info@hxcnc.com Shenzhen, Китай Відповідь протягом 24 годин
ISO 9001 : 2015 Отримати миттєве цитування
Отримати пропозицію
Отримати кошик
Категорія продукції
<1×10⁻⁸ · ЕП Ra 0,4мкм · ≤0,01мм Плоскість · Лицьова поверхня ущільнення після фрезерування
ВКК / 001 — 008

Прецизійна обробка на ЧПУ
Корпуси вакуумних камер

Індивідуально оброблені на ЧПУ корпуси вакуумних камер — плоскість ущільнювальної поверхні ≤ 0,01 мм, фланцеві інтерфейси до стандарту KF/CF/ISO-K, електрополірування внутрішніх поверхонь Ra 0,4 мкм, тест на герметичність гелієм <1×10⁻⁸ мбар·л/с. SUS316L та Al 6061 для обладнання напівпровідникових процесів і дослідницьких вакуумних систем.

<10⁻⁸
Хід витоку
Ra 0.4µm
EP Внутрішній
≤0.01mm
Плоскість ущільнення
Отримати миттєве цитування → Переглянути Наші роботи
КРЕСЛЕННЯ ДЕТАЛІ · ВКК-000 КОРПУС ПРОЦЕСНОЇ КАМЕРИ · SUS316L ЕП ISO 9001 · ЧИСТА КІМНАТА ISO 5
Лицьова поверхня ущільнення після фрезерування
Багатопортові фланці
CF КРИШКА ФЛАНЕЦЬ · УЩІЛЬНЮВАЛЬНА ПОВЕРХНЯ ВАКУУМНА ПОРОЖНИНА P < 10⁻⁸ мбар ЕП Ra 0,4мкм KF40 KF25 VCR ISO-K · НАСОС t ≥ 8мм ⏥ 0,01 КОРПУС КАМЕРИ · ⏥ 0,01 · ЕП ЕП · ВНУТРІШНЯ Ra ВИТОЧЕНИЙ Ra 1.6 ✗ EP ◀ Ra 0.4 ✓ ДЕГАЗАЦІЯ ÷10 · ГОТОВИЙ ДО НАДВИСОКОГО ВАКУУМУ УЩІЛЬНЮВАЛЬНА ПОВЕРХНЯ · ФРЕЗЕРУВАННЯ Ø100 ФРЕЗА однопунктний · фінальна операція ⏥ ≤ 0.01 мм Ra 0.8 мкм ущільнення без слідів вібрації ✓ після всіх операцій ✓ перевірка CMM QC · 6-КРОКІВ 1· Дегрізація · видалення стружки 2· EP внутрішній Ra 0.4 3· IPA ультразвуковий + N₂ 4· Витік гелію <10⁻⁸ 5· Повний звіт CMM 6· ISO 5 чиста упаковка МАТЕРІАЛ · БАЗОВИЙ ТИСК МАТЕРІАЛ P мін ВИКОРИСТАННЯ SUS316L EP ◀ 10⁻¹⁰ UHV напів SUS316L 10⁻⁸ Дослідження HV SUS304 10⁻⁷ промисловий Al 6061 HA 10⁻⁶ оптичний · MV Al 6082 10⁻⁵ бюджет MV МАСШТАБ 1 : 4 · ММ
Напівпровідниковий · Дослідження · Оптичний · Медицина · Промисловість
Випадки використання
SUS316L EP · 304 · Al 6061 · Al 6082
Матеріали
48hr Цитата · 8-денний прототип
Послуга
<1×10⁻⁸
Хід витоку
тест на гелій
Ra 0.4µм
Внутрішня поверхня
електрополіровка
≤0.01мм
Плоскість герметичної поверхні
всі з'єднувальні фланці
8 днів
Найшвидша доставка
макети замовлення
Виклики обробки

Виклики обробки корпусу вакуумної камери

Корпус вакуумної камери повинен поєднувати структурну жорсткість під атмосферним навантаженням з ультра-чистими внутрішніми поверхнями та безвітковими фланцевими з'єднаннями — вимоги, які тягнуть в протилежні сторони під час обробки.

