Mahsulot Kategoriyasi
<1×10⁻⁹ · EP Ra 0.4µm · ±0.005mm Orifis · ISO 5
SGP / 001 — 008
Ultra-Toza CNC
Yarim O‘tkazgich Gaz Ta’minoti Plitalari
Ultra-tozalikli CNC bilan ishlangan yarimo'tkazgich gaz taqsimlash plitalari — elektropolished ichki kanallar Ra 0.4 µm, VCR/CF port interfeyslari, helium yoriq testi <1×10⁻⁹ mbar·l/s, ISO Sinf 5 tozalash xonasi qadoqlash. CVD, ALD va o'yma jarayon kameralari uchun.
<10⁻⁹
He Yoriq
±0.005mm
Orifis Ø
ISO Sinf 5
Tozalash xonasi
Qisqichbaqa shaklidagi orifis diagrammasi · SGP-000
ISO 9001 · ISO Sinf 5
Hexagon shaklidagi orifis naqsh
Ø 0.5 ±0.005
CVD · ALD · E'tch · MOCVD · Epitaksiya · R&D
Qo‘llanish sohalari
SUS316L EP · Al 6061 HA · Ti · Hastelloy
Materiallar
48hr Nusxa · 8-Kunlik Prototip
Xizmat
<1×10⁻⁹
Chiqib ketish tezligi
mbar·l/s xelium testi
mbar·l/s xelium testi
Ra 0.4µm
Ichki yuzasi
elektropolished SUS316L
elektropolished SUS316L
ISO Sinf 5
Tozalash xona qutisi
yarimo'tkazgich sinfi
yarimo'tkazgich sinfi
8 Kun
Eng Tez Yetkazib Berish
Prototip buyurtmalar
Prototip buyurtmalar
Ishlov berish muammolari
Yarimo'tkazgich gaz tarqatish plitasining muammolari
Yarimo'tkazgich jarayon kameralari uchun gaz tarqatish plitalari boshqa CNC mahsulotlaridan ajralib turadigan standartlarning kombinatsiyasini talab qiladi: ultra-toza sirtlar, sub-ppm zarracha ishlab chiqarish, va helium-uzatmaydigan interfeyslar.
🧪
Ultra-toza ichki sirtlar
Jarayon gazlari ishlov berish qoldiqlari yoki sirt oksidlari bilan ifloslanmasligi kerak. HXC barcha gaz bilan yuviladigan sirtlarni Ra 0.4 µm ga electropolish qiladi, xrom kam bo'lgan qatlamni olib tashlaydi va reaktiv jarayon gazlariga mos passivlangan, kam chiqindili sirt hosil qiladi.
💨
Bir xil Gaz taqsimoti
Dush bosh plitalari va taqsimot kollektorlari har bir teshik orqali teng gaz oqimini ta'minlashi kerak. HXC teshik diametrini ±0,005 mm barcha teshiklar bo'ylab — har qanday o'zgarish film qoplamasi yoki o'ymakorlik tezligini butun vaha bo'ylab noaniq qiladi.
🔒
Helium oqishi yaxlitligi
Yarim o'tkazgich jarayon kameralari mTorr bosimda ishlaydi. Har bir gaz yo'li ulanishi helium oqishi bilan <1×10⁻⁹ mbar·l/s ga yopiq bo'lishi kerak. HXC har bir plitani tozalash xonasiga qadoqlashdan oldin helium massaspektrometri bilan oqishni tekshiradi.
Bizning ishimiz
O'xshash qismlarni so‘rash →
Yarim o'tkazgich Gaz taqsimoti Plitalari Biz ishlab chiqdik
Haqiqiy CNC ishlov berilgan loyihalar — tekshirilgan va yetkazib berilgan.
