info@hxcnc.com Shenzhen, China Răspunde în termen de 24 de ore
Categorie Produs
Fără bavuri · Ra 0.8 · Fără particule UV · Cameră de curățare
CIC / 001 — 010

Proces fără particule
Componente interne ale camerei

Componente interne ale camerei de vid prelucrate CNC ultra-curate — scuturi, difuzoare, difuzori și structuri de montaj. Debavurare fără bavuri verificată la 10× mărire, Ra 0.8 µm sau mai bun, zero particule libere după curățarea cu ultrasunete și inspecția UV. Al 6061 anodizat dur sau SUS316L electropolizat pentru interiorul procesului de plasmă, CVD, gravură și depunere.

Fără bavuri
Toate marginile
Ra 0.8µm
Suprafața procesului
Cameră curată
Clasa ISO 5
DESEN PART · CIC-000 BAFLE · Al 6061 HA · PERETE 1.5 · FĂRĂ BAVURI ISO 9001 · UV · CMM
Fără bavuri · UV
Perete ≥1.0 · Ra 0.8
BAFLE · X-SEC · CAMERĂ DE PROCES Al 6061 HA · Ø180 · 24 GĂURI DE GAZ · Perete 1.5 · Ra 0.8 1.5 ±0.05 nor de plasmă fantomă GĂURI DE DIFUZIE A GAZELOR · FĂRĂ BAVURI Ra 0.8 fără bavuri R0.2 wafer fantomă Ø300 INSPECȚIE PARTICLE UV · FĂRĂ LOOSE PERETE · MATERIAL Al 6061 HA ◀≥1.0 mm SUS316L EP≥1.2 mm PEEK≥1.5 mm SUS304≥1.0 mm CLASĂ · PARTICLE Inspecție UV ◀fără loose Clasa ISO 5pachet pentru cameră curată Clasa ISO 7semi specificație zăpadă CO₂ + IPA US TIP · COMPONENT SCUT ◀ PLAFONIERĂ difuzor Liner Kituri corespunzătoare furnizate Scut + Baflă + Suport MATERIAL · UTILIZARE Al 6061 HA ◀scut / liner SUS316L EPumed cu gaz SUS304curățare generală PEEKizolat electric Al 7075 HAluminoasă + rigidă SCALĂ 1:1 · MM
Semi · Vacuum · Optică · Cercetare · Medical
Aplicații
Al 6061 HA · SUS316L EP · PEEK · Al 7075
Materiale
48hr Citat · Proto de 7 zile
Serviciu
Fără bavuri
Toate marginile
verificat la 10× mărire
Ra 0.8µm
Suprafețe interne
clasă de mediu de proces
Cameră curată
Ambalare
standard ISO Clasa 5
7 Zile
Livrare cea mai rapidă
comenzi pentru prototipuri
Provocări în prelucrare

Provocări ale componentelor interne ale camerei

Componentele interne sunt în contact direct cu mediul de proces — orice particulă liberă, bavură sau contaminare de suprafață poate contamina direct waferele sau afecta chimia procesului.

✂️
Deburring fără zgârieturi
Fiecare margine internă trebuie să fie debitată până la un raze definit cu particule zero libere. HXC folosește unelte de debitat precis, curățare cu zăpadă de CO₂ și Inspecție cu mărire de 10× a fiecărei margini înainte de curățarea ultrasonică.
⚖️
Controlul deformării pereților subțiri
Ecrane interne și despărțitoare au adesea pereți de 1–3 mm grosime. HXC folosește dispozitive dedicate și tăieturi secvențiale ușoare pentru a preveni vibrațiile și deformările. Grosimea pereților verificată cu CMM și dispozitiv ultrasonic.
🔬
Compatibilitate cu camere curate
Componentele interne necesită materiale care nu degajă gaze sau particule în vid. Se folosesc doar fluide de tăiere compatibile cu camerele curate. Curățarea post-prelucrare verificată prin numărul de particule și inspecție UV.
Lucrările noastre

Componente interne ale camerei pe care le-am realizat

Componente semiconductoare prelucrate CNC real — curățate, inspectate și ambalate în cameră curată.

Solicită piesă similară →
Scutul de plasmă al camerei de procesAl 6061 · Ecran
Ecran de plasmă
Anodizare · Fără zgârieturi · 10 bucăți
Paravanul camerei — ElectropolizatSUS316L · Despărțitor
Despărțitor de cameră
Ra 0.8µm EP · 8 bucăți
Suport interiorAl 6061 · Suport
Suport de susținere
Perete subțire · 15 bucăți
Placă difuzor gazSUS316L · Difuzor
Placă difuzor gaz
Orificii de precizie · 6 bucăți
Inserție pentru liner-ul camereiAl 6061 · Liner
Liner pentru cameră
Protectiv · 12 bucăți
Inel de focalizareInel SUS316L
Inel de focalizare
Uniform · 8 bucăți
Suport pentru senzorAl 7075 · Suport
Suport pentru senzor
Ușor · 20 bucăți
Lot internSUS316L · Lot
Lot de componente interne
15 bucăți · Verificat pentru particule
Capacități și toleranțe

Ce putem livra

Specificații tipice — confirmați cerințele exacte la solicitare.

