Proces fără particule
Componente interne ale camerei
Componente interne ale camerei de vid prelucrate CNC ultra-curate — scuturi, difuzoare, difuzori și structuri de montaj. Debavurare fără bavuri verificată la 10× mărire, Ra 0.8 µm sau mai bun, zero particule libere după curățarea cu ultrasunete și inspecția UV. Al 6061 anodizat dur sau SUS316L electropolizat pentru interiorul procesului de plasmă, CVD, gravură și depunere.
verificat la 10× mărire
clasă de mediu de proces
standard ISO Clasa 5
comenzi pentru prototipuri
Provocări ale componentelor interne ale camerei
Componentele interne sunt în contact direct cu mediul de proces — orice particulă liberă, bavură sau contaminare de suprafață poate contamina direct waferele sau afecta chimia procesului.
Componente interne ale camerei pe care le-am realizat
Componente semiconductoare prelucrate CNC real — curățate, inspectate și ambalate în cameră curată.
Al 6061 · Ecran
Al 6061 · Suport
SUS316L · Difuzor
Al 6061 · Liner
Inel SUS316L
Al 7075 · Suport
SUS316L · LotCe putem livra
Specificații tipice — confirmați cerințele exacte la solicitare.
| Standard de deburring | Fără bavuri, verificat cu lupa 10× |
| Ra Intern | Std 0,8 µm (disponibil 0,4 µm) |
| Curățenie particule | Inspecție UV, zero loose |
| Grosime minimă a peretelui | 1.0 mm Al / 1.2 mm SUS |
| Inspecție CMM | Toate dimensiunile critice |
| Ambalare | Clasa ISO 5, purjare N₂ |
| Materiale | Al 6061/7075, SUS316L, PEEK |
| Deburring | Unealtă + zăpadă CO₂ + US |
| Curățare | IPA US + N₂ uscat + UV |
| Timp de livrare (proto) | 7–10 zile |
| Timp de livrare (lot) | 12–18 zile |
| DFM perete subțire | Inclus în ofertă |
De la desen la piesă pregătită pentru cameră curată
Încărcați desenul dvs. — revizuire DFM, prelucrare, curățare, inspecție, ambalare în cameră curată.
De încredere pentru inginerii echipamentelor semiconductoare
Componente interne ale camerei — Întrebări frecvente
Întrebări de inginerie și achiziții răspunse de echipa noastră de componente semiconductoare.
Trimite-ți desenul.
Obține o ofertă.
Fiecare solicitare include o revizuire DFM — fezabilitatea toleranței, confirmarea materialului și abordarea procesului înainte de începerea producției. MOQ 1 piesă.