Прецизійне ЧПУ
Затискувачі обробки плівок

Контактні поверхні поліруються до Ra 0.4 мкм без механічних поздовжніх рис, задирок або гострих кутів. Всі крайки контакту заокруглені та мікро-видалені. Матеріал: твердий анодований Al 7075 (HV 400+ поверхня, без відшаровування часток) або PEEK (м'який, не подряпує). Геометрія контакту (V-груша, кишеня) розмірена так, щоб підтримувати вафер лише на краю — не на плоскій поверхні.

Звичайний твердий заготовковий блок захвату 300 мм з Al 7075: близько 120 г. За допомогою моделістично орієнтованого фрезерування кишені (видаляючи весь неструктурний матеріал, зберігаючи жорсткість у точках контакту та суглобах руки): до 45–55 г досяжні. Порожнисті захвати з Ti Grade 5: близько 35 г за вищу вартість.

Контактна кишеня або геометрія клина обробляються до толерантності IT5. Всі позиції контакту вимірюються CMM як набір — будь-яке відхилення висоти або положення між точками контакту виправляється до затвердження захвату. Жорсткість зони контакту з плівками достатня, щоб протистояти відхиленню під вагою плівки (вафля діаметром 300 мм: ~130 г).

Трьохточкова кінематична контактна система (два клиновидні пази + один плоский, або три клиновидні пази) забезпечують визначене розташування wafer. Кут клиноподібного пазу: зазвичай 90°, розмір для товщини краю wafer. Для вакуумних захватів: машини HXC точні вакуумні порти та канавки під гумове кільце у контакті. Індивідуальна геометрія контакту для особливих геометрій wafer (щуп, плоскість, фаски) є стандартною.

Так — два варіанти: (1) Провідний алюміній з ЕСР-покриттям: стандартний алюміній 7075 з провідним анодуванням або покриттям, стійким до ЕСР (поглинені поверхнево опір 10⁵–10⁸ Ω/кв.); (2) ЕСР PEEK: вуглецево-навантажений PEEK з стабільною провідністю ЕСР по всьому матеріалу. Обидва варіанти сумісні з чистими приміщеннями та без частинок.

Усі пальці захвату в комплекті вимірюються CMM для: висоти поверхні контакту (усі пальці зсередини ±0.005 мм один від одного), положення геометрії контакту (±0.01 мм) та ваги (відповідність ±0.5 г). Пальці серійні та відправляються як підтверджено відповідний комплект — не як окремі деталі.

Так — машини HXC інтегрували порти вакуумного зажиму з внутрішніми шляхами вакуумної подачі, пази ущільнення O-рингами на контактній поверхні зразка і швидкодійні з'єднувальні порти для під'єднання вакуумної лінії. Поверхня вакуумного зажиму оброблена з допуском ≤ ±0.01 мм, щоб забезпечити однорідне герметичне з’єднання по зоні контакту зразка.

Прототип: 6–9 днів. Партія (20–100 шт): 10–16 днів. Відповідно підібрані набори з 3 пальців: +1 день на фінальну перевірку відповідності.