表面研磨密封面
腔室盖板

≤ 0.008 毫米 適用於動態及靜態 O 型環面密封 — 這可確保 O 型環在整個圓周均勻壓縮。真空腔體蓋板：≤ 0.005 mm。金屬刀刃面密封：≤ 0.003 mm，Ra ≤ 0.4 µm。所有密封面平整度均由 CMM 在 25 個以上測量點驗證。.

O 型環溝槽尺寸使用 專用溝槽銑刀並經校準直徑. 加工後，每個溝槽都由 CMM 測量（在 4 個角度位置測量溝槽寬度及深度）。寬度公差：±0.02 mm；深度公差：±0.02 mm。這些公差可確保 O 型環壓縮百分比符合密封製造商規範。.

可以 — 配對的蓋板與腔體本體會同時鑽孔以確保螺栓孔完全對齊。O 型環溝槽在蓋板加工，配合面在本體加工 — 兩者出貨前均由 CMM 驗證尺寸相容性，作為配對組合。.

高真空蓋板： Ra 0.4 µm，平整度 ≤ 0.005 mm. 超高真空 ConFlat 型蓋法蘭：Ra 0.2 µm，刀刃幾何形狀由輪廓儀驗證。密封面為最後一道加工程序 — 所有其他特徵完成後才進行。.

AS568A （台灣標準），, BS1806 （台灣／歐盟），以及 ISO 3601 適用於靜態與動態密封面溝槽。所有溝槽幾何尺寸皆依實際O型環截面直徑及所需壓縮百分比計算。HXC工程師於DFM審查時，會確認溝槽尺寸符合您的O型環等級及操作壓力。.

可以 — 上蓋板可包含 整合式冷卻通道、感測器孔位、電氣貫穿孔及觀察窗 這些功能皆可於與密封面相同的加工設置中完成。所有特徵皆以孔位圖樣及O型環溝槽相同基準面為參考。.

標準： 600 × 400毫米 可進行表面研磨。較大型板件（最大1,200 × 800 mm）：精密銑削，平面度≤0.02 mm。超大型真空上蓋法蘭（>800 mm直徑）：請聯絡我們以獲得客製化加工方案。.

原型： 6–9 天. ．批量：10–16天。成對（含本體）：配對鑽孔需加1–2天。.