💨
Плоскість герметичної поверхні
Кожна фланцева поверхня — будь то CF, KF або ISO-K — повинна бути плоскою до ≤ 0.01 мм і без слідів обробки, які можуть створити мікровитікання. HXC фрезерує всі ущільнювальні поверхні як спеціальну фінальну операцію, що посилається на дату камери.
🧼
Ультра-чисті внутрішні поверхні
Внутрішні поверхні повинні бути позбавлені від шліфувальних залишків, масел та мікрошероховатості, які виділяють гази у високовакуумному режимі. HXC електрополірує внутрішні поверхні та ультразвуково очищає в IPA перед упакуванням у чисту кімнату.
🏗️
Структурна цілісність під вакуумом
Стіни камери повинні витримувати диференційний тиск 1 бар без деформації. Товщина стінки, геометрія ребер та дизайн портів перевіряються в DFM на структурну адекватність при робочих умовах.
Наша Робота

Корпуси вакуумних камер, які ми виготовили

Алюмінієві та нержавіючі вакуумні камери для обладнання напівпровідникових процесів та дослідницьких систем.

Замовити Подібну Деталь →
Корпус процесу камери — SUS316L
Дослідна вакуумна камера
Камера осадження PVD
Оптичний вакуумний корпус
Корпус процесу CVD
Камера реактора ALD
Медична вакуумна камера
Корпуси камер — Партія
Можливості та допуски

Що Ми Можемо Доставити

Типові технічні характеристики — підтверджуйте точні вимоги під час запиту.

Швидкість витоку<1×10⁻⁸ мбар·л/с (тест на гелій)
Внутрішній Ra0,4 мкм (електрополіровка)
Плоскість ущільнюючої поверхні≤ 0.01 мм
Фланцеві стандартиCF, KF, ISO-K/F, VCR, індивідуальні
Максимальний розмір камериØ600 мм × 500 мм
Мінімальна товщина стінки6 мм (Ø100 мм), перевіряється за розміром
МатеріалиSUS316L, SUS304, Al 6061/6082
ЕлектрополіровкаСтандарт — всі внутрішні поверхні
Гелійний тест100% кожна камера, сертифікат
ОчищенняIPA ультразвуковий + N₂ + упаковка в чистій кімнаті
Термін виготовлення (прототип)8–12 днів
Час виготовлення (партія)14–22 дні
Як це працює

Від креслення до частини, готової для чистої кімнати

Завантажте ваше креслення — огляд DFM, механічна обробка, очищення, контроль та пакування у чистій кімнаті у згадані терміни.

01
Завантажити малюнок
STEP, DXF, PDF. Вкажіть матеріал, допуск та клас чистоти.
02
DFM та цитата
Безкоштовний огляд DFM — досяжність ущільнювальної поверхні, тонкі стінки, стратегія зняття з заусень. Пропозиція за 48 годин.
03
Машина, очищення та інспекція
ЧПУ обробка, ультразвукове очищення, контроль за допомогою CMM, пакування у чистій кімнаті.
04
Доставляємо по всьому світу
Повний звіт за розмірами + запис очищення додаються. DHL / FedEx / морським перевезенням.
Відгуки

Довіряють інженери з обладнання для напівпроводників

★★★★★
"Чистота поверхні та упаковка миттєво відповідали вимогам нашого входного огляду чистої зони. Звіт за розмірами повністю відповідав нашій перевірці CMM."
LW
Лі Вей
Інженер з процесового обладнання · Україна
★★★★★
"HXC зрозумів вимоги до вакуумного герметизації наших компонентів камери без тривалого пояснення. Час виготовлення був exactly as quoted."
SL
Софі Л.
Інженер з проектування обладнання · Україна
★★★★★
"Ми протягом двох років постачаємо обробку пікоподібних та частини камери від HXC. Чистота, розмірна точність та узгодженість партій — відмінні."
JT
Джеймс Т.
Старший закупівельник · Україна
Поширені запитання

Часто задавані питання про обробку корпусів вакуумних камер

Питання з інженерії та закупівель, що відповідає команда компонентів напівпроводників.

