Categorie Produs
Orificiu ±0.005 · Ra 0.4 · He-Leak 1e-8 · Multi-Zone · MOQ 1
GDP / 001 — 010
Ultra-Curată CNC
Plăci de distribuție a gazelor
Plăci de distribuție a gazelor semiconductoare prelucrate CNC ultra-curate — canal de flux intern Ra 0.4 µm, diametru orificiu ±0.005 mm, poziție orificiu ±0.01 mm, planeitatea suprafeței de etanșare ≤ 0.008 mm, rată de scurgere a heliului < 1×10⁻⁸ mbar·l/s. Pentru procesul CVD, ALD, gravare și MOCVD de livrare a gazelor în camera de proces — inclusiv configurații multi-zone cu control al densității orificiilor centru+margină.
±0.005mm
Diametru Orificiu.
Ra 0.4µm
Canal Intern.
1e-8
Scurgere He
DESEN PART · CAP DE DUȘ · SUS316L EP · Ra 0.4 · He-LEAK 1e-8
ISO 9001 · ELECTROPOLISH · CMM
Orificiu ±0.005
Densitate Multi-Zone
CVD · ALD · Etching · MOCVD · PECVD · Epitaxie
Aplicații
SUS316L EP · Al 6061 · Ti Gr5
Materiale
48hr Citat · Proto de 8 zile · MOQ 1
Serviciu
<1×10⁻⁸
Rata de scurgere
Test He mbar·l/s
Test He mbar·l/s
±0.005mm
Diametrul orificiului
precizie găurire
precizie găurire
Ra 0,4µm
Canal Intern
electropolizat
electropolizat
8 zile
Livrare cea mai rapidă
comenzi pentru prototipuri
comenzi pentru prototipuri
Provocări în prelucrare
Provocări ale Plăcilor de Distribuție a Gazelor
Plăcile de distribuție a gazelor pentru camerele de procesare a semiconductoarelor necesită cea mai exigentă combinație de curățenie, uniformitate a fluxului și integritate a scurgerii în orice produs CNC.
💨
Uniformitatea orificiilor pentru uniformitatea procesului
Diametrele neuniforme ale orificiilor cauzează fluxuri de gaz inegale peste placă — cauzând direct neuniformitatea grosimii filmului sau a ratei de gravare. HXC menține diametrul orificiilor la ±0.005 mm toate găurile, verificat prin CMM sau microscop optic.
🧼
Canale interne ultra-curate
Gazele de proces nu trebuie să fie contaminate de reziduuri de prelucrare. Toate canalele interne sunt electropolizate la Ra 0,4 µm, curățate ultrasonic cu IPA și testate pentru scurgeri cu heliu. Orice reziduu capturat degajă gaz în mediul de proces.
🔒
Interfețe de etanșare etanșe
Plăcile de distribuție a gazelor pentru camerele de proces funcționează la presiuni de la vid până la câțiva bari. Fiecare interfață de etanșare trebuie să fie testată pentru scurgeri <1×10⁻⁸ mbar·l/s înainte de instalare în cameră.
Lucrările noastre
Solicită piesă similară →
Plăci de distribuție a gazelor pe care le-am realizat
Componente semiconductoare prelucrate CNC real — curățate, inspectate și ambalate în cameră curată.
SUS316L · CVDPlacă de duș CVD
Orificiu ±0.005mm · Electric · 5 buc
Al 6061 · ALDPlacă de distribuție a gazului ALD
Porturi CF · Anodizat · 6 buc
SUS316L · GravurăPlacă de gaz pentru camera de etching
Așezare densă · 4 buc
SUS316L · MOCVDDuză de duș de gaz MOCVD
Orificiu de precizie · 3 buc
Al 6061 · PECVDPlacă de distribuție PECVD
Multi-zone · 6 buc
SUS316L · PersonalizatPlacă personalizată de gaz de proces
Cercetare și Dezvoltare · 3 buc
SUS316L · EpitaxiePlacă de distribuție a gazului pentru epitaxie
UHV · 2 buc
Al 6061 · LotPlăci de distribuție a gazului — Lot
10 buc · Certificat de scurgere He
Capacități și toleranțe
Ce putem livra
Specificații tipice — confirmați cerințele exacte la solicitare.
| Rată de scurgere | <1×10⁻⁸ mbar·l/s (He) |
| Ra Intern | 0,4 µm (electropolizat) |
| Toleranță diametru orificiu. | ±0.005 mm |
| Planitatea feței de etanșare | ≤ 0.008 mm |
| Standard porturi | VCR, CF, KF, personalizat |
| Curățenie particule | Compatibil cu Clasa ISO 5 |
| Materiale | SUS316L, Al 6061, Ti Gradul 5 |
| Electropolizare | Standard — toate contactele cu gaz |
| Test cu heliu | 100% fiecare placă + certificat |
| Curățare | Ultrasunet IPA + N₂ + pungă |
| Timp de livrare (proto) | 8–12 zile |
| Timp de livrare (lot) | 14–20 zile |
Cum funcționează
De la desen la piesă pregătită pentru cameră curată
Încărcați desenul dvs. — revizuire DFM, prelucrare, curățare, inspecție și ambalare în cameră curată în termenul convenit.
01
Încărcați desenul
STEP, DXF, PDF. Include layout-ul orificiului, gazul și clasa de curățenie.
