產品類別
1×10⁻⁹ · EP Ra 0.4µm · ±0.005mm 口徑 · ISO 5
SGP / 001 — 008
超潔淨 CNC
半導體氣體分配板
超潔淨 CNC 加工的半導體氣體分配板 — 電解拋光內部通道 Ra 0.4 µm、VCR/CF 端口介面、氦氣洩漏測試 <1×10⁻⁹ mbar·l/s、ISO Class 5 無塵級裝箱。適用於 CVD、ALD 與蝕刻過程腔室。.
<10⁻⁹
氦氣洩漏
±0.005mm
孔徑 Ø
ISO 類別 5
潔淨室
部件 DWG · SGP-000 淋浴頭 · SUS316L EP · SEMI F57
ISO 9001 · ISO 類別 5
六角形孔徑圖樣
Ø 0.5 ±0.005
CVD · ALD · 蝕刻 · MOCVD · 外延生長 · 研發
使用案例
SUS316L EP · Al 6061 HA · Ti · Hastelloy
材料
48hr 報價 · 8 天原型
服務
<1×10⁻⁹
泄漏率
毫巴·秒 對氦氣測試
毫巴·秒 對氦氣測試
Ra 0.4µm
內部表面
電解拋光 SUS316L
電解拋光 SUS316L
ISO 類別 5
潔淨室包裝
半導體等級
半導體等級
8 天
最快交付
原型訂單
原型訂單
機加工挑戰
半導體工藝腔室的分配板挑戰
半導體工藝腔室的分配板需要結合任何其他 CNC 產品都無法比擬的標準：超潔淨表面、亞ppm 顆粒產生以及氦氣洩漏密封界面。.
🧪
超潔淨內部表面
工藝氣體不得被加工残留物或表面氧化物污染。HXC 對所有與氣體接觸表面進行電解拋光，達到 Ra 0.4 μm，去除鉻 depleted 層，並產生與反應性工藝氣體相容的鈍化、低釋出表面。.
💨
uniforme gas distribution
淋浴頭板與分配歧管必須在每個孔口提供相等的氣體通量。HXC 將孔口直徑控至 ±0.005 毫米 跨越所有孔孔——任何變化都會在晶圓上造成不均勻的薄膜沉積或蝕刻速率.
🔒
氦氣洩漏完整性
半導體製程腔室在 mTorr 壓力下運作。每個氣體路徑連接必須為氦氣密性，泄漏量低於 <1×10⁻⁹ mbar·l/s。HXC 在清潔室包裝前，透過氦質譜式泄漏檢測測試每一塊板.
我們的工作
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我們製作的半導體氣體分佈板
真实数控加工项目——已检验并交付。.
能力與公差
我們可以交付的項目
此產品類型的典型規格。請在詢問時確認確切需求。.
| 洩漏率 | <1×10⁻⁹ mbar·l/s (氦氣) |
| 內部 Ra」 | 0.4 µm（電解抛光） |
| 孔口公差直徑. | ±0.005 毫米 |
| 端口標準 | VCR、CF、KF、客製端面密封 |
| 清潔 | IPA 超音波清洗 + N₂ 乾燥 + 清潔室包裝 |
| 顆粒產生 | ISO Class 5 等同標準 |
| 材料 | SUS316L (標準), Al 6061, Ti Grade 5 |
| 電解拋光 | 在所有與氣體接觸的表面標準 |
| 氦氣泄漏測試 | 100% 每一片，證書 |
| 包裝 | ISO Class 5 袋，雙重封口 |
| 交期（樣件） | 8–12 天 |
| 交貨期（批次） | 14–20 天 |
原理
從圖樣到成品部件
上傳您的圖紙——DFM 評估、加工、如需壓力/泄漏測試，並在約定的交期內出貨。.
01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。包含通道規格、螺紋標準與密封要求。.
02
DFM 與報價
免費 DFM 評審——渠道訪問、去毛刺可行性、密封面策略。48 小時內報價。.
