產品類別
動作 ±0.01 · 40-55% 輕量化 · 1,000萬+ 週期 · 真空接口 · 最低訂購量 1
EEP / 001 — 010
拓撲銑削
設備末端效應器零件
高精度 CNC 加工半導體設備末端執行器零件 — 動作幾何公差 ±0.01 mm，基於拓撲優化的口袋銑削，減重 40–55%，設計驗證壽命超過 1,000萬週期。Al 7075 硬質陽極處理或 PEEK 接觸面，整合真空歧管接口，無塵室適用。適用於晶圓搬運機器人、取放頭及精密運動致動器。.
±0.01mm
動作幾何.
輕量
慣性優化.
1,000萬+
設計週期
零件圖 · EEP-001 晶圓 300mm · Al 7075 HA · 48 克 · 1,000萬+
ISO 9001 · 拓撲優化 · 三次元量測
格狀口袋銑削
真空接口 × 3
晶圓轉移 · 拾取放置 · FOUP · 多晶圓 · 對準
應用領域
Al 7075 HA · PEEK · ESD PEEK · SUS316L · SUS440C
材料
48hr 報價 · 6天打樣 · 最小訂購量1件
服務
±0.01mm
動作幾何
精密驅動
精密驅動
輕量化
慣性最佳化
快速循環時間
快速循環時間
1,000萬+
設計循環壽命
耐磨材料
耐磨材料
6 天
最快交付
原型訂單
原型訂單
機加工挑戰
設備末端執行器零件挑戰
末端執行器零件必須結合低質量（以實現快速運動）、精確動作幾何（以準確放置裝置）、以及長久耐磨壽命——並且需符合無塵室要求的形式。.
⚖️
低慣性與剛性
末端執行器必須具有足夠的剛性，以抵抗設備重量和加速度力造成的偏移，同時盡可能輕量化以提升機器人速度。HXC 拓撲結構將所有末端執行器結構件進行銑削，達成 40–55% 重量減輕 同時維持所需剛性。.
🔁
高循環耐磨壽命
半導體設備的末端執行器每年執行超過一千萬次取放循環。接觸表面必須具備耐磨性——硬質陽極處理鋁或氮化鋼——以防止尺寸變化導致長期錯位。.
🧼
無塵室粒子產生
末端執行器接觸表面產生的磨損粒子會污染晶圓。HXC 規範硬質陽極處理鋁（HV 400+，無磨損粒子）或 PEEK（無金屬粒子）接觸表面，並經清洗後粒子數量驗證。.
我們的工作
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我們製作過的設備末端執行器零件
REAL CNC機械加工的半導體元件 — 清潔、檢查，且潔淨室包裝.
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±0.01mm · ≤50g · 20 件
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50 件 · 配對
能力與公差
我們可以交付的項目
典型規格 — 請在詢問時確認確切需求.
| 動作幾何公差. | ±0.01 毫米 |
| 重量 (300 毫米) | ≤ 50 g (優化) |
| 接觸面 Ra | 0.4 微米 |
| 循環壽命設計 | >1,000 萬次循環 |
| 顆粒產生 | 零點檢測（HA / PEEK） |
| 剛性 | 最大負載下撓度 <0.01 mm |
| 材料 | Al 7075、PEEK、ESD PEEK、SUS316L |
| 重量最佳化 | 拓撲優化口袋銑削 |
| 清潔 | IPA 超音波 清潔室包裝 |
| 交期（樣件） | 6–9 天 |
| 交貨期（批次） | 10–16 天 |
| 匹配組 | 手指／墊片已確認設定完成 |
原理
從圖樣到可在潔淨室使用的零件
上傳您的圖紙 — DFM、FEA、加工、清潔、檢驗及無塵室包裝，於約定交期內完成。.
01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。請包含載重、晶圓尺寸、循環壽命。.
02
DFM 與 FEA
載重路徑 FEA、慣性計算、質量減輕提案。48 小時內報價。.
03
加工與清潔
CNC + 拓樸口袋銑削、硬質陽極處理、IPA 超音波清洗、CMM。.
04
全球運送
隨附 CMM 與清潔紀錄。DHL／FedEx／海運。.
評價
獲半導體設備工程師信任
★★★★★
"表面清潔度與包裝立刻符合我們潔淨室進料檢驗要求。尺寸報告與我們的 CMM 檢查完全吻合。"
LW
李偉
製程設備工程師 · 台灣
★★★★★
"「HXC 的拓樸口袋銑削將執行器質量減半，且剛性未受損。機器人循環時間明顯提升。交期完全如報價所述。」"
SL
蘇菲 L.
設備設計工程師 · 韓國
★★★★★
"「我們已向 HXC 採購晶圓搬運末端執行器兩年。潔淨度、尺寸精度與成套一致性都非常優異。」"
JT
詹姆斯 T.
高階採購 · 美國
常見問題
設備末端執行器 — 常見問答
由我們的半導體元件團隊回答的工程與採購相關問題。.
HXC 使用 拓撲感知的執行腔螐型加工：識別結構載重路徑（從機器人手腕到晶圓接觸點），於這些路徑保留材料，所有非承載區域則進行口袋化。結果： 40–55% 重量減輕 僅損失 10–15% 剛性，相較於實心結構。最大載重下於晶圓接觸點的撓度，會於加工前經 FEA 計算與驗證。.
慣性降低不僅限於減輕重量： （1）將質量集中於機器人手腕附近 （降低手臂慣性）— 更積極地對遠端進行口袋化；; （2）避免懸垂結構 這類結構會增加慣性但不提升剛性；; （3）使用PEEK作為接觸功能材料 當鋁材會過度設計時。HXC會在DFM報告中計算機器人手腕軸的旋轉慣性。.
Al 7075第三類硬陽極氧化：最常見——HV 400+陽極氧化層在接觸表面提供優異的耐磨性。. POM：適用於對金屬污染敏感的應用——無磨損顆粒，良好的尺寸穩定性。. SUS440C：適用於需要最高耐磨性的接觸針或墊片。所有材料在清潔後均無可檢測顆粒。.
是的——HXC的DFM審查包括：載荷路徑分析、關鍵接觸點的撓度計算、最小壁厚評估、慣性計算及循環壽命預估。設計變更建議在任何加工承諾前提出。大多數DFM建議能降低成本並提升性能。.
標準： ±0.01 毫米 動作幾何。對於精密對位末端執行器： ±0.005 毫米 可透過額外半精加工探測及修正通道達成。幾何形狀由CMM測量所有接觸位置相對於機器人手腕安裝基準點進行驗證。.
是的——HXC直接在末端執行器結構內加工整合式真空歧管、Ø0.3–3 mm真空孔及O型環溝槽。所有真空通道均去毛邊、流量測試並驗證無漏氣後才進行無塵室包裝。.
原型： 6–9 天. 批次：10–16天。拓撲優化設計（需新FEA）：8–14天。.
獲取報價
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取得報價。.
每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.
24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
📐
每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程：從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次；放大規模時不需重新鑑定。.
⚙
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
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