Так. Ущільнюючі поверхні обробляються фрезеруванням як остання операція обробки — після всіх свердлінь, нарізання різьби та обробки портів — щоб запобігти деформації поверхні під час наступних операцій. Плоскість: ≤ 0.01 мм стандартна, ≤ 0.005 мм для UHV. Кожна камера проходить тест на витік за допомогою мас-спектрометра з гелієм <1×10⁻⁸ мбар·л/с перед відправкою. Сертифікат випробування на витік включено.
SUS316L: стандарт для високого та ультрависокого вакууму — низька дегазація, електрополірування, зварювальні, немагнітні. Al 6061/6082: для систем з нижчим вакуумом (< 10⁻⁶ мбар), де важливі вага та теплопровідність. SUS304: для середнього вакууму та чистих процесів. Сертифікати матеріалів надаються з кожним замовленням.
Так — HXC надає повну послідовність обробки після механічної обробки: (1) Дегрізація; (2) Електрополірування внутрішніх поверхонь (Ra 0.4 мкм); (3) Ультразвукове очищення IPA; (4) Продувка N₂ та сушка; (5) Випробування на витік гелію; (6) Упаковка в чистій кімнаті класу ISO 5. Пасивація (SUS316L) та жорстке анодування (Al) також доступні.
CF ConFlat (фланець з ножевим краєм UHV, DN16–DN500), KF/QF (ISO 2861, Ø10–160 мм), ISO-K / ISO-F (великого діаметра), VCR ущільнення обличчя, та індивідуальні фланці з герметичним ущільненням. Усі розміри фланців обробляються відповідно до стандарту ISO/PNEUROP та перевіряються CMM.
HXC виконує розрахунок тискового судини (спрощений для застосувань без тискового судини) як частину огляду DFM: товщина стінки проти різниці робочого тиску (1 бар), напруга на портах та зварних швах фланців, а також прогин на найбільшій непідтримуваній панелі. Ми позначаємо недостатньо спроектовані області та рекомендуємо збільшення товщини стінки або посилення перед різанням.
Так — газові вхідні порти, електричні фланці проходів, рами оглядових вікон та порти датчиків можуть бути оброблені в одному налаштуванні з корпусом камери. Усі позиції портів перевіряються CMM. Розміри фланців проходів обробляються відповідно до креслення виробника проходів.
Частини очищені, заповнені N₂ та подвійно запечатані в мішках чистої кімнати класу ISO 5. Для камер семікондукторного класу: доступний сертифікат кількості часток. Всі порти закриті кришками, що захищають від електростатичного розряду, перед упаковкою. Упаковка маркована номером партії, матеріалом та результатом тесту на витік для відстежуваності.
Прототип (новий дизайн камери, повне оброблення та тестування): 8–12 днів. Повторні замовлення (партія): 12–20 днів. Камери УВЧ з витоком <1×10⁻¹⁰: додати 2–3 дні.
Отримати кошик

Надішліть свій малюнок.
Отримати пропозицію.

Кожне звернення включає перевірку DFM — перевірку толерантності, підтвердження матеріалу та підхід до процесу, підтверджені до початку виробництва. Мінімальний обсяг замовлення 1 шт.

24hr
Відповідь на пропозицію
Мінімальне замовлення 1
Прототипи OK
ISO
9001:2015
📐
Огляд DFM кожного запиту
Допустимість допусків, стратегія фіксації та підтвердження матеріалу. Конкретні, actionable відгуки — не загальна відмова.
🎯
Перша серія випробувань — стандарт
звіт FAI на кожен новий запуск. Сертифікати на матеріал та обробку поверхні включені з кожною поставкою.
🔄
Той самий процес: від прототипу до виробництва
План процесу з вашого прототипу застосовується до виробничих партій. Ніякої повторної атестації при масштабуванні.
⚙
КНЦ з 3 / 4 / 5 осей + токарна обробка
Складні структурні деталі, валу, корпуси та компоненти трансмісії. Метали та інженерні пластмаси.
ISO 9001:2015 Фрезерування 3/4/5 осей ЧПУ точіння КІМП (CMM) інспекція Глобальна доставка