info@hxcnc.com Shenzhen, Китай Відповідь протягом 24 годин
ISO 9001 : 2015 Отримати миттєве цитування
Отримати пропозицію
Отримати кошик
Категорія продукції
Без задирок · Ra 0,8 · Без часток під ультрафіолетом · Чиста кімната
CIC / 001 — 010

Процес без часток
Внутрішні компоненти камер

Ультра-чисті внутрішні компоненти вакуумної камери, оброблені на ЧПУ — екрани, перегородки, дифузори та монтажні конструкції. Без задирок, перевірено при збільшенні 10×, Ra 0,8 мкм або краще, нуль вільних часток після ультразвукового очищення та ультрафіолетової інспекції. Al 6061 з твердим анодуванням або SUS316L електрополірований для плазмового процесу, CVD, травлення та внутрішніх поверхонь камер осадження.

Без задирок
Усі краї
Ra 0.8µm
Поверхня процесу
Чистий приміщення
ISO клас 5
Отримати миттєве цитування → Переглянути Наші роботи
ЧАСТИНА КРЕСЛЕННЯ · CIC-000 ПЕРЕГОРОДКА · Al 6061 HA · СТІНА 1,5 · БЕЗ ЗАДИРОК ISO 9001 · УФ · ККМ
Без задирок · УФ
Стіна ≥1,0 · Ra 0,8
ПЕРЕГОРОДКА · ПОПЕРЕЧНИЙ РОЗРІЗ · ПРОЦЕСНА КАМЕРА Al 6061 HA · Ø180 · 24 ГАЗОВИХ ОТВОРІВ · СТІНА 1,5 · Ra 0,8 1,5 ±0,05 фантомна плазмова хмара ГАЗОВІ ДИФУЗІЙНІ ОТВОРИ · БЕЗ ЗАДИРОК Ra 0.8 без задирок R0,2 фантомний Ø300 пластина УФ ІНСПЕКЦІЯ ЧАСТОК · НУЛЬ ВІЛЬНИХ СТІНА · МАТЕРІАЛ Al 6061 HA ◀≥1.0 мм SUS316L EP≥1,2 мм ПЕК≥1,5 мм SUS304≥1.0 мм ЧАСТИНКА · КЛАС УФ-інспекція ◀жодних вільних ISO клас 5упаковка для чистої кімнати ISO Клас 7напівпровідниковий стандарт CO₂ сніг + ІПС Україна КОМПОНЕНТ · ТИП ЕКРАН ◀ ЛАБІРИНТ ДИФУЗОР ПРОКЛАДКА КОМПЛЕКТИ, ЩО ВІДПОВІДАЮТЬ, ПОСТАВЛЯЮТЬСЯ ЕКРАН + ЛАБІРИНТ + КРОНШТЕЙН МАТЕРІАЛ · ЗАСТОСУВАННЯ Al 6061 HA ◀екран / прокладка SUS316L EPгазозмочуваний SUS304загальне очищення ПЕКелектрично ізольований Алюміній 7075 HAлегкий + жорсткий МАСШТАБ 1:1 · ММ
Напіввакуум · Оптика · Дослідження · Медицина
Застосування
Al 6061 HA · SUS316L EP · PEEK · Al 7075
Матеріали
48hr Котирування · 7-денний прототип
Послуга
Без задирок
Усі краї
перевірено під 10× збільшенням
Ra 0.8µм
Внутрішні поверхні
клас чистоти процесного середовища
Чистий приміщення
Упаковка
стандарт ISO Клас 5
7 днів
Найшвидша доставка
макети замовлення
Виклики обробки

Виклики внутрішніх компонентів камери

Внутрішні компоненти знаходяться у прямому контакті з процесним середовищем — будь-яка стороння частинка, задирка або забруднення поверхні може безпосередньо забруднити пластини або вплинути на хімію процесу.

