЕРТЕЖА · VCH-000 ПРОЦЕССНАЯ КАМЕРА стенка · SUS316L EP ISO 9001 · ПРОГРЕВКА 300°C
Давление 1 бар Атм.
Соединения CF + KF
ВАКУУМ P < 10⁻⁸ мбар CF · НОЖЕВЫЙ-ОСТРЫЙ KF KF VCR · ГАЗ / МАНОМЕТР 1 бар 1 бар t≥6 мм СТЕНА · против давлением 6 мм DN100 8 мм DN160 10 мм DN250 проверка DFM ПРЕДУСЛОВИЕ СВАРКИ · V-ГОФР корень 1 мм AWS / ISO 9692 60° V-гофр корень лица 1 мм ✓ TIG / EBW ✓ CMM проверено ВЫПЕЧКА · P-КОНКУРЕНЦИЯ ВРЕМЯ / ч лог P без выпечки 150°C 300°C ◀ ВГТ МАТЕРИАЛ · УТЕЧКА КЛАСС МАТЕРИАЛ УТЕЧКА ИСПОЛЬЗОВАТЬ СУС316L EP ◀ <10⁻¹⁰ UHV полупроводник SUS316L <10⁻⁸ исследовательский HV СУС304 <10⁻⁷ промышленный Ал 6061 HA <10⁻⁶ оптический · свет Ti Группа 5 <10⁻⁹ космос / немагнитный МАСШТАБ 1 : 5 · мм
Полупроводниковый · исследования · оптический · космос · медицинский · промышленный
Сферы применения
SUS316L EP · 304 · Al 6061 · Ti Группа 5
Материалы
48hr Котировка · 8-дневный прототип
Сервис
<1×10⁻⁸
Утечка
мбар·силикитр тест гелия
Ra 0,8 мкм
Фланцевая поверхность
класс поверхности сальника
≤0.01 мм
Плоскостность
класс рабочей поверхности фланца
8 дней
самая быстрая доставка
заказы прототипов
обсуждения машиностроительных задач

Обработку частей вакуумной камеры

Компоненты вакуумной камеры должны выдерживать перепад атмосферного давления 1 бар, сохраняя герметичную поверхность уплотнения — требует аккуратного баланса прочности конструкции, точности геометрии и чистоты поверхности.

⛨
Толщина стенки против давления
Стены вакуумной камеры должны сопротивляться перепаду давления в 1 бар (≈ 10 Н/см²) без выпучивания илиCompanies buckling. Рецензия DFM HXC проверяет толщину стенки относительно диаметра камеры и прочности материала на предел текучести — слишком тонкая вызывает деформацию, слишком плотная увеличивает вес и площадь поверхностей, подверженных отдуву.
▱
ПлоскостьFace фланца
Все поверхности фланцев на компонентах камеры должны быть плоскими с отклонением не более 0,01 мм — любое отклонение вызывает неплотное уплотнение прокладки и создаёт утечные пути. HXC обрабатывает все поверхности фланцев на прецизионных абразивных станках по плоскости или на крупноразмерах станках с ЧПУ.
⚒
Геометрия подготовки сварного шва
Многие части вакуумной камеры сварены с другими компонентами. Подготовка под сварку (угол паза, рабочий торец, глубина фаски) должна изготавливаться по спецификации AWS или ISO 9692, чтобы сварочная процедура обеспечила вакуумо‑герметичное соединение с полным проплавлением.
Наша работа

Части вакуумной камеры, которые мы сделали

Структурные компоненты вакуумной камеры для полупроводниковых, научных и промышленных систем.

Запросить аналогичную деталь →
Корпус камеры полупроводникового процесса
Стена исследовательской УВЧ-камеры
Верх вакуумной камеры оптического типа
Стена камеры стерилизатора для медицины
Раздел камеры космического моделирования
Дверь камеры вакуумной печи
Боковая панель камеры покрытий
Партии запчастей вакуумной камеры
Возможности и допуски

Что мы можем предоставить

Типичные характеристики для этого типа продукции. Подтвердите точные требования в запросе.

Утечка<1×10⁻⁸ мбар·л/с (гелиевый тест)
Плоскостность лиц фланца≤ 0.01 мм
Ra лиц фланца0,8 мкм
Толщина стенкиОт 6 мм (зависит от диаметра камеры)
Максимальная огибающая деталь800 × 800 × 600 мм
Стандарты фланцевCF, KF, ISO-K, индивидуальные
МатериалыSUS316L, SUS304, Al 6061, Ti Группа 5
Подготовка сварного шваAWS / ISO 9692 к спецификации
Обработка поверхностиEP, пассивация, твердое анодирование
Г helium утечка тестСтандарт до отгрузки
Срок изготовления (прототип)8–14 дней
Срок изготовления (партия)14–24 дня
Как работает

От чертежа до детали, готовой к вакууму

Загрузите свой чертеж — обзор DFM, обработка, поверхностная обработка, испытание на утечки и отгрузка в установленный срок.

