Категория продукта
1×10⁻⁹ · EP Ra 0.4µm · O‑кольцо ±0.02 ·可разложима
VMF / 001 — 008
ЧПУ-обрабатывается
Манипуляторы вакуумные
Точные манипулы из нержавеющей стали с вакуумом, обработанные электрической полировкой внутренние поверхности — прокладки под O‑ring размеры канавок вслед за спецификацией производителя, утечка <1×10⁻⁹ мбар·l/s. SUS316L или Al 6061 для вакуумных систем полупроводников, лабораторий и исследований.
<10⁻⁹
Утечка He
Ра 0.4µm
ВЭ Internal
KF/CF/VCR
Стандарты
ДЕТАЛЬНЫЙ ЧЕРТЕЖ · VMF-000 6-PORT MANIFOLD · SUS316L EP
ISO 9001 · ВЫПЕКУЕМЫЙ 300°C
Электрополированное EP
6 KF/CF портов
Полу · Исследование · УХВ · Оптический · Мед · Крио
Сферы применения
SUS316L EP · 304 · Al 6061 · Al 6082
Материалы
48hr Котировка · 7-дневный прототип
Сервис
1×10⁻⁹
Утечка
мбар·силикитр тест гелия
мбар·силикитр тест гелия
Ra 0.4µм
Внутренняя поверхность
электрополировка
электрополировка
KF/CF/VCR
Стандарты фланца
поддержано
поддержано
7 дней
самая быстрая доставка
заказы прототипов
заказы прототипов
обсуждения машиностроительных задач
Проблемы обработки вакуумной развязки
Вакуумная развязка должна достигать уровни утечек, недоступные для стандартного вакуумного тестирования — требуются elektropolished поверхности, точная геометрия пазов под уплотнение O-кольца и производственный процесс, совместимый с чистой комнатой.
💨
Ультра-низкая скорость утечки
Вакуумные развязки для полупроводниковых или исследовательских приложений требуют скоростей утечки <1×10⁻⁹ мбар·l/s. Это требует поверхностей уплотнения без дефектов, точной геометрии пазов под O-кольца, и тестирования на утечку гелием — не только на пневматическое испытание.
🧼
Чистота поверхности и дегазация
Внутренние поверхности должны быть свободны от обрабатывающих остатков, масел и микрошероховатости, которые выделяют газ в процессе вакуума. HXC электрополирует все внутренние поверхности и ультразвуковую очистку в IPA перед упаковкой в чистую комнату.
⊕
Точность интерфейса фланца и порта
Размеры интерфейсов KF, CF и VCR стандартизированы — любое отклонение вызывает несогласование лиц фланца и утечки на упоре лезвия. Машины HXC все поверхности фланцев для вакуума соответствуют стандартам ISO/PNEUROP и проверяются с помощью CMM.
Наша работа
Запросить аналогичную деталь →
Манипуляторы вакуума, которые мы изготовили
Манипуляторы высокого вакуума для полупроводниковой промышленности, исследований и лабораторных систем — испытаны на пропуск helium.
Возможности и допуски
Что мы можем предоставить
Типичные характеристики для этого типа продукции. Подтвердите точные требования в запросе.
| Стандарт расхода утечки | <1×10⁻⁹ мбар·л/с |
| Внутренний Ra | 0,4 мкм (электрополировка) |
| Стандарты фланцев | KF (ISO), CF (ConFlat), VCR, ISO-K |
| Допуск канавки для уплотнительного кольца | ±0.02 мм глубина/ширина |
| Очистка | Ультразвук IPA + чистая комната |
| Г helium утечка тест | Стандарт на все вакуумные модули |
| Материалы | SUS316L, Al 6061, Al 6082 |
| Электрополировка | Внутренние поверхности по умолчанию |
| Сертификация | Свидетельство об испытании на helium утечку |
| Срок изготовления (прототип) | 7–10 дней |
| Срок изготовления (партия) | 12–18 дней |
| Упаковка | Чистовая сумка для чистой комнаты, двойная упаковка |
Как работает
От чертежа до готового изделия
Загрузите свой чертёж — обзор DFM, токарная/фрезерная обработка, испытание давлением/утечкой по мере необходимости и отправка в установленный срок.
01
Загрузить чертеж
STEP, DXF, PDF. Укажите спецификации канала, стандарты резьбы и требования к уплотнению.
02
DFM и коммерческое предложение
Бесплатная оценка DFM — доступ к каналу, осуществимость заусенцев, стратегия уплотняющей поверхности. Коммерческое предложение в течение 48 ч.
03
Машина и тест
Обработкa станком с числовым управлением, удаление заусенцев, очистка, контроль CMM, тест на давление/герметичность согласно спецификации.
04
Доставка по всему миру
Отчет об инспекции + протоколы испытаний прилагаются. DHL / FedEx / морские перевозки.
Отзывы
Доверяют инженеры по всему миру
★★★★★
"Глубокие перфорированные каналы были идеально заусернены — заусенцев не обнаружено при входном контроле. Испытание на герметичность пройдено с первого раза. Доставка точно по графику."
MK
Мартин К.