✂️
Беззадирочне видалення задирок
Кожен внутрішній край повинен бути оброблений до визначеного радіусу без жодних вільних частинок. HXC використовує високоточні інструменти для видалення задирок, очищення CO₂-снігом та інспекція кожного краю під збільшенням 10× перед ультразвуковим очищенням.
⚖️
Контроль деформації тонких стінок
Внутрішні екрани та перегородки часто мають стінки товщиною 1–3 мм. HXC використовує спеціальні пристосування та послідовні легкі проходи для запобігання вібрації та деформації. Товщина стінки перевіряється за допомогою ККМ та ультразвукового товщиноміра.
🔬
Сумісність з чистими приміщеннями
Внутрішні компоненти вимагають матеріалів, які не виділяють газів або частинок у вакуумі. Використовуються лише рідини для різання, сумісні з чистими приміщеннями. Очищення після обробки перевіряється за кількістю частинок та УФ-інспекцією.
Наша Робота

Внутрішні компоненти камери, які ми виготовили

Реальні ЧПУ оброблені напівпровідникові компоненти — очищені, інспектовані та запаковані в чисту кімнату.

Замовити Подібну Деталь →
Екран плазми процесної камериAl 6061 · Екран
Плазмовий екран
Анодування · Без задирок · 10 шт.
Дефлектор камери — електрополірованийSUS316L · Перегородка
Перегородка камери
Ra 0,8 мкм EP · 8 шт.
Внутрішній кронштейн підтримкиAl 6061 · Кронштейн
Кронштейн підтримки
Тонкостінний · 15 шт.
Газорозподільна пластинаSUS316L · Дифузор
Газорозподільна пластина
Точні отвори · 6 шт.
Вставка внутрішньої обшивки камериAl 6061 · Вкладиш
Вкладиш камери
Захисний · 12 шт.
Фокусуюче кільцеSUS316L · Кільце
Фокусуюче кільце
Рівномірний · 8 шт.
Кронштейн датчикаAl 7075 · Кронштейн
Кронштейн датчика
Легкий · 20 шт.
Внутрішня партіяSUS316L · Партія
Партія внутрішніх компонентів
15 шт. · Перевірено на частки
Можливості та допуски

Що Ми Можемо Доставити

Типові технічні характеристики — підтверджуйте точні вимоги під час запиту.

Стандарт заусенцівБез заусенців, перевірено під 10× збільшенням
Внутрішній Ra0,8 мкм стандарт (0,4 мкм доступно)
Чистота частокUV-контроль, відсутність вільних часток
Мінімальна товщина стінки1,0 мм Al / 1,2 мм SUS
Координатно-вимірювальна інспекціяВсі критичні розміри
УпаковкаISO Клас 5, продувка N₂
МатеріалиAl 6061/7075, SUS316L, PEEK
Зняття зазорівІнструмент + CO₂ сніг + ультразвук
ОчищенняІзопропіловий спирт ультразвук + сушка N₂ + УФ
Термін виготовлення (прототип)7–10 днів
Час виготовлення (партія)12–18 днів
DFM для тонкостінних виробівВключено у комерційну пропозицію
Як це працює

Від креслення до частини, готової для чистої кімнати

Завантажте свій креслення — DFM-аналіз, обробка, очищення, інспекція, пакування в чистій кімнаті.

01
Завантажити малюнок
STEP, DXF, PDF. Вкажіть матеріал, допуск та клас чистоти.
02
DFM та цитування
Безкоштовний DFM — тонкі стінки, стратегія видалення задирок, фініш. Пропозиція за 48 годин.
03
Обробка, очищення та контроль
ЧПУ, ультразвукове очищення, КВМ + УФ частинки, пакування в чистій кімнаті.
04
Доставляємо по всьому світу
Повний звіт по розмірах та очищенню. DHL / FedEx / морське перевезення.
Відгуки

Довіряють інженери з обладнання для напівпроводників

★★★★★
"Чистота поверхні та пакування одразу пройшли наш вхідний контроль у чистій кімнаті. Сертифікат УФ-контролю частинок співпав з нашою внутрішньою перевіркою якості."
LW
Лі Вей
Інженер з процесового обладнання · Україна
★★★★★
"HXC одразу зрозуміли вимогу щодо відсутності задирок для наших плазмових екранів. 10-кратна перевірка країв не виявила жодної вільної задирки на першій деталі."
SL
Софі Л.
Інженер з проектування обладнання · Україна
★★★★★
"Два роки роботи з пластинами та деталями камер. Чистота, точність розмірів і стабільність партій — відмінні."
JT
Джеймс Т.
Старший закупівельник · Україна
Поширені запитання

Внутрішні компоненти камери — Поширені питання

Питання з інженерії та закупівель, що відповідає команда компонентів напівпроводників.

