Безперервна канавка для вакууму
Рамки для герметизації камер
Точні вакуумні ущільнювальні рами, оброблені на ЧПУ — канавка для ущільнювача по всьому внутрішньому периметру з точністю ±0,02 мм, плоскість рами ≤ 0,008 мм, діагональна прямокутність ±0,05 мм. SUS316L електрополірований або Al 6061 з твердим анодуванням для рам вакуумних дверей, рам оглядових вікон та ущільнювальних структур отворів камер.
розмір ущільнення
ущільнювальна поверхня
прямокутні рами
макети замовлення
Виклики ущільнювальних рам камери
Прямокутна ущільнювальна рама повинна одночасно забезпечувати плоскість, діагональну прямокутність і точність канавки під ущільнювач — тонкі секції рами схильні до деформації під час обробки та термічної обробки.
Ущільнювальні рами камер, які ми виготовили
Реальні ЧПУ оброблені напівпровідникові компоненти — очищені, інспектовані та запаковані в чисту кімнату.
SUS316L · Вакуумні двері
Al 6061 · Оглядове вікно
SUS316L · Процес
Al 6061 · Дослідження
SUS304 · Медичний
SUS316L · Індивідуальне виготовлення
Al 6061 · Стандарт
SUS316L · ПартіяЩо Ми Можемо Доставити
Типові технічні характеристики — підтверджуйте точні вимоги під час запиту.
| упірка різьблення О-ринга | ±0,02 мм глибина / ширина |
| Плоскість рамки | ≤ 0,008 мм ущільнювальні поверхні |
| Діагональна точність | ±0,05 мм |
| Прямолінійність довгої сторони | ≤ 0,01 мм / 300 мм |
| Максимальний розмір рамки | 800 × 600 мм |
| Мінімальна ширина секції | 8 мм |
| Матеріали | SUS316L, SUS304, Al 6061/7075 |
| Обробка поверхні | Пасивація, електрополірування, твердий анод |
| Очищення | IPA ультразвук + набір чистої кімнати |
| Інспекція | CMM сканування канавки по всьому периметру |
| Термін виготовлення (прототип) | 7–10 днів |
| Час виготовлення (партія) | 12–18 днів |
Від креслення до частини, готової для чистої кімнати
Завантажте ваше креслення — огляд DFM, механічна обробка, очищення, контроль та пакування у чистій кімнаті у згадані терміни.
Довіряють інженери з обладнання для напівпроводників
Рамки герметизації камер — Поширені запитання
Питання з інженерії та постачання, відповідають нашою командою.
Надішліть свій малюнок.
Отримати пропозицію.
Кожне звернення включає перевірку DFM — перевірку толерантності, підтвердження матеріалу та підхід до процесу, підтверджені до початку виробництва. Мінімальний обсяг замовлення 1 шт.