Ultra-Curată CNC
Plăci de Distribuție a Gazelor pentru Semiconductori

HXC produce plăci de distribuție a gazelor pentru semiconductori conform Curățenie echivalentă cu SEMI F57: (1) suprafețe interne electropolishate Ra 0,4 µm; (2) curățare ultrasonică cu IPA; (3) purjare și uscare cu N₂; (4) ambalare în cameră curată de clasă ISO 5; (5) certificat de numărare a particulelor disponibil. Toate operațiunile de la curățare până la ambalare se realizează într-un mediu de cameră curată.

Toate orificiile sunt găurite într-o singură configurare folosind un burghiu de precizie calibrat cu verificare a diametrului pe mașină între seturile de găuri. Toleranța diametrului orificiului: ±0.005 mm. Toleranța poziției orificiului: ±0,01 mm. Pentru dușuri cu >1.000 de orificii, se raportează eșantionare statistică a 10% de găuri în certificatul de inspecție.

SUS316L (electropolishat): compatibil cu majoritatea gazelor de proces, inclusiv O₂, N₂, Ar, He, H₂, NF₃ și HCl diluat. Al 6061 (anodizat dur): pentru chimii pe bază de fluor (HF, NF₃, F₂) unde stratul de anodizare de alumina (Al₂O₃) oferă rezistență chimică. Ti Gradul 5: pentru chimii bazate pe oxidare și clor. Recomandăm confirmarea compatibilității materialului cu chimia specifică procesului dumneavoastră înainte de comandă.

Mașinile HXC au toate interfețele standard pentru conducte de gaz ultra-purificat: VCR (Etanșare față Swagelok), CF ConFlat cu lamă de cuțit, KF (ISO 2861), și flanșe personalizate cu etanșare față. Toate dimensiunile interfeței sunt prelucrate conform specificațiilor producătorului și verificate cu CMM.

Fiecare placă este testată de detecție a scurgerii cu spectrometrie de masă cu heliu: piesa este supusă presiunii cu heliu iar un sonde de detectare a scurgerii scanează toate suprafețele și porturile externe. Rata de scurgere măsurată: <1×10⁻⁹ mbar·l/s standard. Certificatul de testare include: data calibrare instrument, data testului, rata de scurgere măsurată și semnătura operatorului. Acest certificat este furnizat cu fiecare placă.

Da — plăci de distribuție a gazelor cu găuri pentru cartușe de încălzire integrate sau caneluri pentru rezistență de încălzire pot fi prelucrate în aceeași configurație cu canalele de distribuție a gazelor. Toleranța poziției găurii pentru încălzire: ±0.1 mm față de peretele canalului de gaz (spațiu minim). De asemenea, putem prelucra găuri pentru inserția senzorilor de temperatură (termocuplu).

Prototip: 8–12 zile (include electropolish + test de scurgere cu heliu + ambalare în cameră curată). Lot (3–10 buc): 14–20 zile. Producție (10+ buc): 18–26 zile. Proto urgent: disponibil în 5–7 zile — contactați-ne.

Pachet standard de documentație: (1) raport dimensional CMM; (2) certificat de test de scurgere cu heliu; (3) certificat de proces electropolish; (4) certificat de calitate al materialului (lot SUS316L, număr de calotă); (5) înregistrare a ambalării în cameră curată. Toate documentele sunt trasabile la lotul de producție specific.