03
機械與測試
CNC 加工、去毛刺、清洗、CMM 檢測、按規定的壓力/滲漏測試。.
04
全球運送
檢測報告 + 測試記錄附上。DHL / FedEx / 海運。.
評價
全球工程師信任的選擇
★★★★★
"深度十字鑽通道完美去毛刺——在進料檢測時未發現任何毛刺。首次就通過滲漏測試。交貨嚴格按時。"
MK
馬丁 K.
液壓系統工程師 · 德國
★★★★★
"我們從 HXC 採購精密閥體與歧anor組塊。孔同軸度始終在 0.005 mm 以內，批次的密封面 Ra 已驗證。"
SL
蘇菲 L.
採購經理 · 法國
★★★★★
"HXC 立即理解我們半導體氣體分配板的清潔度要求。文件包完整且可追溯。"
JT
詹姆斯 T.
流程工程師 · 台灣
常見問題
半導體氣體分配板加工常見問題集
我們團隊回答的工程與採購問題。.
HXC 生產半導體氣體分配板以 SEMI F57 等效清潔度：(1) 內部電解拋光表面 Ra 0.4 μm；(2) 超音波 IPA 清洗；(3) N₂ 清淨與乾燥；(4) ISO Class 5 無塵室包裝；(5) 可取得顆粒計數證明。所有從清洗到包裝的作業均在無塵室環境中進行。.
所有孔在單次裝配中同時進行鑽削，使用一台機床進行加工。 具機上直徑驗證的校準精密鑽孔器 在一組孔之間。孔徑公差： ±0.005 毫米. 孔位公差：±0.01 公厘。對於孔數超過 1,000 的淋浴頭，檢驗證書中會以 10% 的孔洞統計抽樣報告。.
SUS316L（電解拋光）: 與大多數工藝氣體相容，包括 O₂、N₂、Ar、He、H₂、NF₃，以及稀釋性 HCl。. Al 6061（硬質陽極氧化）: 適用於以氟基化學物質（HF、NF₃、F₂）為特徵的情況，其中氧化鋁（Al₂O₃）陽極層提供化學耐受性。. 鈦 五級: 適用於氧化性與氯基化學物質。在下訂單前，建議就您特定工藝化學性質確認材料相容性。.
HXC 機器提供所有標準超純氣體管線介面： VCR（Swagelok 面密封）, CF ConFlat 刃口密封, KF（ISO 2861）, ，并在真空侧由 自訂面密封法蘭. 所有介面尺寸皆按製造商規格加工並由坐標測量機驗證。.
每一塊板材都經過測試 氦氣質譜漏點檢測部件以氦氣加壓，並由漏檢探針掃描所有外部表面與開口。測得洩漏率： <1×10⁻⁹ mbar·l/s 標準。測試證書包含：儀器校準日期、測試日期、量測洩漏率與操作員簽名。每塊盤都附有此證書。.
是的——帶燃氣分配板的 集成加熱棒孔或電阻加熱槽 可以在與氣體分配通道相同機台設定下加工。加熱器孔位公差：距氣體通道壁面±0.1毫米（最小間隙）。我們也可以加工溫度感測器（熱電偶）插入孔。.
原型： 8–12 天 （含電拋光 + 氦氣洩漏測試 + 無塵包裝）。批次（3–10 件）：14–20 天。量產（10 件以上）：18–26 天。急件樣品：5–7 天可用——請與我們聯繫。.
標準文件包： (1) CMM 尺寸報告；(2) 氦氣泄漏測試證明；(3) 電成排列加工程式證明；(4) 材料入廠證明（SUS316L 等級、爐號批次）；(5) 洁净室包裝紀錄。所有文件可追溯至特定生產批次。.
獲取報價
寄出您的圖紙。.
取得報價。.
每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.
24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
📐
每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程：從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次；放大規模時不需重新鑑定。.
⚙
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
ISO 9001:2015
3/4/5 軸銑床
CNC 車削
座標測量儀檢驗
全球交付