Usiné CNC
Collecteurs à vide

Standard : <1×10⁻⁹ mbar·l/s (test de fuite à l'hélium). Pour les applications UHV : <1×10⁻¹⁰ mbar·l/s avec traitement de surface supplémentaire et brides CF à bord tranchant. Chaque manifold à vide HXC produit est testé à l'hélium pour fuite et un certificat de test avec date, référence de calibration de l'instrument et débit de fuite mesuré est fourni.

Toutes les brides d'interface à vide standard des machines HXC : KF (Bride Klein, ISO 2861) — Ø10 à Ø160 mm ; CF (ConFlat, ANSI/BSR) — étanchéité à lèvre pour UHV ; ISO-K / ISO-F — vide à grand diamètre ; VCR — raccords pour tubes de gaz et de vide de haute pureté. Toutes les dimensions de face de bride sont usinées selon la norme ISO/PNEUROP et vérifiées par CMM.

Les machines HXC électropolissent toutes les surfaces internes des collecteurs à vide : Ra 0,4 µm après électropolissage (contre Ra 0,8–1,6 µm usiné). L’électropolissage élimine les aspérités de surface et la couche appauvrie en chrome, réduisant le taux de dégazage de 5 à 10 fois par rapport aux surfaces uniquement usinées. Essentiel pour les systèmes nécessitant une pression de base inférieure à 10⁻⁷ mbar.

(1) Dégraissage et élimination des résidus d'usinage; (2) Nettoyage par ultrasons dans l'IPA; (3) Séchage à l'air avec azote; (4) Inspection visuelle sous lumière UV pour détecter toute contamination résiduelle ; (5) Emballage en salle blanche à double scellement dans un sac de classe ISO 5. Rapport de comptage de particules disponible sur demande pour les collecteurs de qualité semi-conducteur.

Les dimensions de la gorge de l'O-ring pour les brides CF et KF suivent la géométrie de gorge standard AS568 / BS1806. Tolérances critiques : largeur de gorge ±0,02 mm ; profondeur de gorge ±0,02 mm ; position de la ligne centrale de gorge ±0,05 mm par rapport à la face de la bride. Ces tolérances garantissent que l'O-ring est comprimé au pourcentage correct pour une étanchéité sans fuite. Toutes les dimensions de gorge sont vérifiées par CMM.

Oui — pour les applications UHV (pression de base <10⁻⁹ mbar) : (1) Brides CF ConFlat avec étanchéité à lame de rasoir (joint en cuivre ou plaqué or) ; (2) Intérieur électropolishé Ra 0,4 µm; (3) Matériaux compatibles UHV (SUS316L, grades non magnétiques sur demande) ; (4) capable de bake-out — usinés à partir de 316L sans volumes piégés. Test d'étanchéité à l'hélium <1×10⁻¹⁰ mbar·l/s disponible.

SUS316L: standard pour le vide haute et ultra-haute — faible émission de gaz, électropolissable, non magnétique (grade standard). Al 6061/6082: pour les systèmes à vide inférieur (< 10⁻⁶ mbar) où le poids est important — brides KF, anodisation dure. SUS304: pour le vide moyen et les systèmes de processus propres. Certificats de matériaux et conformité RoHS fournis.

Prototype : 7–10 jours (inclut électropolissage + test de fuite à l'hélium). Petite série (5–20 pièces) : 12–18 jours. Production : 16–24 jours. Manifolds UHV ConFlat : ajouter 2–3 jours.