Категория продукта
≤±0.005 мм · IT5 · Ra 0.4 мкм · Подобранные наборы
WPP / 001 — 008
Прецизионная ЧПУ
Соединительные детали для позиционирования пластин
Прецизионная обработка CNC посадочных элементов для подложек — направляющие иглы, кинематические пластины и ограничители с повторяемостью ≤ ±0.005 мм, контакт по кромке Ra 0.4 мкм, материалы совместимы с чистыми помещениями. Для зажимов подложек, носителей и процессе изделий.
±0,005mm
Повторяемость.
IT5
Штифт / Паз
±0,003mm
Совпадение наконечника
ДЕТАЛЬ ЧЕРТЕЖ · WPP-000 3-ШТИФТОВЫЙ КИНЕМАТИЧЕСКИЙ НАБОР · Al 7075 ТВЕРДАЯ НАНО-ВОЗДУШНАЯ ОБРАБОТКА
ISO 9001 · ЧИСТАЯ ПОМЕЩЕНИЕ N₂
300 мм Подложка Выше
3-точечный Кинематик
Полу· литография · инспекция · носитель · лаборатория
Сферы применения
Al 7075 HA · SUS316L · PEEK · SiC
Материалы
48hr Котировка · 5-дневный прототип
Сервис
≤±0.005мм
повторяемость
калибровка позиционирования
калибровка позиционирования
Ra 0.4µм
Контактная поверхность
поверхность, безопасная для фольги/плосkiej wafer
поверхность, безопасная для фольги/плосkiej wafer
IT5
Класс допуска
штырь и выемка
штырь и выемка
5 дней
самая быстрая доставка
заказы прототипов
заказы прототипов
обсуждения машиностроительных задач
Проблемы позиционирования пластины
Позиционные детали пластины определяют точное положение пластины на зажимном патроне или держателе — любое отклонение в высоте штыря, положении или качестве контактной поверхности напрямую приводит к смещению пластины.
⦿
Повторяемость позиционирования
Все позиционные штыри и подкладки должны возвращать пластину к номинальному положению с точностью не более ±0.005 мм за каждый цикл. Это требует: OD штыря IT5, выемка штыря H5 и однородность высоты кончика штыря ±0.003 мм по всем штырям.
✂️
Защита крайних контактов
Края пластин хрупкие. Контактные поверхности должны быть отполированы до Ra 0.4 мкм с закругленными кромками (R0.1–0.3 мм), чтобы предотвратить скалывание. HXC выполняет специализированные процессы микро-скобления и полировки на всех контактных поверхностях пластины.
🔬
Согласованность размеров в наборах
Набор позиционирования из 3 штырей или 6 штырей должен быть размерно согласован — любое различие по высоте или по положению между штырями в наборе вызывает наклон пластины. Все позиционные детали измеряются и подбираются по координатно-измерительной машине перед отправкой как проверенный набор.
Наша работа
Запросить аналогичную деталь →
Позиционирующие детали пластины, которые мы сделали
Истинно обработанные на станках CNC полупроводниковые компоненты — очищены, инспектированы и упакованы в чистую комнату.
Возможности и допуски
Что мы можем предоставить
Типичные характеристики — уточняйте точные требования при запросе.
| Повторяемость | ≤ ±0.005 мм |
| Tolerance посадочного Ø шпильки | IT5 (h5) |
| Однородность высоты кончика | ±0.003 мм (соответствующие комплекты) |
| Контактная поверхность Ra | 0.4 мкм |
| Кромка радиуса | R0.1–0.3 мм |
| Размеры пластин | Совместимо с 100–300 мм |
| Материалы | Al 7075, SUS316L, PEEK, SUS304 |
| Соответствие набору | Высота CMM совпадает в пределах ±0.003 мм |
| Очистка | Ультразвук IPA + чистая комната |
| Срок изготовления (прототип) | 5–8 дней |
| Срок изготовления (партия) | 9–14 дней |
| Прослеживаемость | Серийный и пакетный подбор |
Как работает
От чертежа до детали, готовой к чистой комнате
Загрузите ваш чертеж — обзор DFM, токарная обработка, очистка, инспекция и упаковка в чистую комнату в установленный срок.
01
Загрузить чертеж
STEP, DXF, PDF. Указать материал, допуска и класс чистоты.
02
DFM и коммерческое предложение
Бесплатный обзор DFM — осуществимость уплотнительной поверхности, тонкие стенки, стратегия снятия заусенцев. Предложение в течение 48 часов.
03
Обработка, чистка и инспекция
ЧПУ обработка, ультразвуочная очистка, измерение CMM, упаковка в чистую комнату.
04
Доставка по всему миру
Полный размерный отчет + акт очистки прилагаются. DHL / FedEx / морские перевозки.
