info@hxcnc.com Шэньчжэн, Китай Ответ в течение 24 часов
Специалист по сборке неоднородных материалов · Доставка по всему миру

П precision CNC обработка
Керамические и седла из металла с PEEK-подгонкой

Прецизионная металлоковка седел для керамических и PEEK-компонентов — компенсированные по температуре зазоры интерфейса, шероховатость контактных поверхностей Ra 0,4 мкм, посадка сборки ±0,01 мм. Защищает хрупкие керамические и PEEK-детали от напряжений при сборке. Для электростатических зажимов, изолирующих стоек и компонентов высокочистого полупроводникового оборудования.

ИСО 9001:2015 Совместимо с чистыми помещениями Проверено CMM Герметичный тест на утечку гелием Котировка за 48 ч
Прецизионно обработанные керамические и PEEK сочленяемые металлические седла
Компенсировано по СЭТС
Зазор интерфейса
Ra 0.4µм
Контактная поверхность
±0.01 мм
Посадка сборки
7 дней
Самая быстрая доставка
Скомпенсированная тепловая линейная деформация
Расчет диапазона температур зазора интерфейса
Ra 0.4µм
Защищает контактную поверхность керамику/PEEK
±0.01 мм
Посадка сборки металл-изолятор
7 дней
самая быстрая доставка
обсуждения машиностроительных задач

Проблемы седел из металла для керамических и PEEK-компонентов

Металлическое седло для керамического или PEEK-компонентa должно защищать хрупкий материал от напряжений сборки, при этом поддерживая точные размерные взаимосвязи в широком диапазоне температур.

🌡️
Несоответствие CTE на границе
Алюминий (23 µм/м·К) расширяется в 3,5 раза сильнее керамики из оксида алюминия (7 µм/м·К) на диапазоне температуры в 100°C. зазор посадки металлической детали должен быть достаточным, чтобы дифференциальное расширение никогда не приводило к сжимающему окружному напряжению в керамике — и при этом достаточно плотным для точного позиционирования.
🔩
Защита отAssembly Stress
Керамические и ПЕК материалы трескаются под локальными точечными нагрузками. Конструкция металлизированной седлы должны равномерно распределять нагрузки сборки — отсутствуют острые контактные кромки, отсутствует защемление над unsupported пролетами. Разработки HXC обеспечивают однородные контактные поверхности с заданными ограничениями крутящего момента сборки.
📐
Прецизионное позиционирование
Несмотря на зазор компенсации CTE, керамический или ПЭК-компонент должен позиционироваться точно. Кинематические поверхности посадки — обычно трехточечный контакт — обеспечивают точное позиционирование, допуская расширение CTE во всех радиальных направлениях.
Наша работа

Керамические и ПЭК сопряжение с металлическим седлом, которое мы изготовили

Истинно обработанные на станках CNC полупроводниковые компоненты — очищены, инспектированы и упакованы в чистую комнату.

Запросить аналогичную деталь
Керамическое мозговое седло ESC
Седло из металла для компонента PEEK
Изоляторный распорный механизм металлической основы
Керамическая диск металлический держатель
Легкое керамическое седло
Высокотемпературное керамическое седло
Металлическое седло + комплект PEEK
Металлические седла — партия
Возможности и допуски

Что мы можем предоставить

Типичные характеристики — уточняйте точные требования при запросе.

Компенсация CTE Расчёт ведётся по диапазону температуры и паре материалов
Сборочная посадка допуск ±0,01 мм
Контактная поверхность Ra 0.4 мкм
Кинематический контакт 3-точечный или непрерывный — по дизайну
Диапазон температур Расчёт до 350°C (зависит от материала)
Сборочный момент Указано для каждого винтового компонента
Материалы Al 6061/7075, SUS316L, SUS304, Ti Grade 5
Анализ коэффициента температурного расширения Включено в DFM для всех интерфейсов керамики/PEEK
Соответствующие комплекты М metalское седло + сборка из керамики/PEEK доступна
Срок изготовления (прототип) 7–10 дней
Срок изготовления (партия) 12–18 дней
Инструкции по сборке Предоставляется с каждым комплектом
Как работает

От чертежа до детали, готовой к чистой комнате

Загрузите ваш чертеж — обзор DFM, токарная обработка, очистка, инспекция и упаковка в чистую комнату в установленный срок.

