Прецизионная ЧПУ
Зажимы для подачи пластин

Контактные поверхности облицованы до Ra 0,4 мкм без加工ционных заусенцев, шершавости или острых краёв. Все кромки контактов с фаской и микрошероховатостью. Материал: hard-анодированный Al 7075 (HV 400+ поверхность, без отслаивания частиц) или PEEK (мягкий, не царапает). Геометрия контакта (шашкообразный паз, карман) рассчитана на опору вафли только по краю — не по плоскости.

Стандартная цельнометаллическая заготовка захвата 300 мм из Al 7075: ~120 г. С учетом топологического моделирования кармиты (удаление всего неструктурного материала при сохранении жесткости в точках контакта и суставах рычага): достижимы 45–55 г или полые зажимы Ti Grade 5: ~35 г с более высокой стоимостью.

Контактная выемка или геометрия шлица вырезаны на IT5 допуск. Все контактные позиции измеряются СОМ как набор — любая несоответствие высоты или положения между точками контакта исправляется до утверждения зажима. Жесткость зоны контакта с чипом достаточна для противодействия прогибу под весом чипа (чип диаметром 300 мм: ~130 г).

Трехточечный кинематический контакт (два V-образных паза + одна плоскость или три V-образных паза) обеспечивает детерминированное размещение чипа. Угол V-паза: обычно 90°, размерен по толщине края чипа. Для вакуумных зажимов: машины HXC точно размещают вакуумные порты и канавки под кольцевое уплотнение на контактной поверхности. Индивидуальная геометрия контактов для специальных геометрий чипов (выемка, плоскость, фаски) является стандартной.

Да — два варианта: (1) Проводящий алюминий с ЭМС покрытием: стандартный алюминий 7075 с проводящей анодной обработкой или покрытием, устойчивым к ЭМС (поверхностное удельное сопротивление 10⁵–10⁸ Ω/кв.); (2) ЭМС PEEK: углерод-наполненный PEEK с устойчивым электростатическим сопротивлением по всей массе. Оба варианта чисто-комплектны для чистых помещений и безопасны с точки зрения частиц.

Все пальцы захвата в наборе измеряются CMM по следующим параметрам: высота контактной поверхности (все пальцы в пределах ±0,005 мм друг от друга), положение геометрии контакта (в пределах ±0,01 мм) и вес (соответствие в пределах ±0,5 г). Пальцы нумеруются серийно и отправляются как подтверждённый сопоставленный набор — не как отдельные детали.

Да — машины HXC оснащены портами вакуумного зажима с внутренними канавками для вакуумной разводки, уплотнительными канавками под уплотнение O-колец на контактной поверхности с Wafer и быстрым подключением портов для присоединения вакуумной линии. Поверхность вакуумного зажима обработана до плоскостности ≤ ±0,01 мм для обеспечения равномерного уплотнения по зоне контакта с wafer.

Прототип: 6–9 дней. Партия (20–100 шт): 10–16 дней. Соответствующие наборы из 3 пальцев: +1 день на финальную контрольную проверку.