Категория продукта
Паз ±0,02 · Плоскостность ≤0,008 · Диагональ ±0,05 · Герметичность He
CSF / 011 — 020
Вакуум с непрерывным пазом
Рамки уплотнения камеры
Точные вакуумные герметизирующие рамы с ЧПУ — паз под уплотнительное кольцо по всему внутреннему периметру с точностью ±0,02 мм, плоскостность рамы ≤ 0,008 мм, диагональная прямоугольность ±0,05 мм. SUS316L электрополированная или Al 6061 с твердой анодировкой для вакуумных дверных рам, рам смотровых окон и герметизирующих структур отверстий камер.
±0,02mm
Паз под уплотнительное кольцо
≤0.008mm
Плоскостность рамы
±0,05mm
Диагональ
Чертеж детали · CSF-011 Вакуумная дверь · SUS316L EP · 400×280 · Паз ±0,02
ISO 9001 · Герметичность He · КИМ
Периметрический паз
Диаг ±0,05
Полувакуум · Оптика · Исследования · Медицина
Применения
SUS316L EP · SUS304 · Al 6061 · Al 7075
Материалы
48hr Котировка · 7-дневный прототип
Сервис
±0.02 мм
Паз для уплотнительного кольца
размер уплотнения
размер уплотнения
≤0,008 мм
Плоскостность рамы
уплотнительная поверхность
уплотнительная поверхность
±0.05 мм
Диагональная точность
прямоугольные рамы
прямоугольные рамы
7 дней
самая быстрая доставка
заказы прототипов
заказы прототипов
обсуждения машиностроительных задач
Проблемы с уплотнительными рамами камеры
Прямоугольная уплотнительная рама должна одновременно обеспечивать плоскостность, диагональную прямоугольность и точность паза под уплотнительное кольцо — тонкие секции рамы подвержены деформации при обработке и термообработке.
📐
Прямолинейность и плоскостность длинной стороны
Длинные стороны рамы (300–800 мм) подвержены прогибу из-за остаточных напряжений после обработки. HXC использует поэтапную черновую обработку + старение + финишное шлифование для достижения плоскостности ≤ 0,008 мм на всех уплотнительных поверхностях.
⊕
Точность непрерывного паза
Пазы под уплотнительное кольцо по всему периметру должны постоянно сохранять ширину ±0,02 и глубину ±0,02 — включая углы, где инструмент меняет направление. КИМ сканирует весь паз в более чем 20 точках.
◻️
Диагональная прямоугольность
Прямоугольная рама должна иметь диагональную прямоугольность в пределах ±0,05 мм — нарушение прямоугольности приводит к неравномерному сжатию уплотнительного кольца в углах. HXC обрабатывает все стороны за одну установку для сохранения прямоугольности.
Наша работа
Запросить аналогичную деталь →
Уплотнительные рамы камер, которые мы изготовили
Истинно обработанные на станках CNC полупроводниковые компоненты — очищены, инспектированы и упакованы в чистую комнату.
SUS316L · Вакуумная дверьУплотнительная рама вакуумной двери
≤0,008 мм · Пассивация · 8 шт.
Al 6061 · Окно для обзораУплотнительная рама окна
Канавка под O-кольцо · Анодирование · 12 шт.
SUS316L · Технологический процессРама проема технологической камеры
Электрополировка · 5 шт.
Al 6061 · ИсследованияРама исследовательской камеры
Совместимо с KF35 · 6 шт.
SUS304 · МедицинскийМедицинская вакуумная рама
Пассивация · 10 шт.
SUS316L · Индивидуальный заказИндивидуальная уплотнительная рама
Нестандартный профиль · 4 шт.
Al 6061 · СтандартСтандартная прямоугольная рама
Чистая комната · 20 шт.
SUS316L · партияУплотнительные рамки — партия
10 шт. · проверено на КИМ
Возможности и допуски
Что мы можем предоставить
Типичные характеристики — уточняйте точные требования при запросе.
| Допуск канавки для уплотнительного кольца | ±0,02 мм глубина / ширина |
| Плоскостность рамки | ≤ 0,008 мм уплотнительные поверхности |
| Точность диагонали | ±0,05 мм |
| Прямолинейность длинной стороны | ≤ 0,01 мм / 300 мм |
| Максимальный размер рамки | 800 × 600 мм |
| Минимальная ширина секции | 8 мм |
| Материалы | SUS316L, SUS304, Al 6061/7075 |
| Обработка поверхности | Пассивация, электрополировка, твёрдое анодирование |
| Очистка | Ультразвук IPA + чистая комната |
| Инспекция | КИМ сканирование полного периметра канавки |
| Срок изготовления (прототип) | 7–10 дней |
| Срок изготовления (партия) | 12–18 дней |
Как работает
От чертежа до детали, готовой к чистой комнате
Загрузите ваш чертеж — обзор DFM, токарная обработка, очистка, инспекция и упаковка в чистую комнату в установленный срок.
