Категорія продукції
Отвір ±0,005 · Ra 0,4 · Гелієва герметичність 1e-8 · Багатозонний · Мінімальне замовлення 1
ВВП / 001 — 010
Ультра-чистий CNC
Розподільчі plates
Ультра-чисті пластини розподілу газу для напівпровідників, оброблені на ЧПУ — внутрішній канал потоку Ra 0,4 мкм, діаметр отвору ±0,005 мм, положення отвору ±0,01 мм, плоскість ущільнювальної поверхні ≤ 0,008 мм, швидкість витоку гелію < 1×10⁻⁸ мбар·л/с. Для подачі газу в камери процесів CVD, ALD, травлення та MOCVD — включаючи багатозонні конфігурації з контролем щільності отворів у центрі та на краю.
±0.005mm
Діаметр отвору.
Ra 0.4µm
Внутрішній канал.
1e-8
Витік He
КРЕСЛЕННЯ ДЕТАЛІ · GDP-001 ДУШОВА ГОЛОВКА · SUS316L EP · Ra 0,4 · ГЕЛІЄВА ГЕРМЕТИЧНІСТЬ 1e-8
ISO 9001 · ЕЛЕКТРОПОЛІРУВАННЯ · КООРДИНАТНО-ВИМІРЮВАЛЬНА МАШИНА
Отвір ±0,005
Багатозонна щільність
CVD · ALD · Травлення · MOCVD · PECVD · Епітаксія
Застосування
SUS316L EP · Al 6061 · Ti Грейд 5
Матеріали
48hr Цитата · 8-дневний прототип · MOQ 1
Послуга
<1×10⁻⁸
Хід витоку
Тест на гелій mbar·l/s
Тест на гелій mbar·l/s
±0.005мм
Діаметр отвори
точне свердління
точне свердління
Ra 0.4µм
Внутрішній канал
електрополіровка
електрополіровка
8 днів
Найшвидша доставка
макети замовлення
макети замовлення
Виклики обробки
Виклики розподільної пластини газу
Розподільні пластини газу для камер обробки напівпровідників вимагають найвищого рівня чистоти, рівномірності потоку та герметичності серед усіх виробів ЧПУ.
💨
Рівномірність отворів для рівномірності процесу
Нерівномірні діаметри отворів спричиняють нерівномірний потік газу по всій пластині — що безпосередньо впливає на нерівномірність товщини плівки або швидкості травлення. HXC забезпечує діаметр отвору ±0.005 мм для всіх отворів, перевірено на CMM або оптичному мікроскопі.
🧼
Ультра-чисті внутрішні канали
Процесні гази не повинні забруднюватися залишками обробки. Всі внутрішні канали електрополіровані до Ra 0,4 мкм, ультразвуково очищені IPA та протестовані на герметичність гелієм. Будь-які залишки можуть виділятися у процесне середовище.
🔒
Герметичні ущільнювальні інтерфейси
Розподільні пластини газу в камерах працюють при тиску від вакууму до кількох бар. Кожен ущільнювальний інтерфейс має бути протестований на герметичність до <1×10⁻⁸ мбар·л/с перед встановленням у камеру.
Наша Робота
Замовити Подібну Деталь →
Розподільні пластини газу, які ми виготовили
Реальні ЧПУ оброблені напівпровідникові компоненти — очищені, інспектовані та запаковані в чисту кімнату.
SUS316L · CVDПластина для душової головки CVD
Отвір ±0,005 мм · Електр. · 5 шт.
Al 6061 · ALDПластина розподілу газу ALD
CF порти · Анодовано · 6 шт.
SUS316L · ТравленняГазова пластина для травлення
Щільний масив · 4 шт.
SUS316L · MOCVDГазова душова голівка MOCVD
Точний отвір · 3 шт.
Al 6061 · PECVDПластина для розподілу PECVD
Багатозонний · 6 шт.
SUS316L · Індивідуальне виготовленняІндивідуальна пластина процесного газу
R&D · 3 шт.
SUS316L · ЕпітаксіяПластина розподілу газу для епітаксії
UHV · 2 шт.
Al 6061 · ПартіяПластини розподілу газу — партія
10 шт. · Сертифікат на герметичність He
Можливості та допуски
Що Ми Можемо Доставити
Типові технічні характеристики — підтверджуйте точні вимоги під час запиту.
| Швидкість витоку | <1×10⁻⁸ мбар·л/с (He) |
| Внутрішній Ra | 0,4 мкм (електрополіровка) |
| Допуск діаметра отвору. | ±0.005 мм |
| Плоскість ущільнюючої поверхні | ≤ 0.008 мм |
| Стандарти портів | VCR, CF, KF, індивідуальні |
| Чистота часток | Сумісний з ISO Клас 5 |
| Матеріали | SUS316L, Al 6061, Ti Грейд 5 |
| Електрополіровка | Стандарт — усі газозмочувані |
| Гелійний тест | 100% кожна пластина + сертифікат |
| Очищення | IPA ультразвук + N₂ + пакет |
| Термін виготовлення (прототип) | 8–12 днів |
| Час виготовлення (партія) | 14–20 днів |
Як це працює
Від креслення до частини, готової для чистої кімнати
Завантажте ваше креслення — огляд DFM, механічна обробка, очищення, контроль та пакування у чистій кімнаті у згадані терміни.