Инженер по гидравлическим системам · Германия
★★★★★
"Мы закупаем прецизионные корпуса клапанов и распределительные блоки у HXC. coaxial性 отверстий стабильно в пределах 0,005 мм,Ra уплотняющей поверхности проверено в каждой партии."
SL
Софи Л.
Менеджер по закупкам · Франция
★★★★★
"HXC сразу понял требования к чистоте наших распределительных пластин для газораздачи полупроводников. Пакет документации был полным и прослеживаемым."
JT
Джеймс Т.
Процессный инженер · Россия
Часто задаваемые вопросы
Часто задаваемые вопросы по обработке вакуумной коллекторной сборки
Ответы на вопросы по инженерии и закупкам от нашей команды.
Стандарт: <1×10⁻⁹ мбар·л/с (гелиевый тест на утечку). Для приложений УВХ: <1×10⁻¹⁰ мбар·л/с с дополнительной обработкой поверхности и фланцами CF с зазубной кромкой. Каждый вакуумный коллектор HXC проходит испытание на утечку гелием и предоставляется сертификат испытаний с датой, ссылкой на калибровку прибора и измеряемой степенью утечки .
HXC обрабатывает все стандартные вакуумные интерфейсные фланцы: KF (Klein- фланец, ISO 2861) — Ø10 до Ø160 мм; CF (ConFlat, ANSI/BSR) — уплотнение острой кромкой для УВХ; ИСО-К / ИСО-Ф — вакуум с большим диаметром; VCR — примерке трубок для высокого очищения газа и вакуума. Все размерные поверхности фланцев обрабатываются по стандарту ISO/PNEUROP и проверяются на CMM.
HXC электрополирует все внутренние поверхности вакуумных манифолд: Ra 0.4 мкм после электрополирования (в отличие от Ra 0.8–1.6 мкм, полученных механической обработкой). Электрополирование удаляет неровности поверхности и прослабленный хромовый слой, снижая скорость выбросов на 5–10× по сравнению с поверхностями, обработанными только механически. Необходимо для систем, где требуются базовое давление ниже 10⁻⁷ мбар.
(1) Обезжиривание и удаление остатков обработки; (2) Ультразвуковая чистка в IPA; (3) 吹оместная сушка азотом; (4) Визуальный осмотр при ультрафиолетовом освещении на остаточное загрязнение; (5) Двойная герметичная упаковка в чистой комнате в сумке класса ISO 5. Отчёт о количестве частиц по запросу для манипуляторов класса полупроводников.
Размеры пазов уплотнений для фланцев CF и KF соответствуют стандарту AS568 / BS1806 геометрия канавок. Критические допуски: ширина паза ±0.02 мм; глубина паза ±0.02 мм; положение оси по отношению к лицевой поверхности фланца ±0.05 мм. Эти допуски обеспечивают сжатие уплотнения до нужного процента для герметичного уплотнения без утечки. Все размеры пазов проверяются координатно-измерительной машиной.
Да — для приложений UHV (базовое давление <10⁻⁹ мбар): (1) Фланцы CF ConFlat с уплотнением острия-лезвия (медь или уплотнитель с золотым покрытием); (2) внутренний полированный электролитическим способом Ra 0,4 мкм; (3) материалы, совместимые с вакуумом высокого вакуума (SUS316L, немагнитные марки по запросу); (4) выпекаемость — обработано машиностроением из 316L без занятых объемов. доступен helium-проходной тест на утечку <1×10⁻¹⁰ мбар·л/с.
SUS316L: стандарт для вакуума высокого и ультра-высокого — низкий отдаваемость газов, электрополировка, немагнитный (стандартная марка). Ал 6061/6082: для систем с меньшим вакуумом (< 10⁻⁶ мбар), где важна масса — фланцы KF, твердое анодирование. СУС304: для среднего вакуума и чистых технологических систем. Сертификаты материалов по маркам и соответствие RoHS предоставляются.
Прототип: 7–10 дней (включает электрополировку + тест на утечку гелием). Малые партии (5–20 шт): 12–18 дней. Производство: 16–24 дня. КонФлэт манифольды для ультравысокого вакуума: добавить 2–3 дня.
Получить предложение
Отправьте ваш чертеж.
Получить предложение.
Каждое обращение включает DFM-обзор — проверку пригодности допусков, подтверждение материалов и подход процесса до начала производства. MOQ 1 штука.
24hr
Ответ по предложению
Минимальный заказ 1
Прототипы OK
ИСО
9001:2015
📐
DFM-обзор по каждому обращению
Проверка пригодности допусков, стратегия фиксации и подтверждение материалов. Конкретная, действенная обратная связь — без общего сопротивления.
🎯
Первичный контроль — стандарт
FAI-отчет по каждому новому запуску. Сертификаты материалов и сертификации покрытий включаются в каждую поставку.
🔄
Тот же процесс: от прототипа к производству
План процесса от вашего прототипа применяется к производственным партиям. Повторная квалификация не требуется при масштабировании.
⚙
3 / 4 / 5-ось CNC + токарная обработка
Сложные структурные детали, валы, корпуса и компоненты трансмиссий. Металлы и инженерные пластики.
ИСО 9001:2015
Фрезерование 3/4/5 осей
Токарная обработка на станках с ЧПУ
CMM-инспекция
Глобальная доставка