Категория продукта
Без заусенцев · Ra 0,8 · Без УФ-частиц · Чистое помещение
CIC / 001 — 010
Процесс без частиц
Внутренние компоненты камеры
Ультра-чистые внутренние компоненты вакуумной камеры, обработанные на ЧПУ — экраны, перегородки, диффузоры и монтажные конструкции. Отсутствие заусенцев подтверждено при увеличении 10×, Ra 0,8 мкм или лучше, отсутствие свободных частиц после ультразвуковой очистки и УФ-контроля. Al 6061 с твердой анодировкой или SUS316L электрополирован для плазменных процессов, CVD, травления и внутренних поверхностей камер осаждения.
Без вроженного заусенца
Все кромки
Ра 0.8µm
Обработка поверхности
Чистая комната
ISO класс 5
ЧЕРТЕЖ ДЕТАЛИ · CIC-000 ПЕРЕГОРОДКА · Al 6061 ТА · СТЕНКА 1,5 · БЕЗ ЗАУСЕНЦЕВ
ISO 9001 · УФ · КИМ
Без заусенцев · УФ
Стенка ≥1,0 · Ra 0,8
Полувакуум · Оптика · Исследования · Медицина
Применения
Al 6061 HA · SUS316L EP · PEEK · Al 7075
Материалы
48hr Котировка · 7-дневный прототип
Сервис
Без вроженного заусенца
Все кромки
проверено под 10× увеличением
проверено под 10× увеличением
Ra 0,8 мкм
Внутренние поверхности
класс чистоты производственной среды
класс чистоты производственной среды
Чистая комната
Упаковка
стандарт ISO Класс 5
стандарт ISO Класс 5
7 дней
самая быстрая доставка
заказы прототипов
заказы прототипов
обсуждения машиностроительных задач
Проблемы внутренних компонентов камеры
Внутренние компоненты находятся в прямом контакте с производственной средой — любая свободная частица, заусенец или загрязнение поверхности может напрямую загрязнить пластины или повлиять на химию процесса.
✂️
Беззаусеночное удаление заусенцев
Каждый внутренний край должен быть обработан до определённого радиуса без свободных частиц. HXC использует прецизионные инструменты для удаления заусенцев, очистку CO₂-снегом и инспекцию каждого края под увеличением 10× до ультразвуковой очистки.
⚖️
Контроль деформации тонких стенок
Внутренние экраны и перегородки часто имеют толщину стенки 1–3 мм. HXC использует специальные приспособления и последовательные лёгкие резы для предотвращения вибрации и деформации. Толщина стенки проверяется с помощью CMM и ультразвукового измерителя.
🔬
Совместимость с чистой комнатой
Внутренние компоненты требуют материалов, которые не выделяют газов и не теряют частицы в вакууме. Используются только совместимые с чистой комнатой охлаждающие жидкости для резки. Очистка после обработки проверяется по количеству частиц и УФ-инспекции.
Наша работа
Запросить аналогичную деталь →
Внутренние компоненты камеры, которые мы изготовили
Истинно обработанные на станках CNC полупроводниковые компоненты — очищены, инспектированы и упакованы в чистую комнату.
Al 6061 · ЭкранПлазменный экран
Анодирование · Без заусенцев · 10 шт.
SUS316L · ПерегородкаПерегородка камеры
Ra 0,8µм EP · 8 шт.
Al 6061 · КронштейнКронштейн поддержки
Тонкостенный · 15 шт.
SUS316L · ДиффузорГазораспределительная пластина
Точные отверстия · 6 шт.
Al 6061 · ВкладышВкладыш камеры
Защитный · 12 шт.
SUS316L · КольцоФокусирующее кольцо
Равномерный · 8 шт.
Al 7075 · КреплениеКрепление датчика
Лёгкий · 20 шт.
SUS316L · партияПартия внутренних компонентов
15 шт. · Проверено на частицы
Возможности и допуски
Что мы можем предоставить
Типичные характеристики — уточняйте точные требования при запросе.
| Стандарт удаления заусенцев | Без заусенцев, проверено при 10× увеличении |
| Внутренний Ra | 0,8 мкм стандарт (0,4 мкм доступно) |
| Чистота частиц | Проверка УФ, отсутствие свободных элементов |
| Минимальная толщина стенки | 1,0 мм алюминий / 1,2 мм нержавеющая сталь |
| CMM инспекция | Все критические размеры |
| Упаковка | ISO Класс 5, продувка азотом |
| Материалы | Алюминий 6061/7075, нержавеющая сталь 316L, PEEK |
| Зачистка краев | Инструмент + CO₂ снег + ультразвук |
| Очистка | Изопропанол ультразвук + азотная сушка + ультрафиолет |
| Срок изготовления (прототип) | 7–10 дней |
| Срок изготовления (партия) | 12–18 дней |
| DFM для тонких стенок | Включено в стоимость |
Как работает
От чертежа до детали, готовой к чистой комнате
Загрузите ваш чертёж — DFM анализ, обработка, очистка, инспекция, упаковка в чистой комнате.