Qobiliyatlar va toleranslar
Biz taqdim etishimiz mumkin
Ushbu mahsulot turi uchun odatiy texnik xususiyatlar — aniq talablarni so‘rovda tasdiqlang.
| Oqish tezligi | <1×10⁻⁹ mbar·l/s (He) |
| Ichki Ra | 0.4 µm (elektropolished) |
| O‘roq diametri tol. | ±0,005 mm |
| Port standartlari | VCR, CF, KF, maxsus yuz seal |
| Tozalash | IPA ultratovushli + N₂ quruq + tozalash xonasi qadoqlash |
| Zarralar ishlab chiqarish | ISO Sinf 5 ga teng |
| Materiallar | SUS316L (standart), Al 6061, Ti Grade 5 |
| Elektropolish | Barcha gaz bilan yuviladigan sirtlarda standart |
| Helyum yori testi | 100% har bir plita, sertifikat |
| Qadoqlash | ISO Sinf 5 sumka, ikki marta yopilgan |
| Yetkazib berish vaqti (prototip) | 8–12 kun |
| Yetkazib berish vaqti (partiya) | 14–20 kun |
Qanday ishlaydi
Chizmachadan tayyor qismgacha
Chizmachangizni yuklang — DFM ko‘rib chiqish, ishlov berish, bosim/ayirboshlash testi agar talab qilinsa, va yetkazib berish kelishilgan muddatda.
01
Chizmani yuklang
STEP, DXF, PDF. Kanal spetsifikatsiyalarini, tish standartlarini va yopinganlik talablarini kiriting.
02
DFM va Narxni belgilash
Bepul DFM ko‘rib chiqish — kanalga kirish, deburring imkoniyati, yopinganlik sirt strategiyasi. 48 soatda taklif.
03
Mashina va Test
CNC ishlov berish, deburring, tozalash, CMM tekshiruvi, bosim/ayirboshlash testi belgilanganidek.
04
Dunyo bo‘ylab yetkazib berish
Tekshiruv hisobotlari + test yozuvlari ilova qilingan. DHL / FedEx / dengiz yuklari.
Sharhlar
Dunyo bo‘ylab muhandislar tomonidan ishonch bilan
★★★★★
"Chuqur kesilgan o"tkazgichlar mukammal deburring qilindi — kiruvchi tekshiruvimizda nol burrlar topildi. Ayirboshlash testi birinchi urinishda muvaffaqiyatli o‘tdi. Yetkazib berish aniq jadval bo‘yicha."
MK
Martin K.
Gidravlik tizimlar muhandisi · O‘zbekiston
★★★★★
"Biz aniq valf korpuslari va manifold bloklarini HXC dan olamiz. Burilish coaxialligi doimiy ravishda 0.005 mm ichida, yopingan sirt Ra har bir partiyada tekshiriladi."
SL
Sofiya L.
Xarid menejeri · O‘zbekiston
★★★★★
"HXC bizning semikonduktor gaz tarqatish plitalarimiz uchun tozalik talablari bilan darhol tanishdi. Hujjatlar to"plami to‘liq va izchil."
JT
Жеймс Т.
Jarayon muhandisi · Tayvan
Savollar va Javoblar
Yarim o'tkazgich Gaz taqsimoti Plitalari Machining haqida tez-tez so'raladigan savollar
Muhandislik va ta'minot bo'yicha savollar jamoamiz tomonidan javob beriladi.
HXC yarim o'tkazgich gaz taqsimoti plitalarini ishlab chiqaradi SEMI F57 ga teng tozalash: (1) ichki sirtlar electropolished Ra 0.4 µm; (2) ultratovushli IPA tozalash; (3) N₂ purgasi va quruqlash; (4) ISO Sinf 5 tozalash xonasi qadoqlash; (5) zarracha hisoboti sertifikati mavjud. Barcha operatsiyalar tozalashdan qadoqlashgacha toza xona muhitida amalga oshiriladi.
Barcha teshiklar bir o'rnatishda quyidagilar yordamida burg'ilanadi kalibrlangan aniqlikdagi burg'ilash mashinasi, teshiklar to'plamlari orasida mashinada diametrni tekshirish bilan orqali amalga oshiriladi. Teshik diametrining toleransi: ±0,005 mm. Teshik pozitsiyasining toleransi: ±0.01 mm. 1000 dan ortiq teshikli dush boshlari uchun, inspeksiya sertifikatida teshiklarning 10% statistik namunasi keltirilgan.