Отзывы
Доверяют инженеры по оборудованию полупроводников
★★★★★
"Поверхностная чистота и упаковка сразу соответствовали нашим требованиям входного инспекционного контроля чистой комнаты. Размерной отчет полностью совпал с нашим контролем CMM."
LW
Ли Вэй
Инженер по оборудованию · Тайвань
★★★★★
"HXC понял требования к вакуумной герметизации компонентов нашей камеры без долгого объяснения. Срок поставки был точно указан."
SL
Софи Л.
Инженер по проектированию оборудования · Южная Корея
★★★★★
"Мы уже два года закупаем обработку подложек и детали камеры у HXC. Чистота, размерная точность и партийная стабильность на высоте."
JT
Джеймс Т.
Старший закупщик · Россия
Часто задаваемые вопросы
Часто задаваемые вопросы о позиционировании пластин
Инженерные и закупочные вопросы отвечает команда компонентов полупроводников.
Стандарт: ≤ ±0.005 мм повторяемое позиционирование. Для очень точныхApplications зажимного и совмещения: ≤ ±0.002 мм с дополнительной обработкой шлифовкой и скринингом CMM. Повторяемость достигается за счёт: допуску OD штифта IT5, согласованной посадке H5 и высоте кончика штифта, проверяемой до ±0.003 мм в каждом наборе.
Все края, контактирующие с пластиной, обрабатываются до: Определённый радиус заокругления кромки R0.1–0.3 мм обработано специализированным микрорезьбоножом для снятия заусенцев; (2) Ra 0.4 µm полированная контактная поверхность; (3) Проверка ультрафиолетовой лампы для любой микрошероховатости или неровности поверхности. PEEK и твердооксидированные алюминий предпочтительные материалы — оба обладают HV-твердостью, сопоставимой с твердостью кремния, что минимизирует контактное напряжение.
Все пины или контактные площадки в наборе для позиционирования: Измерено CMM по высоте наконечника — сопоставимо в пределах ±0.003 мм; (2) Регистрация измерений создана для полного набора; (3) Серийно маркированный и комплект упакован как совпадающий набор — никогда не смешивается с другими партиями. Это гарантирует, что наклон wafer-плоскости находится в пределах спецификаций для каждого набора.
Минимальный диаметр позиционирующего штифта: Ø1.0 мм. Минимальный размер контактной площадки: 2 × 2 мм. Минимальный радиус кромки на контактных поверхностях: R0.05 мм (с микродебюрирующим инструментом). Для деталей менее 1 мм мы рекомендуем проверить осуществимость на стадии DFM.
Ал2 7075 hard anodized: наиболее распространенный — поверхность HV 400+, устойчивость к частицам, анодированная оболочка инертна. SUS316L пассированная: для химических сред и участков процессов при более высокой температуре. PEEK: для химически агрессивных сред — риск загрязнения металлом отсутствует. Все материалы сертифицированы как совместимые с чистой комнатой и очищаются IPA перед отгрузкой.
Да — HXC поддерживает программу CMM для каждого дизайна набора позиционирования. Штифты или контактные площадки замены изготавливаются по той же программе и соответствуют исходному классу допуска по дизайну. Наборы замены включают отчет CMM, показывающий высоты остевых концов для проверки качества.
Твердое анодирование типа III (15–25 мкм): стандарт для штифтов позиционирования из Al 7075 — износостойкая поверхность HV 400+. Пассивация: стандарт для SUS316L. DLC покрытие: опционально для очень низкого трения на точках контакта. Все покрытия проверяются после проверки CMM и перед упаковкой в чистую комнату.
Прототип соответствующий набор: 5–8 дней. Пакет/серия: 9–14 дней. Большие наборы (>6 шпилек): дополнительно 1 день на проверку совмещения.
Получить предложение
Отправьте ваш чертеж.
Получить предложение.
Каждое обращение включает DFM-обзор — проверку пригодности допусков, подтверждение материалов и подход процесса до начала производства. MOQ 1 штука.
24hr
Ответ по предложению
Минимальный заказ 1
Прототипы OK
ИСО
9001:2015
📐
DFM-обзор по каждому обращению
Проверка пригодности допусков, стратегия фиксации и подтверждение материалов. Конкретная, действенная обратная связь — без общего сопротивления.
🎯
Первичный контроль — стандарт
FAI-отчет по каждому новому запуску. Сертификаты материалов и сертификации покрытий включаются в каждую поставку.
🔄
Тот же процесс: от прототипа к производству
План процесса от вашего прототипа применяется к производственным партиям. Повторная квалификация не требуется при масштабировании.
⚙
3 / 4 / 5-ось CNC + токарная обработка
Сложные структурные детали, валы, корпуса и компоненты трансмиссий. Металлы и инженерные пластики.
ИСО 9001:2015
Фрезерование 3/4/5 осей
Токарная обработка на станках с ЧПУ
CMM-инспекция
Глобальная доставка