產品類別
平面度 ≤0.008 · 槽寬公差 ±0.02 · CF 刀口 R≤0.1 · 氦氣洩漏
CVF / 021 — 030
光學級真空
腔室觀測視窗框架
精密 CNC 加工真空腔體視窗框架 — 視窗安裝面平面度 ≤0.008 mm，壓縮槽公差 ±0.02 mm，密封面 Ra 0.8 µm。CF 視窗法蘭、O 型環視窗框架及客製化玻璃安裝結構可選用 SUS316L 或 Al 6061，適用於硼矽玻璃、熔融石英、藍寶石及紅外線級玻璃。.
≤0.008mm
面平度
±0.02mm
槽寬公差.
CF / O 型環
標準
零件圖 · CVF-021 CF63 視窗 · SUS316L EP · 玻璃 Ø50 · 刀口 R≤0.1
ISO 9001 · 氦氣洩漏 · 三次元量測儀
刀口 R≤0.1
玻璃 Ø50 幻影
半導體 · 光學 · 光子 · 研究 · 醫療
應用領域
SUS316L 電拋 · SUS304 · Al 6061 黑色陽極處理
材料
48hr 報價 · 6 天原型
服務
≤0.008mm
視窗表面平整度
均勻壓縮
均勻壓縮
±0.02mm
溝槽公差
密封精度
密封精度
CF / O型環
支援標準
皆可選用
皆可選用
6 天
最快交付
原型訂單
原型訂單
機加工挑戰
視窗框架挑戰
視窗框架必須在整個視窗開口周圍施加均勻壓縮負載——不均勻壓縮會導致視窗玻璃破裂並同時產生漏氣路徑。.
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均勻壓縮幾何結構
視窗接觸面必須平整至 ≤ 0.008 mm，且夾緊螺栓排列必須對稱。任何表面波紋或螺栓排列不對稱都會施加不均勻負載，導致脆性視窗玻璃破裂。.
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密封溝槽精度
O型環或銦線密封溝槽尺寸必須維持在±0.02毫米內——確保正確的壓縮百分比，以達到無漏氣的密封效果且不會過度壓迫視窗。.
✨
光學通道表面品質
視窗框架內部表面不得反射或散射光線進入觀察區域。內部光路表面採黑色陽極處理或Ra 0.8微米，可有效減少雜散光。.
我們的工作
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我們製作的腔體視窗框架
REAL CNC機械加工的半導體元件 — 清潔、檢查，且潔淨室包裝.
SUS316L · CFCF視窗法蘭框架
CF35 · Ra 0.8微米 · 10件
Al 6061 · O型環O型環視窗框架
KF40相容 · 陽極處理 · 8件
SUS316L · 大型大型格式視窗框架
CF100 · 5件
Al 6061 · 客製客製形狀視窗框架
非圓形 · 6件
SUS316L · UHVUHV視窗框架
CF · <1e-9 · 4件
SUS316L · 斜角斜角視窗框架
30° 傾斜 · 4 件
Al 6061 · 標準標準 CF16 視窗框架
黑色陽極 · 20 件
SUS316L · 批次視窗框架批次
15 件 · CMM+氦氣測試
能力與公差
我們可以交付的項目
典型規格 — 請在詢問時確認確切需求.
| 視窗表面平整度 | ≤ 0.008 毫米 |
| 密封槽公差 | ±0.02 mm 深度／寬度 |
| CF 斷面刀刃 | PNEUROP，R ≤ 0.1 mm 尖端 |
| 內部 Ra」 | 0.8 微米（防反射） |
| 最大視窗開口 | Ø200 mm（標準現貨） |
| 氦氣測試 | 適用於真空等級框架 |
| 材料 | SUS316L，Al 6061 黑色陽極 |
| 視窗標準 | CF、KF、自訂 O 型環 |
| 表面處理 | 黑色陽極、鈍化、EP |
| 清潔 | IPA 超音波 清潔室包裝 |
| 交期（樣件） | 6–9 天 |
| 交貨期（批次） | 10–16 天 |
原理
從圖樣到可在潔淨室使用的零件
上傳您的圖面 — DFM 審查、加工、清洗、檢驗及無塵室包裝。.
