ultra-чистый CNC
Плиты распределения газов для полупроводников

HXC производит распределительные пластины газов полупроводников для эквивалент чистоты SEMI F57: (1) внутренние поверхности электрохимической полировки Ra 0,4 мкм; (2) ультразвуковая очистка IPA; (3) промывка азотом и сушка; (4) упаковка в чистую комнату ISO Class 5; (5) доступен сертификат по количеству частиц. Все операции от очистки до упаковки выполняются в чистой комнате.

Все отверстия просверливаются в одной установке с использованием калибрированной прецизионной сверлильной головки с проверкой диаметра на станке между группами отверстий. Допуск по диаметру отверстия: ±0.005 мм. Допуск по положению отверстия: ±0.01 мм. Для форсунок с более чем 1 000 отверстиями статистическая выборка 10% отверстий приводится в сертификате проверки.

SUS316L (электropolирован): совместим с большинством газов процесса, включая O₂, N₂, Ar, He, H₂, NF₃ и разбавленный HCl. Al 6061 (твёрдый анодированием): для фторсодержащих химий (HF, NF₃, F₂), где анодированная оксидная плёнка альюминии (Al₂O₃) обеспечивает химическую стойкость. Ti Группа 5: для окислительных и хлорсодержащих химий. Рекомендуем подтвердить совместимость материала с вашей конкретной химией процесса перед заказом.

Машины HXC поддерживают все стандартные интерфейсы ультрачистой газовой линии: VCR (уплотнение Swagelok лицевой поверхности), CF ConFlat клинок-край, KF (ИСО 2861), и пользовательские фланцы с уплотнением лицевой поверхности. Все размеры интерфейса обрабатываются в соответствии с спецификацией производителя и проверяются с помощью CMM.

Каждая пластина проходит испытание сплошной утечки методом детекция утечек методом масс-спектрометри гелия: деталь приводится к давлению гелием, и зонд детектора утечек сканирует все внешние поверхности и отверстия. Измеренный уровень утечки: <1×10⁻⁹ мбар·л/с стандарт. Сертификат испытаний включает: дату калибровки прибора, дату испытания, измеренный уровень утечки и подпись оператора. Этот сертификат прилагается к каждой пластине.

Да — пластины распределения газа с встроенными отверстиями под подогревательный элемент или канавками под резистивный нагреватель могут обрабатываться в той же установке, что и газовые каналы. Допуск по положению отверстия под подогрев: ±0,1 мм от стены газового канала (минимальный зазор). Также можем обработать отверстия для вставки температурного датчика (термопары).

Прототип: 8–12 дней (включает электрополировку + испытание на утечку гелием + упаковку в чистом помещении). Партия (3–10 шт): 14–20 дней. Производство (10+ шт): 18–26 дней. Срочный прототип: доступно за 5–7 дней — свяжитесь с нами.

Стандартный пакет документации: (1) dimensional отчёт CMM; (2) сертификат испытания на утечку гелием; (3) сертификат процесса электрополировки; (4) сертификат материала (лот SUS316L, номер термина); (5) запись о упаковке в чистой комнате. Все документы привязаны к конкретной производственной партии.