Catégorie de produit
Planéité ≤0,008 · Rainure ±0,02 · Lame CF R≤0,1 · Fuite He
CVF / 021 — 030
Vide de qualité optique
Cadres de viewport pour chambre
Cadres de fenêtre de chambre à vide usinés avec précision CNC — planéité de la face de montage de la fenêtre ≤ 0,008 mm, tolérance de rainure de compression ±0,02 mm, Ra de la face d'étanchéité 0,8 µm. SUS316L ou Al 6061 pour les brides de fenêtre CF, cadres de fenêtre à joint torique, et structures de montage de fenêtres personnalisées pour verre borosilicate, silice fondue, saphir, et verre de qualité IR.
≤0,008mm
Planéité de la Face
±0.02mm
Tolérance de rainure.
CF / Joint torique
Normes
Dessin de pièce · CVF-021 Fenêtre CF63 · SUS316L EP · Verre Ø50 · Râteau de lame R≤0,1
ISO 9001 · Fuite He · CMM
Râteau de lame R≤0,1
Verre Ø50 Phantom
Semi · Optique · Photonique · Recherche · Médical
Applications
SUS316L EP · SUS304 · Al 6061 noir anodisé
Matériaux
48hr Devis · Proto de 6 jours
Service
≤0,008mm
Planéité de la face de la fenêtre
compression uniforme
compression uniforme
±0,02mm
Tolérance de rainure
Précision d'étanchéité
Précision d'étanchéité
CF / Joint torique
Normes supportées
les deux disponibles
les deux disponibles
6 Jours
Livraison la plus rapide
commandes de prototypes
commandes de prototypes
Défis de l'usinage
Défis du cadre de la fenêtre
Un cadre de fenêtre doit appliquer une charge de compression uniforme autour de toute l'ouverture de la fenêtre — une compression non uniforme fissure le verre de la fenêtre et crée des voies de fuite simultanément.
📐
Géométrie de compression uniforme
La face de contact de la fenêtre doit être plate à ≤ 0,008 mm, et le motif de la vis de serrage doit être symétrique. Toute ondulation de la face ou motif de vis asymétrique applique une charge non uniforme, fissurant le verre fragile de la fenêtre.
⊕
Précision de la rainure d'étanchéité
Les dimensions de la rainure d'étanchéité en joint torique ou fil d'indium doivent être maintenues à ±0,02 mm — garantissant le pourcentage de compression correct pour une étanchéité sans fuite sans surcharger la fenêtre.
✨
Qualité de surface pour l'accès optique
Le cadre de la fenêtre ne doit pas avoir de surfaces internes qui réfléchissent ou diffusent la lumière dans le champ d'observation du processus. Un intérieur anodisé noir ou Ra 0,8 µm sur les surfaces optiques internes minimise la lumière parasite.
Notre travail
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Cadres de fenêtres de chambre que nous avons fabriqués
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Capacités & Tolérances
Ce que nous pouvons livrer
Spécifications typiques — confirmer les exigences exactes lors de la demande.
| Planéité de la face du cadre de fenêtre | ≤ 0,008 mm |
| Tolérance de la rainure d'étanchéité | ±0,02 mm de profondeur / largeur |
| Lame de couteau CF | PNEUROP, pointe R ≤ 0,1 mm |
| Ra interne | 0,8 µm (anti-reflet) |
| Ouverture maximale de l'oculaire | Ø200 mm (stock standard) |
| Test d'hélium | Disponible pour cadres avec classification à vide |
| Matériaux | SUS316L, Al 6061 noir ano |
| Normes des hublots | CF, KF, joint torique personnalisé |
| Traitement de surface | Anodisation noire, passivation, électropolissage |
| Nettoyage | Ultrasonique IPA + emballage en salle blanche |
| Délai de fabrication (prototype) | 6–9 jours |
| Délai de fabrication (lot) | 10–16 jours |
Comment ça fonctionne
Du dessin à la pièce prête pour la salle blanche
Téléchargez votre dessin — examen DFM, usinage, nettoyage, inspection et emballage en salle blanche.
01
Télécharger le dessin
STEP, DXF, PDF. Inclure la spécification du verre, la norme d'étanchéité, la classe de propreté.
02
DFM & Devis
Examen DFM gratuit — faisabilité de l'étanchéité, compression du verre, antireflet. Devis sous 48 h.