01
Загрузить чертеж
STEP, DXF, PDF. Укажите стандарты фланцев, класс утечки и требования к поверхности.
02
DFM и коммерческое предложение
Бесплатный обзор DFM — толщина стенки, подготовка сварки, осуществимость фланца. Коммерческое предложение в течение 48 ч.
03
Обработка, обработка поверхности и тестирование
Фрезерная обработка по ВЧК, обработка поверхности (EP / пассивирование), калибровка CMM, тест на утечку с использованием гелия.
04
Доставка по всему миру
Протокол осмотра + сертификат испытания на утечки приложены. DHL / FedEx / морские перевозки.
Отзывы

Доверяют инженеры вакуумных систем

★★★★★
"Плоскостность стенки камеры фланца была отличной — сборка с первого раза с нашим уплотнением кромочного лезвия прошла идеально. Испытание на утечку зафиксировано как 4×10⁻¹⁰ мбар·л/с, значительно ниже спецификации."
MK
Мартин К.
Инженер вакуумных систем · Германия
★★★★★
"Геометрия подготовки сварки соответствовала ISO 9692 — наш сварщик смог обеспечить вакуум-герметичное соединение с первой попытки. Комплект документации полный и прослеживаемый."
SL
Софи Л.
Инженер по оборудованию процесса · Франция
★★★★★
"HXC понял требования к вакууму высокого уровня для нашей исследовательской камеры с самого начала. Внутренние поверхности EP, сертификат утечки гелия, упаковка в чистой комнате — всё выполнено."
JT
Джеймс Т.
Исследовательский инженер · США
Часто задаваемые вопросы

Часто задаваемые вопросы о механической обработке частей вакуумной камеры

Вопросы по инженерии и закупкам, освещенные нашей командой вакуумных систем.

Толщина стенок зависит от диаметра камеры и материала. Типичные значения для нержавеющей стали: DN100: минимальная толщина 6 мм; DN160: 8 мм; DN250: 10 мм; DN400: 12–15 мм. Для алюминия толщина стенки должна быть увеличена примерно на 30% по отношению к стали для того же диаметра, чтобы сохранить тот же структурный запас. Обзор DFM HXC подтверждает толщину стенки относительно перепада атмосферного давления и прочности материала.
HXC обрабатывает все стандартные вакуумные фланцевые стандарты в компонентах камеры: CF (ConFlat) переведено на русский — кромка лезвия, для VУЗ; KF (Klein Flange) переведено на русский — уплотнение O-ринга для среднего вакуума; ИСО-К / ИСО-Ф — крупногабаритный; и VCR — газовая линия. Также поддерживаются нестандартные индивидуальные фланцевые интерфейсы и фланцы, зависящие от оборудования. Все размеры фланцев проверяются CMM.
Часть камеры собирается с пустыми фланцами (используя соответствующий тип прокладки для каждого стандарта фланца), под давлением гелий снаружи, и зонд масс-спектрометра на вакуумной стороне обнаруживает любые прохождения гелия. Чувствительность: 1×10⁻¹⁰ мбар·л/с. Выдается тестовый сертификат с калибровочной ссылкой, датой и измеренной скоростью утечки.
Да — HXC регулярно обрабатывает геометрию подготовки сварки (V-канавка, U-канавка, J-канавка) в компонентах камеры согласно AWS или ISO 9692. За сварщиком заказчика закрепляется соединение детали с ее сопряженным компонентом. При необходимости мы координируем с партнерами по TIG-сварке для полноценных субсборок камеры. Возможна послесварочная проверка утечки гелия по сварному шву.
Для ультравысокого вакуума полупроводниковых и исследовательских камер: электрополированная внутренняя поверхность (Ra 0.4 мкм) — снижает скорость outgassing в 5–10× по сравнению с обработкой только механической. Для HV промышленных камер: пассивированная SUS316L достаточна. Для алюминиевых камер: жесткий анодирование на внутренней поверхности увеличивает твердость и снижает поглощение влаги. Все обработки совместимы с чистой комнатой.
Максимальная по размеру оболочка детали: 800 × 800 × 600 мм за одну установку. Более крупные компоненты обрабатываются секциями и сваркой. Для очень больших корпусов камер (DN1000+) HXC сотрудничает с компаниями, специализирующимися на прокатке и сварке; HXC обрабатывает прецизионные фланцевые лица и каналы после проката корпуса.
SUS316L: стандарт для HV и UHV — низкое испарение, выпекается до 300°C, электрополируемый, свариваемый. СУС304: промышленные вакуумные применения, более низкая стоимость. Al 6061 твердое анодирование: легкие камеры (оптика, мобильное оборудование), предел выпечки 150°C. Ti Группа 5: немагнитные и критически стойкие к коррозии применения. Сертификаты материалов по массивам предоставляются.
Прототип: 8–14 дней. Маленькая партия (5–20 шт): 14–24 дня. Производство: 18–30 дней. Камеры УВЧ с EP и полной документацией: добавить 3–4 дня.
Получить предложение

Отправьте ваш чертеж.
Получить предложение.

Каждое обращение включает DFM-обзор — проверку пригодности допусков, подтверждение материалов и подход процесса до начала производства. MOQ 1 штука.

24hr
Ответ по предложению
Минимальный заказ 1
Прототипы OK
ИСО
9001:2015
📐
DFM-обзор по каждому обращению
Проверка пригодности допусков, стратегия фиксации и подтверждение материалов. Конкретная, действенная обратная связь — без общего сопротивления.
🎯
Первичный контроль — стандарт
FAI-отчет по каждому новому запуску. Сертификаты материалов и сертификации покрытий включаются в каждую поставку.
🔄
Тот же процесс: от прототипа к производству
План процесса от вашего прототипа применяется к производственным партиям. Повторная квалификация не требуется при масштабировании.
⚙
3 / 4 / 5-ось CNC + токарная обработка
Сложные структурные детали, валы, корпуса и компоненты трансмиссий. Металлы и инженерные пластики.
ИСО 9001:2015 Фрезерование 3/4/5 осей Токарная обработка на станках с ЧПУ CMM-инспекция Глобальная доставка