01
Завантажити малюнок
STEP, DXF, PDF. Включіть схему отворів, газ і клас чистоти.
02
DFM та цитата
Безкоштовний DFM — виробничість отворів, багатозональна стратегія. Розрахунок за 48 год.
03
Механічна обробка, очищення та тестування
CNC + електрополірування, ультразвукове очищення, ККМ, тест на герметичність He.
04
Доставляємо по всьому світу
Повний звіт про розміри + очищення + сертифікат на герметичність He додається.
Відгуки
Довіряють інженери з обладнання для напівпроводників
★★★★★
"Чистота поверхні та упаковка миттєво відповідали вимогам нашого входного огляду чистої зони. Звіт за розмірами повністю відповідав нашій перевірці CMM."
LW
Лі Вей
Інженер з процесового обладнання · Україна
★★★★★
"HXC зрозумів вимоги до вакуумного герметизації наших компонентів камери без тривалого пояснення. Час виготовлення був exactly as quoted."
SL
Софі Л.
Інженер з проектування обладнання · Україна
★★★★★
"Ми протягом двох років постачаємо обробку пікоподібних та частини камери від HXC. Чистота, розмірна точність та узгодженість партій — відмінні."
JT
Джеймс Т.
Старший закупівельник · Україна
Поширені запитання
Пластини розподілу газу — Поширені питання
Питання з інженерії та закупівель, що відповідає команда компонентів напівпроводників.
Рівномірний розподіл вимагає: (1) Діаметр отвору ±0,005 мм по всіх отворах — відхилення діаметра змінює опір потоку через окремий отвір; (2) Точність розташування отвору ±0,01 мм — забезпечує рівномірний просторовий потік; (3) Однакове падіння тиску у внутрішніх каналах — розподільчий колектор спроектований для однакового опору. Усі три параметри перевіряються ККМ.
Очищення після механічної обробки: (1) Знежирення; (2) Електрополірування усі поверхні, що контактують з газом (Ra 0,4 мкм); (3) Ультразвукова обробка ізопропанолом; (4) Промивання дистильованою водою; (5) Сушка потоком N₂; (6) Інспекція ультрафіолетовою лампою; (7) Упаковка в чистій кімнаті класу ISO 5. Сертифікат підрахунку частинок доступний для пластин напівпровідникового класу.
Так — багатозональні пластини з різною щільністю отворів у центральній та крайових зонах (радіальне керування профілем газу) регулярно обробляються. Межі зон, кількість отворів і діаметри по зонах вказуються на кресленні замовника та перевіряються на КММ.
VCR ущільнення обличчя (Swagelok), CF ConFlat (UHV з ножовою кромкою), KF (ISO 2861), та індивідуальні фланці з ущільненням по торцю. Всі розміри інтерфейсів обробляються згідно специфікації виробника та перевіряються на КММ. Змішані типи інтерфейсів на одній пластині — звичайна практика.
Кожна пластина тестується за допомогою гелієва мас-спектрометрія: під тиском гелію, всі зовнішні поверхні та порти скануються. Швидкість витоку: <1×10⁻⁸ мбар·л/с стандартна (<1×10⁻¹⁰ UHV). Сертифікат містить виміряну швидкість, дату калібрування приладу, дату тесту, підпис оператора.
Так — газорозподільні пластини з інтегрованими отворами для нагрівальних картриджів або канавками для резистивних нагрівачів обробляються в тій самій операції, що й газові канали. Допуск на розташування отвору для нагрівача: ±0,1 мм від стінки газового каналу (мінімальний зазор перевіряється під час DFM). Доступні отвори для встановлення термопари.
Стандартне механічне свердління: Ø0,2 мм мінімум. Для отворів менше Ø0,2 мм використовується високоточне мікросвердління або електроерозійне свердління. Обмеження співвідношення сторін (глибина ÷ діаметр): 10:1 для свердління, до 50:1 для електроерозійного методу. Допуск на отвір зберігається на рівні ±0,005 мм незалежно від методу.
Прототип: 8–12 днів. Партія: 14–20 днів. UHV-пластини з тестом на герметичність 200): додати 2–4 дні.
Отримати кошик
Надішліть свій малюнок.
Отримати пропозицію.
Кожне звернення включає перевірку DFM — перевірку толерантності, підтвердження матеріалу та підхід до процесу, підтверджені до початку виробництва. Мінімальний обсяг замовлення 1 шт.
24hr
Відповідь на пропозицію
Мінімальне замовлення 1
Прототипи OK
ISO
9001:2015
📐
Огляд DFM кожного запиту
Допустимість допусків, стратегія фіксації та підтвердження матеріалу. Конкретні, actionable відгуки — не загальна відмова.
🎯
Перша серія випробувань — стандарт
звіт FAI на кожен новий запуск. Сертифікати на матеріал та обробку поверхні включені з кожною поставкою.
🔄
Той самий процес: від прототипу до виробництва
План процесу з вашого прототипу застосовується до виробничих партій. Ніякої повторної атестації при масштабуванні.
⚙
КНЦ з 3 / 4 / 5 осей + токарна обробка
Складні структурні деталі, валу, корпуси та компоненти трансмісії. Метали та інженерні пластмаси.
ISO 9001:2015
Фрезерування 3/4/5 осей
ЧПУ точіння
КІМП (CMM) інспекція
Глобальна доставка