02
DFM & Ofertă
DFM gratuit — fabricabilitatea orificiului, strategie multi-zone. Ofertă în 48 de ore.
03
Mașină, Curățare & Testare
CNC + electropolish, curățare ultrasonică, CMM, test de scurgere cu heliu.
04
Livrare în întreaga lume
Raport complet dimensional + curățare + certificat de scurgere cu heliu inclus.
Recenzii
De încredere pentru inginerii echipamentelor semiconductoare
★★★★★
"Curățenia suprafeței și ambalarea au îndeplinit imediat cerințele noastre de inspecție incoming în camera curată. Raportul dimensional s-a potrivit perfect cu verificarea noastră CMM."
LW
Li Wei
Inginer echipamente de proces · România
★★★★★
"HXC a înțeles cerințele de etanșare cu vid pentru componentele camerei noastre fără explicații îndelungate. Timpul de livrare a fost exact cel estimat."
SL
Sophie L.
Inginer proiectare echipamente · România
★★★★★
"Am achiziționat piese pentru manipularea wafer-ilor și componente pentru cameră de la HXC de doi ani. Curățenia, precizia dimensională și consistența loturilor sunt excelente."
JT
James T.
Senior Achiziții · România
Întrebări frecvente
Plăci de distribuție a gazului — Întrebări frecvente
Întrebări de inginerie și achiziții răspunse de echipa noastră de componente semiconductoare.
Distribuție uniformă necesită: (1) Diametrul orificiului ±0.005 mm peste toate găurile — variația diametrului schimbă rezistența individuală la flux a fiecărei găuri; (2) Precizia poziției orificiului ±0.01 mm — asigură un flux spațial uniform; (3) Picaj de presiune în canalul intern identic — manometrul de distribuție proiectat pentru rezistență egală. Toate trei verificate cu CMM.
Curățarea post-prelucrare: (1) Degresare; (2) Electropolizare toate suprafețele umede cu gaz (Ra 0.4 µm); (3) Ultrasonic IPA; (4) Clătire DI; (5) Uscare cu suflare N₂; (6) Inspecție cu lampă UV; (7) Ambalare în cameră curată de clasa ISO 5. Certificat de număr de particule disponibil pentru plăci de calitate semiconductor.
Da — plăci multi-zone cu densități diferite de orificii în zonele centrale și de margine (controlul profilului de gaz radial) sunt prelucrate în mod obișnuit. Granițele zonelor, numărul de orificii și diametrele pe zonă sunt specificate în desenul clientului și verificate cu CMM.
garnitură de etanșare VCR (Swagelok), CF ConFlat (UHV cu margine ascuțită), KF (ISO 2861), și flanșe personalizate cu sigiliu facial. Toate dimensiunile interfeței prelucrate conform specificațiilor producătorului și verificate cu CMM. Tipuri mixte de interfețe pe aceeași placă sunt obișnuite.
Fiecare placă este testată de spectrometrie de masă cu heliu: presurizat cu heliu, toate suprafețele și porturile externe scanate. Rata de scurgere: <1×10⁻⁸ mbar·l/s standard (<1×10⁻¹⁰ UHV). Certificatul include rata măsurată, data calibrare a instrumentului, data testului, semnătura operatorului.
Da — plăcile de distribuție a gazelor cu găuri pentru încălzitor integrate sau caneluri rezistive pentru încălzitor sunt prelucrate în aceeași operație cu canalele de gaz. Toleranța poziției găurii încălzitorului: ±0.1 mm față de peretele canalului de gaz (spațiu minim verificat în DFM). Gauri pentru inserție termocuple disponibile.
Foraj mecanic standard: Ø0.2 mm minim. Sub Ø0.2 mm folosim micro-foraj de precizie sau foraj cu electro-erodare (EDM). Limita raportului aspect (adâncime ÷ diametru): 10:1 pentru foraj, până la 50:1 pentru EDM. Toleranța orificiului este menținută la ±0.005 mm indiferent de metodă.
Prototip: 8–12 zile. Lot: 14–20 zile. Plăci UHV cu test de scurgere 200 găuri): adăugați 2–4 zile.
Solicită o ofertă
Trimite-ți desenul.
Obține o ofertă.
Fiecare solicitare include o revizuire DFM — fezabilitatea toleranței, confirmarea materialului și abordarea procesului înainte de începerea producției. MOQ 1 piesă.
24hr
Răspuns la ofertă
MOQ 1
Prototipuri OK
ISO
9001:2015
📐
Revizuire DFM pentru fiecare solicitare
Fezabilitatea toleranței, strategia de fixare și confirmarea materialului. Feedback specific și acționabil — nu respingeri generice.
🎯
Inspecția primului articol — Standard
Raport FAI pentru fiecare lot nou. Certificări de material și tratament de suprafață incluse cu fiecare livrare.
🔄
Același proces: prototipare până în producție
Planul de proces din prototipul dumneavoastră se aplică loturilor de producție. Fără re-qualificare atunci când scalați.
⚙
Frezare CNC 3 / 4 / 5-Axis + Strunjire
Piese structurale complexe, arbori, carcase și componente de transmisie. Metale și plastice de inginerie.
ISO 9001:2015
Frezare 3/4/5-Axis
Frezare în strung CNC
Inspecție CMM
Livrare globală