01
Загрузить чертеж
STEP, DXF, PDF. Указать материал, допуска и класс чистоты.
02
DFM & Котировка
Бесплатный DFM — тонкие стенки, стратегия удаления заусенцев, финиш. Расчёт стоимости за 48 часов.
03
Обслуживание: Машина, Очистка и Инспекция
ЧПУ, ультразвуковая очистка, CMM + ультрафиолетовая частица, упаковка в чистой комнате.
04
Доставка по всему миру
Полный отчёт по размерам и очистке. DHL / FedEx / морская доставка.
Отзывы
Доверяют инженеры по оборудованию полупроводников
★★★★★
"Чистота поверхности и упаковка сразу прошли входной контроль чистой комнаты. Сертификат ультрафиолетовой инспекции частиц совпал с нашей внутренней проверкой качества."
LW
Ли Вэй
Инженер по оборудованию · Тайвань
★★★★★
"HXC сразу понял требование отсутствия заусенцев для наших плазменных экранов. 10-кратная инспекция кромок не выявила ни одного свободного заусенца на первом изделии."
SL
Софи Л.
Инженер по проектированию оборудования · Южная Корея
★★★★★
"Два года работы с пластинами и деталями камер. Чистота, точность размеров и стабильность партий отличные."
JT
Джеймс Т.
Старший закупщик · Россия
Часто задаваемые вопросы
Внутренние компоненты камеры — FAQ
Инженерные и закупочные вопросы отвечает команда компонентов полупроводников.
Трёхступенчатый контроль частиц: (1) прецизионная зачистка — все кромки обработаны до определённого радиуса с использованием откалиброванных инструментов; (2) очистка CO₂-снежком — удаление кинетических частиц без жидкостного загрязнения; (3) ультразвуковая очистка IPA + 10× проверка ультрафиолетовой лампой — ноль обнаруживаемых частиц. Сертификат подсчёта частиц доступен.
Да: Стены Al 6061 ≥ 1,0 мм и Стены SUS316L ≥ 1,2 мм достигается с помощью: (1) фиксации на мягких губках или расширяющемся патроне; (2) последовательных лёгких финишных проходов; (3) только воздушного охлаждения (без давления охлаждающей жидкости, деформирующего тонкие стенки). Толщина стенки проверяется КИМ и калиброванным ультразвуковым измерителем.
Al 6061 с твёрдым анодированием: стандарт для экранов, вкладышей, креплений — лёгкий, хорошая теплопроводность. SUS316L электрополирован: компоненты, контактирующие с газом — низкое выделение газов, гладкая поверхность, устойчивая к частицам. PEEK: электрически изолированные компоненты или там, где необходимо исключить загрязнение металлом.
Да — HXC регулярно поставляет комплекты согласованных внутренних компонентов: экран + перегородка + опорный кронштейн проверяются по размерам как комплект. Совместимость сборки проверяется КИМ перед отправкой. Все компоненты в комплекте имеют одинаковый номер партии для отслеживания.
Сторона, обращённая к плазме (экраны, вкладыши): Ra 0,8 мкм, твёрдоанодированный Al или электрополированный SUS316L. Контакт с газом (перегородки, диффузоры): Ra 0,4 мкм, электрополированная нержавеющая сталь SUS316L. Монтаж и конструкция: Ra 1,6 мкм стандарт. Проверено профилометром.
Максимальный размер одного компонента: 500 × 300 × 150 мм. Минимальный размер элемента: 1,0 мм толщина стенки, 0,5 мм ширина паза. Для сложных внутренних компонентов с несколькими зонами тонких стенок DFM-анализ выявляет критические участки и рекомендует минимальные размеры.
Прототип: 7–10 дней. Партия: 12–18 дней. Крупные сложные внутренние сборки: 14–22 дня.
Получить предложение
Отправьте ваш чертеж.
Получить предложение.
Каждое обращение включает DFM-обзор — проверку пригодности допусков, подтверждение материалов и подход процесса до начала производства. MOQ 1 штука.
24hr
Ответ по предложению
Минимальный заказ 1
Прототипы OK
ИСО
9001:2015
📐
DFM-обзор по каждому обращению
Проверка пригодности допусков, стратегия фиксации и подтверждение материалов. Конкретная, действенная обратная связь — без общего сопротивления.
🎯
Первичный контроль — стандарт
FAI-отчет по каждому новому запуску. Сертификаты материалов и сертификации покрытий включаются в каждую поставку.
🔄
Тот же процесс: от прототипа к производству
План процесса от вашего прототипа применяется к производственным партиям. Повторная квалификация не требуется при масштабировании.
⚙
3 / 4 / 5-ось CNC + токарная обработка
Сложные структурные детали, валы, корпуса и компоненты трансмиссий. Металлы и инженерные пластики.
ИСО 9001:2015
Фрезерование 3/4/5 осей
Токарная обработка на станках с ЧПУ
CMM-инспекция
Глобальная доставка