03
Machine, Nettoyage & Inspection
Usinage CNC, nettoyage par ultrasons, MMT, test d'étanchéité à l'hélium, emballage en salle blanche.
04
Expédition dans le monde entier
Enregistrement complet des dimensions + nettoyage inclus. DHL / FedEx / fret maritime.
Avis
Approuvé par des ingénieurs en semi-conducteurs et en optique
★★★★★
"La propreté de surface et l'emballage ont immédiatement répondu à nos exigences d'inspection d'entrée en salle blanche. Le rapport dimensionnel correspond parfaitement à notre vérification CMM."
LW
Li Wei
Ingénieur en équipements de processus · France
★★★★★
"HXC a compris les exigences de scellement sous vide pour nos composants de chambre sans explication longue. Le délai de livraison était exactement comme indiqué."
SL
Sophie L.
Ingénieur en conception d'équipements · France
★★★★★
"Nous avons approvisionné en pièces de manipulation de wafers et en pièces de chambre auprès de HXC depuis deux ans. La propreté, la précision dimensionnelle et la cohérence des lots sont excellentes."
JT
James T.
Responsable des achats senior · France
FAQ
Cadres de hublots de chambre — FAQ
Questions d'ingénierie et d'approvisionnement répondues par notre équipe de composants pour semi-conducteurs.
Une compression uniforme nécessite : (1) Planéité de la face ≤ 0,008 mm vérifiée par MMT ; (2) Disposition symétrique des boulons — tous les trous de fixation à un même rayon ±0,01 mm ; (3) Position de la ligne médiane de la rainure à ±0,02 mm de la ligne médiane de l'ouverture du hublot. Ensemble, ces éléments garantissent que le joint torique ou le joint CF se comprime uniformément sur tout le périmètre du hublot.
CF ConFlat à lame de couteau (joint en cuivre ou en aluminium, qualité UHV) usiné selon la DIN 28403. Joint torique face étanchéité (AS568A / BS1806) pour la section transversale du joint torique concerné. Joint en fil d'indium pour les fenêtres à vue rectangulaires UHV. Spécifiez votre fournisseur de verre de fenêtre et nous confirmons la géométrie de l'interface d'étanchéité.
Oui — les surfaces intérieures des cadres de fenêtre peuvent être anodisées dur noire (Type III noire) pour les cadres en aluminium, ou brossées à la bille + phosphatage noir pour les cadres en acier. Les deux réduisent considérablement les réflexions de lumière parasite provenant de l'intérieur du cadre qui apparaîtraient autrement dans les images de surveillance du processus.
Tous les matériaux de verre de fenêtre standard : bore(s)ilicate (Pyrex), silice fondue / quartz, saphir, ZnSe (IR), et BaF₂. La géométrie de la rainure du cadre est dimensionnée pour l'épaisseur spécifique du verre et le pourcentage de compression requis — une compression trop serrée fissure les matériaux fragiles des fenêtres IR.
Oui — les cadres de fenêtres rectangulaires, ovales et à profil personnalisé sont usinés sur nos machines CNC 5 axes. La rainure d'étanchéité suit en continu le profil. Pour les cadres rectangulaires : la géométrie des angles est usinée avec un rayon défini pour éviter la concentration de stress dans le verre.
Cadres de stock standard : Ø200 mm (CF200 / KF200). Cadres personnalisés : jusqu'à Ø350 mm. Vues en fenêtre rectangulaires : jusqu'à 300 × 200 mm d'ouverture. Tailles plus grandes disponibles sur demande.
Prototype : 6–9 jours. Lot : 10–16 jours. Cadres de vue en fenêtre CF UHV avec test à l'hélium : ajouter 1–2 jours.
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Chaque demande comprend une revue DFM — faisabilité des tolérances, confirmation du matériau et approche du processus avant le début de la production. MOQ 1 pièce.
24hr
Réponse au devis
Quantité Minimum de Commande 1
Prototypes OK
ISO
9001:2015
📐
Revue DFM sur chaque demande
Faisabilité des tolérances, stratégie de fixation et confirmation des matériaux. Retour spécifique et exploitable — pas de refus générique.
🎯
Inspection du premier article — Standard
Rapport FAI sur chaque nouvelle série. Certificats de matériaux et de traitement de surface inclus avec chaque expédition.
🔄
Même processus : Prototype à Production
Le plan de processus de votre prototype s'applique aux lots de production. Pas de requalification lors de la montée en gamme.
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