01
Загрузить чертеж
STEP, DXF, PDF. Указать материал, допуска и класс чистоты.
02
DFM & Котировка
Бесплатный обзор DFM — осуществимость уплотнительной поверхности, тонкие стенки, стратегия снятия заусенцев. Предложение в течение 48 часов.
03
Обслуживание: Машина, Очистка и Инспекция
ЧПУ обработка, ультразвуочная очистка, измерение CMM, упаковка в чистую комнату.
04
Доставка по всему миру
Полный размерный отчет + акт очистки прилагаются. DHL / FedEx / морские перевозки.
Отзывы

Доверяют инженеры по оборудованию полупроводников

★★★★★
"Поверхностная чистота и упаковка сразу соответствовали нашим требованиям входного инспекционного контроля чистой комнаты. Размерной отчет полностью совпал с нашим контролем CMM."
LW
Ли Вэй
Инженер по оборудованию · Тайвань
★★★★★
"HXC понял требования к вакуумной герметизации компонентов нашей камеры без долгого объяснения. Срок поставки был точно указан."
SL
Софи Л.
Инженер по проектированию оборудования · Южная Корея
★★★★★
"Мы уже два года закупаем обработку подложек и детали камеры у HXC. Чистота, размерная точность и партийная стабильность на высоте."
JT
Джеймс Т.
Старший закупщик · Россия
Часто задаваемые вопросы

Часто задаваемые вопросы о механической обработке керамики и металло-подложки PEEK

Инженерные и закупочные вопросы отвечает команда компонентов полупроводников.

HXC рассчитывает разницу теплового расширения между металлическим седлом и компонентом из керамики/PEEK на всей рабочей температурной шкале (от комнатной температуры до максимальной температуры процесса). Диаметр отверстия седла обрабатывается с таким зазором, чтобы металл никогда не создавал спирального напряжения на керамике при максимальной температуре — но достаточно малым для точного позиционирования. Расчетные данные включены в отчет DFM.
Меры защиты: (1) Однородные контактные поверхности — отсутствуют заусенцы или ступенчатые характеристики, создающие концентраторы напряжений; (2) Конкретные пределы моментаassembly врезаны или обозначены на резьбовых металлических компонентах (керамика и PEEK трещат при значениях момента, которыеNormal для всех металлических сборок); (3) Инструкции по сборке предоставлены — включая рекомендуемую последовательность затяжки, тип инструмента для сборки и график повторной затяжки в зависимости от температуры.
HXC рекомендует трехточечный кинематический контакт (три поднятые подкладки на лицевой поверхности сиденья, каждая Ra 0.4 мкм, при равных интервалах 120°) для керамических дисковых компонентов. Это обеспечивает точное, повторяемое позиционирование, при этом керамика может расширяться или сжиматься радиально без ограничений. Для прямоугольных керамических компонентов: опорные подкладки в четырех углах по той же кинематической принципу.
Да — HXC поставляет полные сопоставимые комплекты : металлическое сиденье + керамический или PEEK компонент (поставляемый из цепочки HXC или предоставленный заказчиком) + комплектующие для сборки + инструкции по сборке. Все компоненты проверяются по размеру как сопоставленный набор. Совместимость сборки (зазоры при комнатной температуре и при максимальной рабочей температуре) подтверждается перед отправкой.
SUS316L (до 300°C) : стандарт для большинства температур процессов полупроводников. Inconel 625 (до 500°C+) : для высокотемпературных процессов, где алюминий и обычная нержавеющая сталь недопустимы. Al 6061 : для условий при комнатной температуре и умеренных температурных процессах, когда важен вес. Выбор материала зависит от температуры процесса, химии процесса и конкретного керамического или PEEK материала.
После сборки HXC выполняет: (1) Визуальный осмотр — трещин нет, отсутствие видимого прилипания напряжения к PEEK, отсутствие зазубрин; (2) Измерение CMM позиции собранного компонента относительно базовой поверхности посадки; (3) Испытание холодного цикла (для приложений с температурной критичностью) — сборка, охлаждение до минимальной рабочей температуры, нагрев до максимальной рабочей температуры, проверка положения и осмотр на предмет повреждений.
Прототип: 7–10 дней. Собранные наборы: 8–12 дней. Партия: 12–18 дней.
Получить предложение

Отправьте ваш чертеж.
Получить предложение.

Каждое обращение включает DFM-обзор — проверку пригодности допусков, подтверждение материалов и подход процесса до начала производства. MOQ 1 штука.

24hr
Ответ по предложению
Минимальный заказ 1
Прототипы OK
ИСО
9001:2015
📐
DFM-обзор по каждому обращению
Проверка пригодности допусков, стратегия фиксации и подтверждение материалов. Конкретная, действенная обратная связь — без общего сопротивления.
🎯
Первичный контроль — стандарт
FAI-отчет по каждому новому запуску. Сертификаты материалов и сертификации покрытий включаются в каждую поставку.
🔄
Тот же процесс: от прототипа к производству
План процесса от вашего прототипа применяется к производственным партиям. Повторная квалификация не требуется при масштабировании.
3 / 4 / 5-ось CNC + токарная обработка
Сложные структурные детали, валы, корпуса и компоненты трансмиссий. Металлы и инженерные пластики.
ИСО 9001:2015 Фрезерование 3/4/5 осей Токарная обработка на станках с ЧПУ CMM-инспекция Глобальная доставка