01
上傳圖樣
STEP、DXF、PDF。請附上玻璃規格、密封標準、潔淨等級。.
02
DFM 與報價
免費DFM審查 — 密封可行性、玻璃壓縮、抗反射。48小時內報價。.
03
機器、清潔與檢驗
CNC加工、超聲波清洗、三次元測量、氦氣漏測、無塵室包裝。.
04
全球運送
完整尺寸報告 + 清潔紀錄附上。DHL / FedEx / 海運。.
評價
獲得半導體與光學工程師信賴
★★★★★
"表面清潔度與包裝立刻符合我們潔淨室進料檢驗要求。尺寸報告與我們的 CMM 檢查完全吻合。"
LW
李偉
製程設備工程師 · 台灣
★★★★★
"HXC 理解我們腔室元件的真空密封需求，無需冗長解釋。交期正如報價所示。"
SL
蘇菲 L.
設備設計工程師 · 韓國
★★★★★
"我們已從 HXC 採購晶圓處理與腔室零件長達兩年。清潔度、尺寸精度與批次一致性皆出色。"
JT
詹姆斯 T.
高階採購 · 美國
常見問題
腔體視窗框架 — 常見問題
由我們的半導體元件團隊回答的工程與採購相關問題。.
均勻壓縮需符合： （1）表面平整度 ≤ 0.008 mm 經三次元測量驗證；; （2）對稱螺栓排列 — 所有緊固孔於相同節距半徑 ±0.01 mm；; （3）溝槽中心線位置 需在視窗開口中心線 ±0.02 mm 內。這些條件確保O型環或CF墊片能在整個視窗周邊均勻壓縮。.
CF ConFlat 刃口密封 （銅或鋁墊片，UHV等級）依DIN 28403加工。. O型環端面密封 （AS568A / BS1806）適用於相關O型環截面。. 銦線密封 適用於UHV矩形視窗。請指定您的視窗玻璃供應商，我們會確認密封介面幾何。.
可以 — 視窗框架內部表面可 黑色硬陽極氧化 （Type III黑色）適用於鋁框架，或 噴砂＋黑色磷化處理 適用於鋼製框架。兩者皆能顯著減少框架內部的雜散光反射，否則這些反射會出現在製程監控影像中。.
所有標準視窗玻璃材料： 硼矽玻璃（Pyrex）, 熔融石英／石英, 藍寶石, ZnSe （紅外線），以及 BaF₂. 。框架溝槽幾何尺寸依特定玻璃厚度與所需壓縮百分比設計——過度緊密的壓縮會導致脆性紅外線視窗材料破裂。.
可以——長方形、橢圓形及客製輪廓的視窗框架皆可在我們的五軸CNC機台上加工。密封溝槽會連續跟隨輪廓。對於長方形框架：角落幾何會以定義半徑加工，以防止玻璃產生應力集中。.
標準庫存框架：Ø200 mm（CF200／KF200）。客製框架：最大至Ø350 mm。長方形視窗：最大至300 × 200 mm開口。更大尺寸可依需求提供。.
原型： 6–9 天. 。批次：10–16天。UHV CF視窗框架經氦氣測試：另加1–2天。.
獲取報價
寄出您的圖紙。.
取得報價。.
每次詢價皆含 DFM 檢視—公差可行性、材料確認與製程方式在量產前確認。最低訂購量 1 件。.
24hr
報價回覆
最小訂購量 1
樣件可用
國際標準化組織
9001:2015
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每次詢價均進行 DFM 檢視
公差可行性、定位夾具策略與材料確認。具體、可操作的回饋—非泛泛的抗辯。.
🎯
首件檢驗—標準
每批新作的 FAI 報告。每次出貨皆附材質證明與表面處理證明。.
🔄
相同流程：從原型到量產
自原型的加工計畫適用於量產批次；放大規模時不需重新鑑定。.
⚙
3 / 4 / 5 軸 CNC +車削
複雜結構件、軸、殼體與傳動元件。金屬與工程塑膠。.
ISO 9001:2015
3/4/5 軸銑床
CNC 車削
座標測量儀檢驗
全球交付