Категория продукта
CF / KF / ISO-K · <1×10⁻⁹ · ≤0.005 мм · He-тест
VFF / 001 — 008
Прецизионная ЧПУ
Фитинги вакуумной фланцев
Прецизионно обработанные вакуумные фланцевые соединения и адаптеры — интерфейс CF / KF / ISO-K размеры по стандарту, плоскость лица фланца ≤ 0.005 мм, концентричность ≤ 0.005 мм, тест на пропуск Гелием <1×10⁻⁹ мбар·л/с. SUS316L или Al 6061 для полупроводниковых, научных, и промышленных вакуум-систем.
<10⁻⁹
Утечка He
≤0,005mm
Плоскость лица
CF/KF/ISO
Стандарты
ЧЕРТЕЖ ЧЕРТЕЖ · VFF-000 CF НОЖЕВОЙ-КРАЙ ФЛАНЕЦ · SUS316L EP
ISO 9001 · DIN 28403
Cu УПЛОТНЕНИЕ ДИБ
Ножевой край 23°
Полу · Исследование · Оптика · Медицина · Индустрия
Сферы применения
SUS316L · 304 · Al 6061 · Ti · OFHC Cu
Материалы
48hr Цитата · 6-дневный прототип
Сервис
1×10⁻⁹
Утечка
мбар·л/с
мбар·л/с
≤0.005 мм
ПлоскостьFace фланца
класс поверхности сальника
класс поверхности сальника
CF/KF/ISO
Все стандарты
поддержано
поддержано
6 дней
самая быстрая доставка
заказы прототипов
заказы прототипов
обсуждения машиностроительных задач
Проблемы с соединением фланцев вакуум
Соединения фланцев вакуума — точки соединения вакуумной системы — любое отклонение от стандарта вызывает несоосность, повреждение поверхности фланца и утечки на уровне системы.
⦿
Сходимость отверстия к окружности фланца
Отверстие должно быть соосно относительно поверхности фланца и болтового круга с допуском ≤ 0,005 мм — любое эксцентриситет вызывает смещение посадки фланца, искажает контакт прокладки и создаёт пути утечек.
📐
Геометрия с кромкой-ножа (CF-фланцы)
Кованые фланцы CF ConFlat имеют прецизионный острие-лезвие, которое врезается в медную или алюминиевую прокладку, образуя герметичное уплотнение. Угол острия-лезвия, радиус кончика (≤ R0,1 мм) и высота должны соответствовать допускам PNEUROP. Подтверждено контактным профилометром.
🔒
Гелиевая утечка целостности
Каждый соединительный фланцевый элемент для вакуумирования должен обеспечивать уплотнение менее чем 1×10⁻⁹ мбар·л/с при сборке с сопрягающим фланцем. HXC проводит helium-тестирование всех вакуумных соединений и выдает сертификат теста на утечки.
Наша работа
Запросить аналогичную деталь →
Соединительные фланцы для вакуума, которые мы производим
Истинно обработанные на станках CNC полупроводниковые компоненты — очищены, инспектированы и упакованы в чистую комнату.
Возможности и допуски
Что мы можем предоставить
Типичные характеристики — уточняйте точные требования при запросе.
| Утечка | <1×10⁻⁹ мбар·л/с (испытание He) |
| CF острие-лезвие | Стандарт PNEUROP, радиус кончика ≤ 0,1 мм |
| Плоскостность лиц фланца | ≤ 0.005 мм |
| Соосность отверстия/фланца | ≤ 0.005 мм |
| Стандарты фланцев | CF, KF, ISO-K/F, VCR |
| Очистка | IPA ультразвук + N₂ + упаковка чистой комнаты |
| Материалы | SUS316L, Al 6061, Ti Гр.5 |
| Гелиевый тест | 100% каждый фитинг, сертификат |
| Обработка поверхности | Электрополировка, пассивация, твёрдый анодирование |
| Срок изготовления (прототип) | 6–9 дней |
| Срок изготовления (партия) | 10–16 дней |
| Нетипичный | Любая геометрия адаптера доступна |
Как работает
От чертежа до детали, готовой к чистой комнате
Загрузите ваш чертеж — обзор DFM, токарная обработка, очистка, инспекция и упаковка в чистую комнату в установленный срок.
01
Загрузить чертеж
STEP, DXF, PDF. Указать материал, допуска и класс чистоты.
02
DFM и коммерческое предложение
Бесплатный обзор DFM — осуществимость уплотнительной поверхности, тонкие стенки, стратегия снятия заусенцев. Предложение в течение 48 часов.
03
Обработка, чистка и инспекция
ЧПУ обработка, ультразвуочная очистка, измерение CMM, упаковка в чистую комнату.
04
Доставка по всему миру
Полный размерный отчет + акт очистки прилагаются. DHL / FedEx / морские перевозки.