01
Загрузить чертеж
STEP, DXF, PDF. Указать материал, допуска и класс чистоты.
02
DFM & Котировка
Бесплатный DFM-анализ — возможность герметизации, тонкие стенки, удаление заусенцев. Расчёт стоимости за 48 часов.
03
Обслуживание: Машина, Очистка и Инспекция
ЧПУ-обработка, ультразвуковая очистка, КИМ, упаковка в чистой комнате.
04
Доставка по всему миру
Полный размерный отчет + акт очистки прилагаются. DHL / FedEx / морские перевозки.
Отзывы
Доверяют инженеры по оборудованию полупроводников
★★★★★
"Чистота поверхности и упаковка сразу прошли входной контроль в чистой комнате. Отчёт по размерам полностью совпал с нашей проверкой на КИМ."
LW
Ли Вэй
Инженер по оборудованию · Тайвань
★★★★★
"HXC понял требования к вакуумной герметизации компонентов нашей камеры без долгого объяснения. Срок поставки был точно указан."
SL
Софи Л.
Инженер по проектированию оборудования · Южная Корея
★★★★★
"Два года работы с пластинами и деталями камер. Чистота, точность размеров и стабильность партий отличные."
JT
Джеймс Т.
Старший закупщик · Россия
Часто задаваемые вопросы
Рамы для герметизации камер — Часто задаваемые вопросы
Ответы на вопросы по инженерии и закупкам от нашей команды.
Канавка под уплотнительное кольцо по всему периметру обрабатывается специальным фрезерным инструментом за одну непрерывную операцию — одинаковый диаметр инструмента, одинаковая подача и глубина на всем протяжении. КИМ сканирует канавку в более чем 20 точках по периметру и сообщает о максимальных отклонениях по ширине и глубине.
(1) Алюминиевый слиток T651 (предварительно растянутый, с низким остаточным напряжением) или отожжённая плита SUS316L; (2) Двухступенчатая обработка — черновая обработка → 24 часа выдержки → чистовая обработка; (3) Распределённое крепление в нескольких точках для предотвращения прогиба в середине пролёта; (4) Шлифование поверхности уплотнительных плоскостей как заключительная операция.
Уплотнение по плоскости с O-кольцом (наиболее распространено для вакуумных дверей): геометрия канавки AS568A / BS1806. Плоская прокладка: гладкая поверхность Ra 0,8 мкм, плоскостность ≤ 0,01 мм. Металлическое лезвийное уплотнение: поверхность Ra 0,2 мкм, плоскостность ≤ 0,003 мм. Уплотнение проволокой из индия: прецизионная геометрия канала для прямоугольных рам сверхвысокого вакуума.
Минимальная ширина сечения: 8 мм для стандартных рам с уплотнительным кольцом (ширина канавки + минимум 3 мм стенки с каждой стороны). Для более узких рам необходимо использовать уплотнительное кольцо меньшего сечения. DFM-проверка подтверждает минимальное сечение для вашей геометрии рамы.
Да — для больших рам, где обработка из цельного материала приводит к перерасходу материала, HXC изготавливает из сварных заготовок из SUS316L или алюминия. Заготовка сваривается TIG или лазером, затем подвергается снятию напряжения перед обработкой. Все уплотнительные поверхности и геометрия канавки окончательно обрабатываются после сварки.
Да — любой профиль (круглый, овальный, Г-образный, с вырезами под порты) обрабатывается на нашем 5-осевом ЧПУ. Канавка под уплотнительное кольцо непрерывно повторяет профиль рамы независимо от формы. Допуск профиля: ±0,05 мм. DFM-проверка контролирует минимальную ширину сечения во всех переходах профиля.
Прототип: 7–10 дней. Партия: 12–18 дней. Крупные рамы (>500 мм) с шлифовкой поверхности: добавить 2–3 дня.
Получить предложение
Отправьте ваш чертеж.
Получить предложение.
Каждое обращение включает DFM-обзор — проверку пригодности допусков, подтверждение материалов и подход процесса до начала производства. MOQ 1 штука.
24hr
Ответ по предложению
Минимальный заказ 1
Прототипы OK
ИСО
9001:2015
📐
DFM-обзор по каждому обращению
Проверка пригодности допусков, стратегия фиксации и подтверждение материалов. Конкретная, действенная обратная связь — без общего сопротивления.
🎯
Первичный контроль — стандарт
FAI-отчет по каждому новому запуску. Сертификаты материалов и сертификации покрытий включаются в каждую поставку.
🔄
Тот же процесс: от прототипа к производству
План процесса от вашего прототипа применяется к производственным партиям. Повторная квалификация не требуется при масштабировании.
⚙
3 / 4 / 5-ось CNC + токарная обработка
Сложные структурные детали, валы, корпуса и компоненты трансмиссий. Металлы и инженерные пластики.
ИСО 9001:2015
Фрезерование 3/4/5 осей
Токарная обработка на станках с ЧПУ
CMM-инспекция
Глобальная доставка