Триступенева система контролю частинок: (1) Прецизійне зняття задирок — всі краї зачищені до визначеного радіусу з використанням каліброваних інструментів; (2) Очищення CO₂ снігом — видалення частинок кінетичним способом без забруднення рідиною; (3) ультразвукове очищення IPA + 10× перевірка ультрафіолетовою лампою — нуль виявлених частинок. Сертифікат підрахунку частинок доступний.
Так: Стіни Al 6061 ≥ 1,0 мм і Стіни SUS316L ≥ 1,2 мм досягається за допомогою: (1) кріплення на м’яких губках або розширюваному патроні; (2) послідовних легких фінішних проходів; (3) тільки повітряного охолодження (без тиску охолоджуючої рідини, що деформує тонкі стінки). Товщина стінки перевіряється за допомогою CMM та каліброваного ультразвукового вимірювача.
Al 6061 з твердим анодуванням: стандарт для екранів, вкладишів, кріплення — легкий, з хорошою теплопровідністю. SUS316L електрополірований: компоненти, що контактують з газом — низьке виділення газів, гладка поверхня, стійка до частинок. ПЕК: електрично ізольовані компоненти або там, де потрібно виключити металеве забруднення.
Так — HXC регулярно постачає комплекти внутрішніх компонентів, що підходять один до одного: екран + перегородка + кронштейн підтримки перевіряються на відповідність розмірам як комплект. Сумісність для складання перевіряється CMM перед відправкою. Всі компоненти в комплекті мають один і той же номер партії для відстеження.
Сторона, що контактує з плазмою (екрани, вкладиші): Ra 0,8 мкм, Al з твердим анодуванням або електрополірований SUS316L. Сторона, що контактує з газом (перегородки, дифузори): Ra 0,4 мкм, електрополірована SUS316L. Монтаж та конструкція: Ra 1,6 мкм стандарт. Перевірено профілометром.
Максимальний розмір одного компонента: 500 × 300 × 150 мм. Мінімальний розмір елемента: 1,0 мм стінка, 0,5 мм ширина прорізу. Для складних внутрішніх компонентів з кількома зонами тонких стінок, DFM-аналіз визначає критичні ділянки та рекомендує мінімальні розміри.
Прототип: 7–10 днів. Партія: 12–18 днів. Великі складні внутрішні вузли: 14–22 дні.
Отримати кошик

Надішліть свій малюнок.
Отримати пропозицію.

Кожне звернення включає перевірку DFM — перевірку толерантності, підтвердження матеріалу та підхід до процесу, підтверджені до початку виробництва. Мінімальний обсяг замовлення 1 шт.

24hr
Відповідь на пропозицію
Мінімальне замовлення 1
Прототипи OK
ISO
9001:2015
📐
Огляд DFM кожного запиту
Допустимість допусків, стратегія фіксації та підтвердження матеріалу. Конкретні, actionable відгуки — не загальна відмова.
🎯
Перша серія випробувань — стандарт
звіт FAI на кожен новий запуск. Сертифікати на матеріал та обробку поверхні включені з кожною поставкою.
🔄
Той самий процес: від прототипу до виробництва
План процесу з вашого прототипу застосовується до виробничих партій. Ніякої повторної атестації при масштабуванні.
⚙
КНЦ з 3 / 4 / 5 осей + токарна обробка
Складні структурні деталі, валу, корпуси та компоненти трансмісії. Метали та інженерні пластмаси.
ISO 9001:2015 Фрезерування 3/4/5 осей ЧПУ точіння КІМП (CMM) інспекція Глобальна доставка