CNC de Precizie
Mânuși pentru manipularea plăcilor

Suprafețele de contact sunt lustruite pentru Ra 0.4 µm fără urme de prelucrare, bavuri sau muchii ascuțite. Toate marginile de contact sunt chamferate și micro-deburate. Material: Al 7075 anodizat dur (suprafață HV 400+, fără desprindere de particule) sau PEEK (moale, non-zgârietor). Geometria de contact (canal în V, buzunar) este dimensionată pentru a susține wafer-ul doar la margine — nu pe suprafața plană.

Bucata standard de clește solid din Al 7075 pentru wafer de 300 mm: ~120 g. Cu milling-ul de buzunare informat de topologie al HXC (eliminarea tuturor materialelor non-structurale păstrând rigiditatea la punctele de contact și articulațiile brațului): se poate obține o greutate de 45–55 g. Cleștii goi din Ti Gradul 5: ~35 g cu cost mai mare.

Geometria buzunarului de contact sau a canalului în V este prelucrată pentru a toleranța IT5. Toate pozițiile de contact sunt măsurate de CMM ca un set — orice nepotrivire de înălțime sau poziție între punctele de contact este corectată înainte de aprobarea cleștelui. Rigiditatea zonei de contact cu wafer-ul este suficientă pentru a rezista la deformare sub greutatea wafer-ului (wafer de 300 mm: ~130 g).

Contact cinematic cu trei puncte (două caneluri în V + una plată, sau trei caneluri în V) oferă poziționare deterministă a plăcii. Unghiul canelurii în V: de obicei 90°, dimensionat pentru grosimea marginii plăcii. Pentru prinderile cu vacuum: porturi de vacuum de precizie HXC și caneluri pentru O-ring în suprafața de contact. Geometria personalizată a contactului pentru geometria specială a plăcii (notch, plat, unghiuri) este standard.

Da — două opțiuni: (1) Aluminiu conductiv cu acoperire ESD: aluminiu standard 7075 cu anodizare conductivă sau acoperire specifică ESD (rezistivitate superficială 10⁵–10⁸ Ω/px); (2) PEEK ESD: PEEK încărcat cu carbon cu rezistivitate ESD stabilă pe întregul material. Ambele sunt compatibile cu camere curate și sigure pentru particule.

Toate degetele prinderii dintr-un set sunt măsurate cu CMM pentru: înălțimea suprafeței de contact (toate degetele în ±0.005 mm unul față de celălalt), poziția geometriei de contact (în ±0.01 mm), și greutate (compatibilă în ±0.5 g). Degetele sunt serializate și expediate ca un set compatibil confirmat — nu ca piese individuale.

Da — mașinile HXC integratează porturi de vacuum chuck cu canale interne de rutare a vacuumului, caneluri de etanșare cu O-ring la suprafața de contact cu placa și porturi de conectare rapidă pentru atașarea liniei de vacuum. Fața vacuum chuck este prelucrată pentru o planeitate de ≤ ±0.01 mm pentru a asigura un sigiliu uniform în zona de contact cu placa.

Prototip: 6–9 zile. Lot (20–100 buc): 10–16 zile. Seturi compatibile cu 3 degete: +1 zi pentru inspecția finală de compatibilitate.