Ultra-Propre CNC
Plaques de distribution de gaz pour semi-conducteurs

HXC produit des plaques de distribution de gaz semi-conducteur pour Propreté équivalente à la norme SEMI F57: (1) surfaces internes électropolies Ra 0,4 µm ; (2) nettoyage ultrasonique à l'IPA ; (3) purge et séchage à l'N₂ ; (4) emballage en salle blanche de classe ISO 5 ; (5) certificat de comptage de particules disponible. Toutes les opérations, du nettoyage à l'emballage, sont effectuées en environnement de salle blanche.

Tous les orifices sont percés en une seule étape à l'aide d'un foret de précision calibré avec vérification du diamètre en machine entre chaque série de trous. Tolérance du diamètre de l'orifice : ±0,005 mm. Tolérance de position de l'orifice : ±0,01 mm. Pour les têtes de douche avec plus de 1 000 orifices, un échantillonnage statistique de 10% de trous est reporté dans le certificat d'inspection.

SUS316L (électropolies): compatible avec la plupart des gaz de processus, y compris O₂, N₂, Ar, He, H₂, NF₃, et HCl dilué. Al 6061 (anodisé dur): pour les chimies à base de fluor (HF, NF₃, F₂) où la couche d'anodisation en alumine (Al₂O₃) offre une résistance chimique. Ti Grade 5: pour les chimies oxydantes et à base de chlore. Nous recommandons de confirmer la compatibilité du matériau avec votre chimie de processus spécifique avant de commander.

Toutes les machines HXC disposent des interfaces de ligne de gaz ultra-pur standard : VCR (joint face Swagelok), CF ConFlat à lame de couteau, KF (ISO 2861), et brides d'étanchéité faciale personnalisées. Toutes les dimensions d'interface sont usinées selon les spécifications du fabricant et vérifiées par CMM.

Chaque plaque est testée par détection de fuite par spectrométrie de masse à l'hélium: la pièce est mise sous pression avec de l'hélium et une sonde de détection de fuite scanne toutes les surfaces et ports externes. Taux de fuite mesuré : <1×10⁻⁹ mbar·l/s standard. Le certificat de test inclut : date de calibration de l'instrument, date du test, taux de fuite mesuré, et signature de l'opérateur. Ce certificat est fourni avec chaque plaque.

Oui — des plaques de distribution de gaz avec orifices de cartouche de chauffage intégrés ou rainures de résistances chauffantes peuvent être usinées dans la même configuration que les canaux de distribution de gaz. Tolérance de position des trous de chauffage : ±0,1 mm par rapport à la paroi du canal de gaz (dégagement minimum). Nous pouvons également usiner des trous d'insertion pour capteurs de température (thermocouples).

Prototype : 8–12 jours (inclut l'électropolissage + test de fuite à l'hélium + emballage en salle blanche). Lot (3–10 pièces) : 14–20 jours. Production (10+ pièces) : 18–26 jours. Proto urgent : 5–7 jours disponibles — contactez-nous.

Pack de documentation standard : (1) rapport dimensionnel CMM ; (2) certificat de test de fuite à l'hélium ; (3) certificat du processus d'électropolissage ; (4) certificat de matière première (lot SUS316L, numéro de lot) ; (5) dossier d'emballage en salle blanche. Tous les documents sont traçables au lot de production spécifique.