Standard de deburringFără bavuri, verificat cu lupa 10×
Ra InternStd 0,8 µm (disponibil 0,4 µm)
Curățenie particuleInspecție UV, zero loose
Grosime minimă a peretelui1.0 mm Al / 1.2 mm SUS
Inspecție CMMToate dimensiunile critice
AmbalareClasa ISO 5, purjare N₂
MaterialeAl 6061/7075, SUS316L, PEEK
DeburringUnealtă + zăpadă CO₂ + US
CurățareIPA US + N₂ uscat + UV
Timp de livrare (proto)7–10 zile
Timp de livrare (lot)12–18 zile
DFM perete subțireInclus în ofertă
Cum funcționează

De la desen la piesă pregătită pentru cameră curată

Încărcați desenul dvs. — revizuire DFM, prelucrare, curățare, inspecție, ambalare în cameră curată.

01
Încărcați desenul
STEP, DXF, PDF. Includeți materialul, toleranța și clasa de curățenie.
02
DFM & Ofertă
DFM gratuit — pereți subțiri, strategie de degroșare, finisaj. Ofertă în 48 h.
03
Prelucrare, Curățare & Inspecție
CNC, curățare ultrasonică, CMM + particule UV, ambalare în cameră curată.
04
Livrare în întreaga lume
Înregistrare completă dimensională + curățenie. DHL / FedEx / transport maritim.
Recenzii

De încredere pentru inginerii echipamentelor semiconductoare

★★★★★
"Curățenia suprafeței și ambalajul au îndeplinit imediat inspecția de intrare în sala curată. Certificatul de inspecție cu particule UV a corespuns controlului nostru intern de calitate."
LW
Li Wei
Inginer echipamente de proces · România
★★★★★
"HXC a înțeles imediat cerința de fără bavuri pentru ecranele noastre de plasmă. Inspecția pe margine de 10× a găsit zero bavuri libere pe primul articol."
SL
Sophie L.
Inginer proiectare echipamente · România
★★★★★
"Doi ani de manipulare a wafereurilor și piese pentru cameră. Curățenia, precizia dimensională și consistența lotului sunt excelente."
JT
James T.
Senior Achiziții · România
Întrebări frecvente

Componente interne ale camerei — Întrebări frecvente

Întrebări de inginerie și achiziții răspunse de echipa noastră de componente semiconductoare.

Controlul particulelor în trei etape: (1) Debavurare de precizie — toate marginile debavurate la un radius definit folosind unelte calibrate; (2) Curățare cu zăpadă de CO₂ — eliminarea particulelor kinetice fără contaminare cu lichid; (3) Curățare ultrasonică cu IPA + inspecție cu lampă UV 10× — zero particule detectabile. Certificat de numărătoare a particulelor disponibil.
Da: pereți din Al 6061 ≥ 1,0 mm și pereți din SUS316L ≥ 1,2 mm posibil de realizat folosind: (1) prindere cu fălci moi sau mandrină expansibilă; (2) tăieturi de finisare ușoare secvențiale; (3) răcire cu aer doar (fără presiune de răcire care să deformeze pereții subțiri). Grosimea pereților verificată cu CMM și cu un dispozitiv ultrasonic calibrat.
Al 6061 anodizat dur: standard pentru ecrane, inele, montaj — ușor, bună conductivitate termică. SUS316L electropolizat: componente wettate cu gaz — emisii scăzute, suprafață netedă rezistentă la particule. PEEK: componente izolate electric sau unde trebuie eliminată contaminarea cu metal.
Da — HXC furnizează în mod regulat kituri de componente interne compatibile: scut + paravan + suport verificat dimensional ca un set. Compatibilitatea asamblării verificată cu CMM înainte de expediere. Toate componentele dintr-un kit au același număr de lot pentru trasabilitate.
Față de plasmă (scuturi, lineri): Ra 0.8 µm, anodizare dură Al sau electropolizare SUS316L. Wettate cu gaz (paravane, difuzoare): Ra 0.4 µm, electropolizat SUS316L. Montaj și structural: Ra 1.6 µm standard. Verificat cu profilometru.
Maxim pentru un singur component: 500 × 300 × 150 mm. Dimensiunea minimă a caracteristicii: 1.0 mm grosime perete, 0.5 mm lățime a canalului. Pentru componente interne complexe cu multiple zone cu pereți subțiri, revizuirea DFM identifică secțiunile critice și recomandă dimensiuni minime.
Prototip: 7–10 zile. Lot: 12–18 zile. Ansambluri interne complexe mari: 14–22 zile.
Solicită o ofertă

Trimite-ți desenul.
Obține o ofertă.

Fiecare solicitare include o revizuire DFM — fezabilitatea toleranței, confirmarea materialului și abordarea procesului înainte de începerea producției. MOQ 1 piesă.

24hr
Răspuns la ofertă
MOQ 1
Prototipuri OK
ISO
9001:2015
📐
Revizuire DFM pentru fiecare solicitare
Fezabilitatea toleranței, strategia de fixare și confirmarea materialului. Feedback specific și acționabil — nu respingeri generice.
🎯
Inspecția primului articol — Standard
Raport FAI pentru fiecare lot nou. Certificări de material și tratament de suprafață incluse cu fiecare livrare.
🔄
Același proces: prototipare până în producție
Planul de proces din prototipul dumneavoastră se aplică loturilor de producție. Fără re-qualificare atunci când scalați.
⚙
Frezare CNC 3 / 4 / 5-Axis + Strunjire
Piese structurale complexe, arbori, carcase și componente de transmisie. Metale și plastice de inginerie.
ISO 9001:2015 Frezare 3/4/5-Axis Frezare în strung CNC Inspecție CMM Livrare globală