SUS316L (elektropolirovkalangan): O₂, N₂, Ar, He, H₂, NF₃ va suyultirilgan HCl kabi aksariyat jarayon gazlari bilan mos keladi. Al 6061 (qattiq anodlangan): alumina (Al₂O₃) anod qatlami kimyoviy chidamlilikni ta'minlaydigan ftor asosidagi kimyoviy moddalar (HF, NF₃, F₂) uchun. Ti Daraja 5: oksidlovchi va xlor asosidagi kimyoviy moddalar uchun. Buyurtma berishdan oldin materialning sizning maxsus jarayon kimyoviy moddalariga mosligini tasdiqlashni tavsiya etamiz.
HXC barcha standart ultra-yuqori tozalikdagi gaz liniyasi interfeyslarini ishlab chiqaradi: VCR (Swagelok yuzaki muhr), CF ConFlat pichoq-chegarasi, KF (ISO 2861), va maxsus yuzaki muhr gardishlari. Barcha interfeys o'lchamlari ishlab chiqaruvchi spetsifikatsiyasiga muvofiq ishlov beriladi va CMM tomonidan tekshiriladi.
Har bir plita tekshiriladi geliy massa spektrometriyasi orqali qochishni aniqlash: qism geliy bilan bosim ostiga olinadi va qochish detektori probi barcha tashqi sirtlarni va portlarni tekshiradi. O'lchangan qochish darajasi: <1×10⁻⁹ mbar·l/s standart. Sinov sertifikatiga quyidagilar kiradi: asbob kalibrlash sanasi, sinov sanasi, o'lchangan qochish darajasi va operator imzosi. Ushbu sertifikat har bir plastinka bilan ta'minlanadi.
Ha — gaz tarqatish plitalari bilan birga integratsiyalashgan isitish kartrijasi teshiklari yoki qarshilikli isitish yivlari gaz tarqatish kanallari bilan bir xil sozlamada ishlov berilishi mumkin. Isitish teshigi pozitsiyasi tolerantsi: gaz kanali devoridan ±0.1 mm (minimal bo'shliq). Shuningdek, biz harorat sensorini (termokouple) joylashtirish teshiklarini ham ishlov berishimiz mumkin.
Prototip: 8–12 kun (elektropolish + helyum yoriqlash testi + tozalash xonasi qadoqlashni o'z ichiga oladi). Partiya (3–10 dona): 14–20 kun. Ishlab chiqarish (10+ dona): 18–26 kun. Tez prototip: 5–7 kun mavjud — biz bilan bog'laning.
Standart hujjatlar paketi: (1) CMM o'lchov hisobot; (2) Helyum yoriqlash testi sertifikati; (3) Elektropolish jarayoni sertifikati; (4) Material zavodi sertifikati (SUS316L partiya, issiqlik raqami); (5) Tozalash xonasi qadoqlash yozuvi. Barcha hujjatlar aniq ishlab chiqarish partiyasiga bog'langan.
Taklif oling
Chizmachingizni yuboring.
Taklif oling.
Har bir so'rov DFM ko'rib chiqishni o'z ichiga oladi — tolerans imkoniyatlari, material tasdiqlash va ishlab chiqarish boshlashdan oldin jarayon yondashuvi tasdiqlanadi. MOQ 1 dona.
24hr
Taklifga javob
Minimal buyurtma miqdori 1
Prototiplar OK
ISO
9001:2015
📐
Har bir so'rovda DFM ko'rib chiqish
Tolerans imkoniyatlari, jihozlash strategiyasi va material tasdiqlash. Aniq, amalga oshiriladigan fikr-mulohaza — umumiy qarshilik emas.
🎯
Birinchi maqola inspeksiyasi — Standart
Har bir yangi seriya uchun FAI hisobot. Material sertifikatlari va sirt muolajasi sertifikatlari har bir yetkazib berishda kiritilgan.
🔄
Xuddi shunday jarayon: Prototipdan ishlab chiqarishga
Sizning prototipingizdan ishlab chiqarish partiyalariga amal qiladigan jarayon rejasi. Skalirovka qilganda qayta malakali qilish shart emas.
⚙
3 / 4 / 5-o‘qli CNC + Tokarlik
Murakkab tuzilma qismlari, shaftlar, korpuslar va uzatish komponentlari. Metall va muhandislik plastmassalari.
ISO 9001:2015
3/4/5-Axis Frezalash
CNC aylanma
CMM tekshiruvi
Global yetkazib berish