Catégorie de produit
Gouge ±0,02 · Planéité ≤0,008 · Diagonale ±0,05 · Fuite d'air
CSF / 011 — 020
Vide à gorge continue
Cadres d'étanchéité de chambre
Cadres d'étanchéité à vide usinés avec précision CNC — Rainure en O sur tout le périmètre intérieur à ±0,02 mm, planéité du cadre ≤ 0,008 mm, rectitude diagonale ±0,05 mm. SUS316L électropolishé ou Al 6061 anodisé dur pour les cadres de porte à vide, cadres de fenêtre d'observation et structures de scellement d'ouverture de chambre.
±0.02mm
Rainure en O
≤0,008mm
Planéité du cadre
±0,05mm
Diagonale
Dessin PART · CSF-011 PORTE À VIDE · SUS316L EP · 400×280 · GORGE ±0,02
ISO 9001 · Fuite He · CMM
Gorge périmétrique
Diag ±0,05
Semi · Vide · Optique · Recherche · Médical
Applications
SUS316L EP · SUS304 · Al 6061 · Al 7075
Matériaux
48hr Devis · Prototype de 7 jours
Service
±0,02mm
Rainure pour joint torique
dimension d'étanchéité
dimension d'étanchéité
≤0,008mm
Planéité du cadre
surface d'étanchéité
surface d'étanchéité
±0,05mm
Précision diagonale
cadres rectangulaires
cadres rectangulaires
7 Jours
Livraison la plus rapide
commandes de prototypes
commandes de prototypes
Défis de l'usinage
Défis du cadre d'étanchéité de la chambre
Un cadre d'étanchéité rectangulaire doit maintenir simultanément la planéité, la rectitude diagonale et la précision de la gorge pour joint torique — les sections fines du cadre sont susceptibles de se déformer lors de l'usinage et du traitement thermique.
📐
Rectitude et planéité du long côté
Les longs côtés du cadre (300–800 mm) sont susceptibles de se courber sous contrainte résiduelle après l'usinage. HXC utilise un processus en plusieurs étapes de dégrossissage + vieillissement + rectification pour atteindre une planéité ≤ 0,008 mm sur toutes les faces d'étanchéité.
⊕
Précision de la gorge continue
Les gorges pour joint torique entourant tout le périmètre doivent maintenir une largeur de ±0,02 et une profondeur de ±0,02 en continu — y compris aux coins où l'outil change de direction. La CMM scanne toute la gorge à plus de 20 points.
◻️
Rectitude diagonale
Un cadre rectangulaire doit être carré avec une tolérance de ±0,05 mm en diagonale — une non-squareness crée une compression inégale du joint torique aux coins. HXC usine tous les côtés en une seule configuration pour maintenir la rectitude.
Notre travail
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Cadres d'étanchéité de chambre que nous avons réalisés
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10 pièces · Vérifié par CMM
Capacités & Tolérances
Ce que nous pouvons livrer
Spécifications typiques — confirmer les exigences exactes lors de la demande.
| Tolérance de rainure pour joint torique | ±0,02 mm de profondeur / largeur |
| Planéité du cadre | Faces d'étanchéité ≤ 0,008 mm |
| Précision diagonale | ±0,05 mm |
| Rectitude du côté long | ≤ 0,01 mm / 300 mm |
| Taille maximale du cadre | 800 × 600 mm |
| Largeur minimale de la section | 8 mm |
| Matériaux | SUS316L, SUS304, Al 6061/7075 |
| Traitement de surface | Passivation, électropolissage, anodisation dure |
| Nettoyage | Ultrasonique IPA + emballage en salle blanche |
| Inspection | Scan complet du périmètre de rainure CMM |
| Délai de fabrication (prototype) | 7–10 jours |
| Délai de fabrication (lot) | 12–18 jours |
Comment ça fonctionne
Du dessin à la pièce prête pour la salle blanche
Téléchargez votre dessin — revue DFM, usinage, nettoyage, inspection et emballage en salle blanche dans le délai convenu.
01
Télécharger le dessin
STEP, DXF, PDF. Inclure le matériau, la tolérance et la classe de propreté.
02
DFM & Devis
Revue DFM gratuite — faisabilité du scellement, murs fins, ébavurage. Devis en 48 h.