Отзывы
Доверяют инженеры по оборудованию полупроводников
★★★★★
"Поверхностная чистота и упаковка сразу соответствовали нашим требованиям входного инспекционного контроля чистой комнаты. Размерной отчет полностью совпал с нашим контролем CMM."
LW
Ли Вэй
Инженер по оборудованию · Тайвань
★★★★★
"HXC понял требования к вакуумной герметизации компонентов нашей камеры без долгого объяснения. Срок поставки был точно указан."
SL
Софи Л.
Инженер по проектированию оборудования · Южная Корея
★★★★★
"Мы уже два года закупаем обработку подложек и детали камеры у HXC. Чистота, размерная точность и партийная стабильность на высоте."
JT
Джеймс Т.
Старший закупщик · Россия
Часто задаваемые вопросы
Часто задаваемые вопросы о токарной обработке вакуумных фланцев
Инженерные и закупочные вопросы отвечает команда компонентов полупроводников.
HXC обрабатывает все стандартные вакуумные интерфейсные фланцы: CF КонФлат (DIN 28403 / PNEUROP, DN16 до DN500), KF (ИСО 2861) (Ø10–160 мм), ИСО-К / ИСО-Ф (большого диаметра), VCR уплотнение лицевая. Все размеры обработаны по стандарту и проверены CMM. Также доступны нестандартные редуктора, вращающиеся фланцы и индивидуальные адаптеры.
Каждый вакуумный фланцевый соединитель утверждённые на утечки масс-спектрометра с гелием до отправки: собран против эталонной пустой фланцы с соответствующей прокладкой, заполнен гелием и протестирован до <1×10⁻⁹ мбар·л/с. Включён сертификат испытаний. Фланцы CF: доступно <1×10⁻¹⁰ мбар·л/с для применения в УВЧ.
Лезвие CF измеряется с помощью контактного профилометра в 4 угловых положениях: угол лезвия (23° ± 0,5°), радиус кончика (≤ R0,1 мм) и высота по DIN 28403. Любое отклонение от нормы приводит к отклонению. Отчет профилометра включен в документацию по качеству.
Концентричность отверстия относительно поверхности фланца: ≤ 0.005 мм. Концентричность отверстия относительно окружности болтов: ≤ 0,01 мм. Машины HXC обтачивают отверстие, поверхность фланца и окружность болтов на одной заготовке — обеспечивая ссылку на одну ось. Концентричность проверяется с помощью CMM.
Да — индивидуальные адаптеры, объединяющие два разных стандарта фланцев (например, KF40 к ISO-K160, CF35 к VCR, или нестандартные порты), routinely обрабатываются. Предоставьте оба mating flange standards, и мы спроектируем и дадим цену на геометрию адаптера. Обзор DFM подтверждает совместимость толщины стенки и уплотняющей поверхности.
SUS316L: стандарт для HV и UHV — низкое газообразование, выпекается до 300°C, электроплазменная обработка. Использовать для CF и систем, требующих базового давления ниже 10⁻⁷ мбар. Al 6061 твердое анодирование: для среднего вакуума (< 10⁻⁵ мбар), меньший вес, только фланцы KF. Не выпекается выше 150°C. Выбор материала зависит от вашей целевой базового давления и рабочей температуры.
Да — все вакуумные соединительные детали ультразвуково очищаются в IPA, продуваются сжатым азотом через фильтр и двойная герметизация в пакетах класса ISO 5 для чистых помещений. Отчет о числе частиц (стандарт ISO 14644) доступен по запросу для деталей полупроводникового класса. Поддерживается индивидуальная упаковка для прямого переноса в чистую зону.
Прототип: 6–9 дней. Партия: 10–16 дней. Индивидуальные адаптеры: 7–12 дней.
Получить предложение
Отправьте ваш чертеж.
Получить предложение.
Каждое обращение включает DFM-обзор — проверку пригодности допусков, подтверждение материалов и подход процесса до начала производства. MOQ 1 штука.
24hr
Ответ по предложению
Минимальный заказ 1
Прототипы OK
ИСО
9001:2015
📐
DFM-обзор по каждому обращению
Проверка пригодности допусков, стратегия фиксации и подтверждение материалов. Конкретная, действенная обратная связь — без общего сопротивления.
🎯
Первичный контроль — стандарт
FAI-отчет по каждому новому запуску. Сертификаты материалов и сертификации покрытий включаются в каждую поставку.
🔄
Тот же процесс: от прототипа к производству
План процесса от вашего прототипа применяется к производственным партиям. Повторная квалификация не требуется при масштабировании.
⚙
3 / 4 / 5-ось CNC + токарная обработка
Сложные структурные детали, валы, корпуса и компоненты трансмиссий. Металлы и инженерные пластики.
ИСО 9001:2015
Фрезерование 3/4/5 осей
Токарная обработка на станках с ЧПУ
CMM-инспекция
Глобальная доставка