PEEK CNC
Обрабатывается на станке
Запчасти

Изолирующие компоненты для полупроводникового технологического оборудования из PEEK, электрические изоляционные детали сборки и прецизионные изолирующие кронштейны для CVD, ALD, травления, имплантации и оборудования инспекции. Преимущества PEEK по сравнению с альтернативными изоляционными пластиками (PTFE, POM, G10) для полупроводниковых применений: (1) Температура — PEEK сохраняет целостность конструкции и размерную стабильность при 200–250°C, подходит для компонентов горячелистного реактора CVD, где POM расплавится, а PTFE начнет течь; (2) Сопротивление галогенам — PEEK устойчив к Cl₂, HCl, F₂, HF и другим процессным газам, которые атакуют POM и нейлон; (3) Размерная стабильность — влагопоглощение <0.5% (по сравнению с нейлоном 2.5–8%) позволяет поддерживать допуск по отверстиям H7 в условиях переменной влажности на ФЭБ-полупроводниковых производствах; (4) совместимость с UHV — скорость высвобождения газа после выпекания при 150°C приемлема для HV-применений (10⁻⁸–10⁻⁹ Па·м³/с); (5) Неменякость — не вмешивается в магнитные поля ионной имплантации или оборудования электронного луча. Полупроводниковые изоляционные детали: отверстие H7, профиль ±0.05мм, Ra ≤0.4μm. Электрические изоляционные блоки и прокладки: CTI ≥175В, UL 94 V-0, профиль ±0.05мм. Прецизионные изолирующие кронштейны: отверстие H7, плоскость лицевой поверхности ±0.02мм, проверка GD&T на CMM.

Структурные детали из PEEK и PEEK для имплантатов медицинского устройства (биосовместимость ISO 10993, совместимость со стерилизацией, совместимость с МРТ, радиопрозрачность) и высокопроизводительные конструкционные компоненты для требовательных механических приложений, где требуются свойства пластика с прочностью, близкой к металлу. Части медицинских устройств: Ra ≤0,4 мкм; посадочные отверстия bore H7; подтверждённый метод стерилизации (автоклав 134°С, гамма-облучение до 25 кГр, EtO или плазма H₂O₂ — всё совместимо с стандартным PEEK). Включён пакет документации по ISO 10993 для производства. Имплантато--grade PEEK (Invibio PEEK-OPTIMA или эквивалент) с сертификатом прослеживаемости партии для применений, связанных с имплантатами. Конструкционные детали высокой производительности: PEEK-CF30 (углеродистое волокно 30%) прочность на растяжение ~200 МПа, модуль ~13 ГПа — наибольшая удельная жесткость среди обычных пластиковых композитов; немагнитный; стабильность размеров; допуск ±0,05 мм; посадочное отверстие bore H7.

Вановые втулки из PEEK для высоких температур в качестве подшипников скольжения (буртом H7, Ra ≤0.4μм, непрерывная служба 250°C — применяются в вакуумных духовках, испытательных установках, оборудовании для термообработки полупроводников и аксессуарах для химических реакторов, где использование металлического подшипника невозможно по причине проводимости или требований к чистоте), корпуса уплотнений из PEEK для высоких температур (бурт H7, химически стойкие, от -40°C до +250°C — для уплотнительных узлов в процессе высокотемпературной химической переработки, где PTFE будет течь холодным путём, а PA66 смягчаться), а износостойкие направляющие и накладки из PEEK-GF30 / PEEK-CF30 (профиль ±0.05мм, обслуживание при 250°C, значительно лучше износостойкость по сравнению с незалитым PEEK). PEEK-CF30 обеспечивает максимальную износостойкость при непрерывном контакте в скольжении — углеродное волокно обеспечивает самосмазывающий эффект при повышенной температуре. Бурт подшипника PEEK H7 сохранение в эксплуатации: поглощение влаги <0.5% и коэффициент теплового расширения 47×10⁻⁶/°C (меньше чем у POM 100×10⁻⁶/°C) — изменение размеров бурта от окружающей среды до 200°C предсказуемо и может быть компенсировано в спецификации бурта при проектировании изделия (DFM).