03
Machine, Nettoyage & Inspection
Usinage CNC, nettoyage ultrason, CMM, emballage en salle blanche.
04
Expédition dans le monde entier
Enregistrement complet des dimensions + nettoyage inclus. DHL / FedEx / fret maritime.
Avis
Fiable auprès des ingénieurs en équipements de semi-conducteurs
★★★★★
"La propreté de surface et l'emballage ont immédiatement répondu à notre inspection d'entrée en salle blanche. Le rapport dimensionnel correspondait parfaitement à notre vérification CMM."
LW
Li Wei
Ingénieur en équipements de processus · France
★★★★★
"HXC a compris les exigences de scellement sous vide pour nos composants de chambre sans explication longue. Le délai de livraison était exactement comme indiqué."
SL
Sophie L.
Ingénieur en conception d'équipements · France
★★★★★
"Deux ans de manipulation de wafers et de pièces de chambre. La propreté, la précision dimensionnelle et la cohérence des lots sont excellentes."
JT
James T.
Responsable des achats senior · France
FAQ
Cadres de scellement de chambre — FAQ
Questions d'ingénierie et d'approvisionnement répondues par notre équipe.
La rainure en O du périmètre complet est usinée avec un outil de fraiseuse à rainure dédié en une seule opération continue — même diamètre d'outil, mêmes réglages d'avance et de profondeur tout au long. La CMM scanne la rainure à 20+ points autour du périmètre et rapporte la déviation maximale de la largeur et de la profondeur.
(1) Billet d'aluminium T651 (tendu en pré-tension, faible contrainte résiduelle) ou plaque en SUS316L annealée ; (2) Usinage en deux étapes — fraisage brut → vieillissement de 24h → usinage de finition ; (3) Fixation répartie à plusieurs points pour éviter la déflexion en milieu de portée ; (4) Rectification de surface des faces d'étanchéité en tant qu'opération finale.
Joint torique face étanchéité (le plus courant pour les portes à vide) : géométrie de rainure AS568A / BS1806. Joint plat: face lisse Ra 0,8 µm, planéité ≤ 0,01 mm. Lame de joint en métal: face Ra 0,2 µm, planéité ≤ 0,003 mm. Joint en fil d'indium: géométrie précise du canal pour cadres rectangulaires à vide extrême.
Largeur de section minimale : 8 mm pour les cadres d'O-ring standard (largeur de gorge + 3 mm de paroi minimale de chaque côté). Pour les cadres plus étroits, une section transversale d'O-ring plus petite doit être utilisée. La revue DFM confirme la section minimale pour la géométrie de votre cadre.
Oui — pour les grands cadres où l'usinage à partir de matériaux de rebut solides, machines HXC à partir de blanks soudés en SUS316L ou Al. Le blank est soudé au TIG ou au laser, puis soumis à un traitement de détente des contraintes avant l'usinage. Toutes les faces d'étanchéité et la géométrie de la gorge sont usinées en finition après soudure.
Oui — tout profil (rond, oval, en L, avec découpes de port) est usiné à partir de notre CNC 5 axes. La gorge de l'O-ring suit en continu le profil du cadre, quelle que soit la forme. Tolérance de profil : ±0,05 mm. La revue DFM vérifie la largeur de section minimale à toutes les transitions de profil.
Prototype : 7–10 jours. Lot : 12–18 jours. Grands cadres (>500 mm) avec rectification de surface : ajouter 2–3 jours.
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Chaque demande comprend une revue DFM — faisabilité des tolérances, confirmation du matériau et approche du processus avant le début de la production. MOQ 1 pièce.
24hr
Réponse au devis
Quantité Minimum de Commande 1
Prototypes OK
ISO
9001:2015
📐
Revue DFM sur chaque demande
Faisabilité des tolérances, stratégie de fixation et confirmation des matériaux. Retour spécifique et exploitable — pas de refus générique.
🎯
Inspection du premier article — Standard
Rapport FAI sur chaque nouvelle série. Certificats de matériaux et de traitement de surface inclus avec chaque expédition.
🔄
Même processus : Prototype à Production
Le plan de processus de votre prototype s'applique aux lots de production. Pas de requalification lors de la montée en gamme.
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